Last Updated： Aggregation Period:2026年06月10日～2026年07月07日
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プラズマイオン注入方式により、様々な形状の金属、樹脂、ゴム素材にダイヤモンドのように硬く、低摩擦の高密着コーティングが可能です
DLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングは、プラズマイオン注入成膜装置を使用し低摩擦なDLC膜を成膜します。 【特徴】 ■複雑形状のワークにも対応可能 ・ワーク自体をプラズマの生成源とすることで形状に沿ってプラズマが形成され、 複雑な形状や内部にもガスが回り込み成膜が可能 ■潤滑性に優れる ・低摩擦係数膜の形成により潤滑性に優れる ■金属、アルミ以外に樹脂やゴムにも成膜可能 ・低温での成膜が可能 ■母材に追従する柔軟性を持たす成膜が可能（樹脂でも膜剥がれしにくい） ＊部品の摩擦によるライフ低減にお困りであればご相談ください。 ＊技術説明および試作にも対応致します。 ＊DLC成膜装置の販売も行っております。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います
創意工夫を大切にし、時流に流されない研究開発を続けるナノテックが 取り扱う『各種真空成膜装置』をご紹介します。 当社では、ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置の カスタマイズ製作を行います。 HIPIMS法による成膜を行う「ICF成膜装置」をはじめ、半導体プラズマ洗浄用 プラズマエッチング装置「NAPE500」などをご用意しております。 【ラインアップ】 ■ICF成膜装置 ■プラズマエッチング装置「NAPE500」 ■パルスバイアス実験装置「ICF330」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多層成膜により耐荷重性向上した低温DLC(Diamond-like carbon）薄膜硬質コーティングが可能！
高密着で安定した高品質な成膜が可能！ 高硬質(耐摩耗性)、低摩擦係数(耐摩耗性)、耐食性、耐凝着性、平滑性なDLC成膜をおこなうことで 半導体製造装置パーツ用金型や樹脂成形金型、摺動部品や治工具などの長寿命化に貢献。 顧客のコスト削減だけでなく、清掃作業などの保守業務工数削減や業務改善にも最適。 立体的な超精密な複雑形状な金型や機械部品にも 「はがれにくく高密着、平滑＆硬質な低温DLC成膜」が可能。 高硬度＆耐摩耗性向上だけでなく「剥離処理～再成膜も受託可能」なため、 製品のライフサイクルコスト低減や材料廃棄削減など環境負荷低減にも貢献。 ++++++++++++++++++++++++++++++ DLCとは：ダイヤモンドライクカーボン(Diamond-Like Carbon)の略で、 ダイヤモンドとグラファイトの中間特性を有する滑り性の良い硬質な薄膜コーティングが可能。 SP3(ダイヤモンド結合)とSP2(グラファイト結合)の比率、その中に含まれるH(水素)の比率、 また多層被膜することによって、様々な物性や特性(工業的価値)を持つ薄膜を作ることが可能。
従来ta-Cと比較し密着力向上した低温DLC(Diamond-like carbon）薄膜硬質コーティングが可能！
高密着で安定した高品質な成膜が可能！ 高硬質(耐摩耗性)、低摩擦係数(耐摩耗性)、耐食性、耐凝着性、平滑性なDLC成膜をおこなうことで 半導体製造装置パーツ用金型や樹脂成形金型、摺動部品や治工具などの長寿命化に貢献。 顧客のコスト削減だけでなく、清掃作業などの保守業務工数削減や業務改善にも最適。 立体的な超精密な複雑形状な金型や機械部品にも 「はがれにくく高密着、平滑＆硬質な低温DLC成膜」が可能。 高硬度＆耐摩耗性向上だけでなく「剥離処理～再成膜も受託可能」なため、 製品のライフサイクルコスト低減や材料廃棄削減など環境負荷低減にも貢献。 ++++++++++++++++++++++++++++++ DLCとは：ダイヤモンドライクカーボン(Diamond-Like Carbon)の略で、 ダイヤモンドとグラファイトの中間特性を有する滑り性の良い硬質な薄膜コーティングが可能。 SP3(ダイヤモンド結合)とSP2(グラファイト結合)の比率、その中に含まれるH(水素)の比率、 また多層被膜することによって、様々な物性や特性(工業的価値)を持つ薄膜を作ることが可能。
３次元・大型・低温処理が可能！独自開発技術採用プラズマイオン注入成膜装置
