更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
1～15 件を表示 ／ 全 98 件
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能
P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 50 × 50mmの開口で透過光も可能。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
高倍率観察時の細かい位置調整に好適！市販の顕微鏡と組み合わせて使用
『3R-XY01』は、XYマイクロメーターを回して位置調整するだけで、 観察したい箇所を簡単に移動させることができるXYステージです。 ワークを手で動かすことで、行き過ぎたり角度が変わったりして見たい箇所が スムーズに見られない、ということも無くなります。 また、下からの光を当てるための穴があるので、透過照明による観察でも ご活用いただけます。 【特長】 ■ワークを直接触らずに位置調整 ■透過照明に対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
リニアボールガイドをタイプ別に充実したラインアップで掲載しています！
当カタログでは、手動ステージ『リニアボールガイド BSS/BSBシリーズ』を ご紹介しています。 本体素材はステンレス、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し、 高剛性・高精度を実現。充実したサイズ/表面処理/オプション仕様で ラインアップしています。 【掲載製品】 ■X軸リニアボールガイド(SS)ステージ □25 ■X軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■XY軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■X・XY軸SSステージ取付姿勢マルチタイプ □40/□60 ■薄型XY軸リニアボールガイド(SS)ステージ □40～□70 ■XY軸リニアボールガイドBYTシリーズ □40/□60 ほか ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、 顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄型XY軸ステージ（石定盤）
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ロングストロークの粗動調整に優れたXY軸ステージ
『XY軸ラックピニオンステージ』は、駆動方式にラック＆ピニオン、 移動ガイドにアリ溝式を採用し、ロングストロークの粗動調整に 優れたXY軸位置決めステージです。 上面スペーサを利用することにより、異なるステージとの組合せが 可能となります。 また、標準のレバー式クランプをローレットツマミネジ式へ変更した タイプもございます。 【特長】 ■アリ溝式採用 ■ロングストロークの粗動調整 ■異なるステージと組合せが可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XY軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる！
『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、 低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。 直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成 としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを 簡単に構築することが可能。 また、コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを 採用し、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました！
精密ステージ 高応答XYステージ EXは、クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。 詳しくはお問い合わせください。
44 mm角の面積で、120 µm動作量、0.2 nm分解能をもつXY軸・XZ軸ステージ
P-611 シリーズはサイズが44mmの小型ナノポジショナステージです。 ・XY、XZ軸 各 120 µmの動作量 ・Openloop分解能：0.2nm ・ひずみゲージフィードバックセンサーも対応（分解能2nm） ・耐荷重15N ・Z軸のみ（P-611.Zx）、XYZ軸（P-611.3x）のモデルも用意 用途：干渉計測、顕微鏡、ナノポジショニング、バイオテクノロジー、マニピュレータ、フォトニクス、ファイバーポジショニング、半導体技術。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
レイアウトに合わせたステージを製作いたします。
「SXY300」は、リニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージで、廉価にて、ステージの構成が可能です。 材料研究、開発、評価、検査工程など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 200mm ○プレートサイズ □300mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ローコスト！一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が優れています！
『ML-20XYL』は、薄型設計のXY軸・高速応答・薄型ピエゾステージです。 変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組合せることで高精度な 位置決めが可能。 他にも、可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入可能な「Z軸・高速応答・ 透過窓付きピエゾステージ」などをご用意しております。 【特長】 ■薄型 6mm ■透過窓 □20mm ■ローコスト ■一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が優れる ■変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組合せることで高精度な 位置決めが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マイクロスコープで大きなワークを観察したい。
【問題点】 マイクロスコープに付属している標準ステージでは小さいため、大型のワークを観察ができない。 観察するためにワークを小さく切断したり、準備に無駄な時間をかけていた。 【改善事例】 門形XYステージ（移動量200mm）をご用意しました。X軸にマイクロスコープを固定し、Y軸にワークをセットすればワーク全体を観察できます。 ステージの移動範囲はご相談ください。
シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウエハ向けXYステージ
シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。 このXYステージは… ♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用（2台のモーターを１台のアンプと１式のエンコーダーで駆動） ♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のステージを実現 ♦無駄を排除した低姿勢でシンプル構造のXYステージ ♦ご所望の負荷条件・動作条件に対応したシャフトモーターを採用、カスタマイズ対応致します
ダイレクトドライブ方式を採用！低断面でコンパクトなXYθ運動を実現
『SA…DE』は、直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、 回転案内部にクロスローラベアリングを使用したアライメントステージです。 ダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより 高分解能と高精度を実現。 X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に 構築することができます。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
