更新日： 集計期間:2026年02月25日～2026年03月24日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
1～30 件を表示 ／ 全 119 件
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能
P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 センター開口部は、66×66mm。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
リニアボールガイドをタイプ別に充実したラインアップで掲載しています！
当カタログでは、手動ステージ『リニアボールガイド BSS/BSBシリーズ』を ご紹介しています。 本体素材はステンレス、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し、 高剛性・高精度を実現。充実したサイズ/表面処理/オプション仕様で ラインアップしています。 【掲載製品】 ■X軸リニアボールガイド(SS)ステージ □25 ■X軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■XY軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■X・XY軸SSステージ取付姿勢マルチタイプ □40/□60 ■薄型XY軸リニアボールガイド(SS)ステージ □40～□70 ■XY軸リニアボールガイドBYTシリーズ □40/□60 ほか ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高倍率観察時の細かい位置調整に好適！市販の顕微鏡と組み合わせて使用
『3R-XY01』は、XYマイクロメーターを回して位置調整するだけで、 観察したい箇所を簡単に移動させることができるXYステージです。 ワークを手で動かすことで、行き過ぎたり角度が変わったりして見たい箇所が スムーズに見られない、ということも無くなります。 また、下からの光を当てるための穴があるので、透過照明による観察でも ご活用いただけます。 【特長】 ■ワークを直接触らずに位置調整 ■透過照明に対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、 顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄型XY軸ステージ（石定盤）
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XY軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
ロングストロークの粗動調整に優れたXY軸ステージ
『XY軸ラックピニオンステージ』は、駆動方式にラック＆ピニオン、 移動ガイドにアリ溝式を採用し、ロングストロークの粗動調整に 優れたXY軸位置決めステージです。 上面スペーサを利用することにより、異なるステージとの組合せが 可能となります。 また、標準のレバー式クランプをローレットツマミネジ式へ変更した タイプもございます。 【特長】 ■アリ溝式採用 ■ロングストロークの粗動調整 ■異なるステージと組合せが可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる！
『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、 低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。 直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成 としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを 簡単に構築することが可能。 また、コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを 採用し、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました！
精密ステージ 高応答XYステージ EXは、クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。 詳しくはお問い合わせください。
ローコスト！一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が優れています！
『ML-20XYL』は、薄型設計のXY軸・高速応答・薄型ピエゾステージです。 変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組合せることで高精度な 位置決めが可能。 他にも、可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入可能な「Z軸・高速応答・ 透過窓付きピエゾステージ」などをご用意しております。 【特長】 ■薄型 6mm ■透過窓 □20mm ■ローコスト ■一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が優れる ■変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組合せることで高精度な 位置決めが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
レイアウトに合わせたステージを製作いたします。
「SXY300」は、リニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージで、廉価にて、ステージの構成が可能です。 材料研究、開発、評価、検査工程など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 200mm ○プレートサイズ □300mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
マイクロスコープで大きなワークを観察したい。
【問題点】 マイクロスコープに付属している標準ステージでは小さいため、大型のワークを観察ができない。 観察するためにワークを小さく切断したり、準備に無駄な時間をかけていた。 【改善事例】 門形XYステージ（移動量200mm）をご用意しました。X軸にマイクロスコープを固定し、Y軸にワークをセットすればワーク全体を観察できます。 ステージの移動範囲はご相談ください。
【短納期】XY超精密グラナイトエアスライダー搭載！レーザー各種に対応可能なステージ