「プラズマイオン注入成膜装置」は、独自開発技術を採用しており、３次元・大型・低温処理が可能なDLC成膜装置です。 栗田製作所独自開発装置で特許取得済み（特許第3555928号）です。 プラズマ生成用のバルスRF電源、イオン注入用の高圧バルス電源の出力を一つの電極から供給することにより、基材形状に合わせたプラズマ生成が可能です。 DLCコーティング、ガスイオン注入処理がこの一台で行うことができます。 【特徴】 ○３次元形状成膜が可能 ○装置の大型化が可能 ○低温処理が可能 ○完全自動運転 ○安心のログ機能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ピンホールの殆どない厚膜DLCで耐食性に優れたDLCを成膜します
当社方式は内部応力の小さいDLCが成膜可能です。 その為、厚膜DLCの成膜ができ、殆どの酸、アルカリに侵されません。 他社では難しい複雑形状、パイプ内面などにも成膜出来ます。
素材に新たな特性を！各種材料による形成のニーズに応える表面処理受託加工
東邦化研株式会社では、イオンプレーティングや真空蒸着に加えて、スパッタやP-CVDによる各種表面処理の受託加工を長年行っております。 試作開発案件から、中・小ロットの生産案件までと、幅広く対応させていただいております。 単金属、酸化物、窒化物、炭化物等、各種材料による薄膜形成のニーズにお応えいたします。 【サービスの特長】 ■試作、小ロットにも対応 ■各種材料に対応 ■仕様・材料・プロセスに合った装置を使い分け ■環境に配慮 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大気圧で成膜可能！高速ガスパージ方式により、処理時間の短縮を実現
当製品は、多様な形状を持ち、融点の低いバイオマスボトルの特性を考慮し、 内壁面にDLC(Diamond Like Carbon)コーティング加工を実施する装置です。 耐薬品性、耐溶出性、バリアー性を付加し、高機能化を実現。 また、既存の加工設備へ、設置することでDLC加工が容易に実現可能。 新規ブロー成形装置導入時は、ブロー成形装置と一体化も可能です。 【特長】 ■小型コンパクトな装置形状 ■バイオマスボトル対応成膜条件 ■成膜時間：30秒以内 ■高速パージ方式 ■既存設備への併設が可能 ■ガスバリアー性・耐薬品性：EVOHとほぼ同等レベル ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
防汚・撥水コート後の分光特性を考慮しての成膜が可能です。
撥水コートは、反射防止膜やミラーコートの最表層に撥水性能を持たせることができます。 防汚コートは、撥水性能だけでなく、撥油性能を持たせることにより、水はもちろんのこと、油などもはじきやすくなります。 反射防止膜やミラーコートの最表層に撥水性能、撥油性能を持たせることができます。 【特徴】 ○防汚・撥水コート後の分光特性を考慮しての成膜が可能 ○キズが付きにくくなる ○ガラス基板だけでなく、樹脂基板への成膜も可能 ○接触角：110° 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
《技術資料を進呈》室温成膜で高硬度・高密着・優れた耐摩耗性を実現！プラスチックやセラミックスのDLC（TAC）コーティングが可能
フィルタードアーク方式による水素フリーのDLC膜（ta-C）は、既存のPVD方式やCVD方式と異なり、 電磁フィルターにより不純物を除くため、パーティクルが少なく、優れた密着性と高い耐摩耗性を実現します。 また、室温成膜であるためプラスチックやゴム等の低融点材料への成膜や、セラミックス等の様々な材料への成膜も可能です。 更に10um以上の厚膜も作成可能となり、自動車部品の高品質化、長寿命化による付加価値を高めます。 DLC膜のみならず、プラスチック成形時の離型性に優れた複合金属膜「MiCC膜」もお試し下さい。 【特長】 ■パーティクル（ドロップレット）フリーの高硬度膜 ■樹脂やゴム等の低融点材料、セラミックス等様々な材料への成膜も可能 ■摺動部品の耐摩耗性向上 ■10um以上の厚膜も作成可能 ■オゾンやNOx等のガスに対する高い耐腐食性 ※詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にご連絡ください。
室温成膜で、高硬度・高密着・優れた耐摩耗性を実現！不純物を除いてコーティングするため、自動車部品の燃費向上にも活躍！
FCVA方式による水素フリーのDLC膜（ta-C）は、既存のPVD方式やCVD方式と異なり、 電磁フィルターにより不純物を除くため、パーティクルが少なく、優れた密着性と高い耐摩耗性を実現します。 また室温での成膜が可能なため、樹脂等の低融点材料、セラミック、ゴム等の様々な材料への成膜も可能です。 更に10um以上の厚膜も作成可能となり、自動車部品の高品質化に加え、長寿命化による付加価値を高めます。 またDLC膜のみならず、プラスチック成形時の離型性に優れた複合金属膜「MiCC膜」もお試し下さい。 【特長】 ■高硬度・高密着・優れた耐摩耗性を実現 ■10um以上の厚膜も作成可能 ■室温での成膜が可能 ■様々な材料への成膜が可能 ※詳しくはPDF資料をダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自に設計製作！硝子はもちろんのこと、フィルム、樹脂への多層膜成膜が可能！
当社が取り扱う『多層膜コーティング』についてご紹介します。 多層膜は、屈折率の異なる物質材料を交互に積層させることにより、 特定の波長域の透過率や反射率の強さをコントロールできます。 タイゴールドは、NDフィルター、バンドパスフィルター、その他光学フィルター についても独自に設計製作。ガラス基板への成膜は勿論のこと、光学用の フィルム、プラスチック（樹脂）基材へのコーティングが可能です。 【特長】 ■お客様のニーズにあわせた多層膜コーティングを設計、成膜 ■低温スパッタリングにより硝子はもちろんのこと、フィルム、樹脂への 多層膜成膜が可能 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
室温成膜で高硬度・高密着・優れた耐摩耗性を実現！プラスチックやセラミックスのDLCコーティングが可能。
独自のFCVA成膜技術による水素フリーのDLCコーティング（ta-C）は、既存のPVD方式やCVD方式と異なり、 電磁フィルターにより不純物を除くため、パーティクルが少なく、優れた密着性と高い耐摩耗性を実現します。 また、室温成膜であるためプラスチックやゴム等の低融点材料への成膜や、セラミックス等の様々な材料への成膜も可能です。 更に10um以上の厚膜も作成可能となり、自動車部品の高品質化、長寿命化による付加価値を高めます。 樹脂やセラミックス材料の耐摩耗性向上や、自動車部品の長寿命化など、 様々な分野で機能性向上を実現します。 【特長】 ■パーティクル（ドロップレット）フリーの高硬度膜 ■樹脂やゴム等の低融点材料、セラミックス等様々な材料への成膜も可能 ■摺動部品の耐摩耗性向上 ■10um以上の厚膜も作成可能 ■オゾンやNOx等のガスに対する高い耐腐食性 コーティング技術に関する基礎知識と、独自技術のFCVA成膜技術についてまとめた解説資料を進呈中！ ※詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にご連絡ください。
他に類を見ない三次元成膜技術で、不可能を現実にします。
PEKURIS COATは、株式会社栗田製作所独自開発のプラズマイオン注入成膜装置で成膜します。真空中にガスを導入し、処理基材自身にパルスRFと高圧パルスを印加することにより、ワーク（基材）に沿った形でプラズマの生成が可能です。またパルス電源を利用しているため、低温40℃～での処理も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
当社で行っている「イオン源蒸着」「PCVD」「FAD」について説明いたします！
DLCの成膜には、PVD(物理蒸着)や、CVD(化学蒸着)などの技術が用いられます。 イオン源蒸着は、フィラメントを加熱し、熱電子により炭化水素ガスを イオン化させ、電位差をつけた処理物に衝突させてコーティングする、 PVDの一種です。 PCVD(プラズマ化学蒸着)は、プラズマ領域でイオン化させた炭化水素ガス を、電位差をつけた処理物に衝突させて、コーティングします。 FAD(フィルタードアーク蒸着)は、磁場によるフィルターでイオン化 されたカーボンのみを処理物に引き込み、成膜します。 【当社で行っている成膜方法】 ■イオン源蒸着 ■PCVD(プラズマ化学蒸着) ■FAD(フィルタードアーク蒸着) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイヤモンドを成膜してみませんか？試作から量産まで対応！導電性ダイヤモンド電極標準品の販売も開始しました。
ダイヤモンドは絶縁体ですが、ホウ素をドープすることで導電性を付加することができます。 ダイヤモンドの化学的安定性・強度を保持したまま、大面積へ均一に導電性ダイヤモンドを成膜いたします。 ダイヤモンド電極は電位窓が広いので、酸化・還元反応により難分解性物質の分解や、合成が可能になります。 市水（水道水）をダイヤモンド電極で電気分解することにより直接高濃度のオゾン水を作ることができます。 また独自の成膜前処理によりダイヤモンド膜の密着性も向上させています。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
基材表面に種々の機能性を付与！摺動性向上など用途に応じた特性を得る事が可能！
当資料は、コーティング技術の基礎知識と、弊社の「FCVA成膜技術」について掲載しております。 「PVDコーティング」をはじめ、「CVDコーティング」や「FCVA成膜技術」を 用いた水素フリーDLCコーティングについて解説。 コーティングは、使われる材質やコーティングの条件により、耐摩耗性、 耐熱性、摺動性向上など用途に応じた特性を得る事ができます。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■コーティングとは ■コーティングの種類 ・PVDコーティング ・CVDコーティング ■FCVA成膜技術 ■水素フリーDLCコーティング ・TAC ・iTAC ・STAR TAC ■活用される分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
銀・銅・アルミの3種類の導電性金属の選択可能！寸法安定性よく軽量化に貢献
『PROCEM プロセム』は、一般的な電磁波シールド塗料よりも 高性能な電磁波シールドPVDコーティングです。 樹脂製筐体に直接成膜、電磁波シールド仕様をクリアしてEMC問題を解決。 また、PROCEM被膜の上に保護膜としてDLC被膜を成膜することもできます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■樹脂筐体に密着性よくダイレクトに成膜 ■環境に配慮したドライコーティング ■薄膜のため高精度で寸法安定性よく軽量化に貢献 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
OS-50,SiO2(E),SURFCLEAR100によるテクニカルデータ配布中！
現在、薄膜の利用は実にさまざまな産業の分野に及んでいます。 レンズ類の反射防止膜、ミラー、液晶ディスプレイパネル、等々。 それらの源となる材料、それが蒸着材料であり、多種多様な目的に 応じて多くの種類・形状・サイズのものが使用されます。 当資料では、水・油汚れを簡単に落とすことができるフッ素コーティング用材料 「SURFCLEAR 100」や、「OS-50」「SiO2(E)」によるAR+AFコーティングに 関するテクニカルデータを掲載しています。 【掲載内容】 1-1. 膜構成 1-2. 成膜条件 ［OS-50 ］ 1-3. 成膜条件［SiO2(E) ］ 基板より1層目および3 層目 1-4. 成膜条件［SiO2(E) ］ 基板より5層目 1-5. 成膜条件 ［SURFCLEAR 100］ 2-1. 分光特性 2-2. 水に対する接触角評価 ※詳しくは、当社ホームページのお問合せフォームよりお気軽にお問合せください。
金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代替にも好適
『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。 【特長】 ■低摩擦係数で潤滑性に優れたDLC膜 ■超低応力DLC膜のため、厚膜もOK ■ワーク形状不問 ■治具・金型・シール材など幅広く活躍 ※詳しくは資料をご覧ください。
プラズマイオンアシスト社が取り扱う
「燃料電池セパレーター DLCコーティング」のご紹介です。
スプレー塗布やハケ塗りの置き換えで膜厚安定化！ 高品質の成膜でワークのライフサイクル長期化に期待ができます！
◆セラミックDIPコーティング ◆セラミックディップコーティング 『セラミックスラリーに浸漬させて成膜』する新工法のコーティング技術となります。 従来工法に比べて形状自由度が高いことが特長です。 特にセッター等の焼成治具、耐火物系への採用実績が多く、 溶射膜の置き換えテーマも複数対応中です！
透過率80％以上、シート抵抗8Ω／□以下のFTOを成膜！卓上タイプで実験室や開発現場で活躍する成膜装置 ※カタログ＆サンプル進呈
SPD方式の小型低コスト成膜装置（薄膜製造装置）シリーズです。 SPDの装置は、真空でなくとも生成できるため、クリーンルームも必要なし。 また、設備も卓上タイプでコンパクトなため、実験室や開発現場での使用に最適です。 【特長】 ■卓上タイプのコンパクトな薄膜製造装置 ■非真空のため、クリーンルームも必要なし 【ラインナップ】 ■KM-300 ■KV-25 ■KV-50 ■KM-150 ■KV-100 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SPD方式小型低コスト成膜装置！最大基盤サイズは25mm x 25mm
SPD方式小型低コスト成膜装置です。 最大基盤サイズ： 25mm x 25mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。 こちらのカタログは英語版となっております。
SPD方式小型低コスト成膜装置！最大基盤サイズは100mm x 100mm
SPD方式小型低コスト成膜装置です。 最大基盤サイズ： 100mm x 100mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。 こちらのカタログは英語版となっております。
ガラス・セラミック・各種樹脂等の非鉄金属にも密着！長尺物や複雑形状・薄物へも成膜可能！
摩擦係数が低く、高硬度で、化学的に安定なＤＬＣ。機械部品の摩耗を低減し、しゅう動性を与え、寿命を伸ばせるなど、製品のさらなる付加価値の創造が可能です。 弊社の独自DLC膜製造技術により、長尺・大面積(1.4m×1.6m)にも成膜が可能になりました。 150℃以下の処理で、高い密着性、立体物、ガラス・樹脂へのコーティングを可能としています。 【詳しくはカタログダウンロード、またはお気軽にお問い合わせください】
ガラスや金属などに容易に成膜が可能なコーティング剤
『SAMLAY(R)』はフッ素などを含まないハロゲンフリーにも関わらず、 優れた撥水性を有したコーティング剤です。 各基材（ガラス、金属、シリコン、金属酸化物等）へ適応が可能です。 また、SAM（自己組織化単分子膜）を形成するため、非常に薄膜で外観に 影響を与えません。 【特長】 ■ウエット法：真空装置が不要。大基板への成膜も容易 ■高速成膜：数分でSAM形成が完了 ■安定性：繰り返し使用可能で長期的な活性を保つ ■ハロゲンフリー ■適用基材：シリコン、ガラス、金属、金属酸化物 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
【資料進呈】各コーティングの成膜方式や適用分野をはじめ、実際に活用される業界や特徴、実際に加工を行う設備について徹底解説！
Leben株式会社は韓国ATF社のDLC表面成膜処理装置および DLC表面成膜処理加工を提供いたします。 下記からダウンロードいただけるPDF資料では 弊社のDLC等のコーティング技術やその特性、 更には実際に企画・設計・製造した処理設備についても解説しています。 今後注目を浴びること間違いなしの各技術について、是非ご一読ください！ 【資料内容(一部抜粋)】 ■従来の２倍以上の硬さ(50Gpa)を実現した『HF-DLC コーティング』 ■処理工程の温度を150度以下に抑え、50mmの膜厚を形成可能な技術 ■基板・基材表面に付着・堆積させる表面処理加工方法
耐摩耗性のアプリケーション向けに低コストで幅広い成膜サービスを提供
株式会社ナノフィルムテクノロジーズ ジャパンでは、 さまざまな業界、特に、耐摩耗性のアプリケーション向けに低コストで幅広い成膜サービスを提供しています。 ナノフィルムテクノロジーズ ジャパンのFCVA技術は、優れた均一性と品質を備えた ta-C膜(DLCの上のレベル)、酸化膜(例:Al2O3、TiO2)、および金属膜(例:Cu、Al、Ti)を生成することができます。 【特長】 ○お客様の多様なニーズに応えることができる →さまざまなソースおよび完成システムを使用し、 異なる成膜ニーズに合致したさまざまな装置を活用 ○経験豊富な研究開発エンジニア →多様なアプリケーションの要件を研究し、 それに基づいて最適なプロセスを判断 ○生産、研究開発、品質管理など社内インフラを整備 →お客様の満足度を最大限に高めるための高品質の成膜サービスを提供 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ニーズや課題に合うPVDコーティングをご提案。厚く高硬度の成膜を実現。部品・部材・金型など各種対応
当社は、部品・金型などの腐食・摩耗対策や離型性向上などに役立つ 「PVDコーティング」を手掛けており、 50μｍまでの厚膜の成膜をオーダーメイドで承っています。 新型蒸発源を採用したことで硬質の厚膜成形を実現。 用途が広がり、耐摩耗性や耐久性をさらに向上させることが可能です。 【効果・用途例】 ◎耐エロージョン特性の向上 用途例：インペラー、船外機、ポンプ、スクリュー ◎耐キャビテーション特性の向上 用途例：ブレード、ポンプ、ウォータージェット ◎耐土砂摩耗特性の向上 用途例：金型、搬送機、歯車、治具 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