『GRANAS-30XY-GL』は、レーザ、ガルバノとXY超精密ステージが 同期連動して動作可能なシステムです。 溶接、切断、スクライブ、穴あけ等のレーザー微細加工をはじめ、 レーザーマーカ、計測機器にご使用いただけます。 【特長】 ■レーザー各種に対応可能(355nm、パルスレーザー、他) ■キヤノン製ガルバノスキャナ搭載 ■XY超精密グラナイトエアスライダー搭載 ■コントローラPowerPMAC搭載 【当社がお選びいただく理由】 ・5000×3000クラスの石を常に在庫で持ち、切断から製品完成までの一貫生産により短納期にも対応 ・平面／平行／直角精度保証値は、お客様のニーズにお応えします。 ・石製品の修正／改造／メンテナンスを行います。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウエハ向けXYステージ
シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。 このXYステージは… ♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用（2台のモーターを１台のアンプと１式のエンコーダーで駆動） ♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のステージを実現 ♦無駄を排除した低姿勢でシンプル構造のXYステージ ♦ご所望の負荷条件・動作条件に対応したシャフトモーターを採用、カスタマイズ対応致します
ダイレクトドライブ方式を採用！低断面でコンパクトなXYθ運動を実現
『SA…DE』は、直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、 回転案内部にクロスローラベアリングを使用したアライメントステージです。 ダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより 高分解能と高精度を実現。 X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に 構築することができます。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
再現性 ±1nm、XY軸100 µm＋Z軸10 µmストローク、50 mm開口で透過光にも最適
高信頼性のPICMAピエゾセラミック駆動、静電容量センサによるダイレクト計測を行うXYZ軸ナノポジショニングステージです。 XY軸動作量は、30ｘ30µｍと100 × 100 µmタイプで、Z軸は10 µmストロークになります。 開口 50 × 50 mmを持つため透過光アプリケーションにも最適。 高精度顕微鏡、マスク/ウェーハの位置決め、計測技術などに使われます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に好適！透過照明にも対応できるXY軸ステージ
『PTシリーズ』は、顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に適した 高精度・超薄型タイプの顕微鏡用XYステージです。 各社顕微鏡への搭載が可能で、透過照明にも対応できます。 またポジションコントローラCP-500、アナログジョイスティックCP-5Jを用いて、 拡大観察に関連する幅広い用途に対応することができます。 【特長】 ■すべての自動ステージに検査成績書を無償添付 ■仕様に合わせたフルカスタム対応可能 ■すぐに使える簡単アプリケーションをご用意 ■アプリケーションシステムとしても提案可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
ガタが一切なく、極めてなめらかでスムーズな摺動を実現したステージです。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 通常のミニチュアステージはガタがあったりバネ式でギシギシ動く欠点がありますが、「フロントロックステージ」はミニチュアサイズでありながらガタが一切なく、極めてなめらかでスムーズな摺動を実現しました。 また、ハンドルの根本部分で固定ができるストッパー機能を標準装備し、操作性も抜群です。 【ラインナップ】 ○FR-X：X軸 ○FR-XY：XY軸 ○FR-Z：Z軸 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適
全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、 評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』
高精度リニヤステージ 縦型5軸ステージ
縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
クロスローラ精密ステージ 、台湾製、高精度、低価格
軽量のアルミ合金を採用して、ガイド部にV溝レールとクロスローラ直線伝動して、高精度、耐荷重ステージを実現します
【短納期】XY超精密グラナイトエアスライダー搭載！レーザー各種に対応可能なステージ ※デモ機あり
『GRANAS-40XY-GL』は、レーザ、ガルバノとXY超精密ステージが 同期連動して動作可能なシステムです。 溶接、切断、スクライブ、穴あけ等のレーザー微細加工をはじめ、 レーザーマーカ、計測機器にご使用いただけます。 【特長】 ■レーザー各種に対応可能(532nm、パルスレーザー、他) ■キヤノン製ガルバノスキャナ搭載 ■XY超精密グラナイトエアスライダー搭載 ■コントローラPowerPMAC搭載 【当社がお選びいただく理由】 ・5000×3000クラスの石を常に在庫で持ち、切断から製品完成までの一貫生産により短納期にも対応 ・平面／平行／直角精度保証値は、お客様のニーズにお応えします。 ・石製品の修正／改造／メンテナンスを行います。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・XY軸の並進移動にて位置決め調整が正確にできます。 ・製品の厚み（高さ）は 25mmです。 ・クロスローラガイドを移動ガイドに採用した高精度で軽量な直動型ステージです。 ・駆動方式に、ファインピッチのマイクロメータヘッド（P=0.25mm）を利用し、微細な調整も可能です。 ・当社製品 小型精密ラボジャッキ RJ-99Mへの搭載接続も可能です。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
用途に合わせて、必要な軸数や動作仕様に合った組合せで構成が可能
■Performance 1：サーボモータとボールねじステージ構成 ■Performance 2：高精度向け、サーボモータとボールねじ駆動ステージ構成 ■Performance 3：高速・高精度向け、リニアモーターステージ構成 Z軸は、保持ブレーキ付きタイプで対応します。 ACSベースG-901コントローラはモーション＋I/O＋安全機能を統合し、装置PLCとのEtherCAT(R)接続を即完了。 レーザー加工、超短パルスレーザー加工、テストや精密検査、電子機器製造に最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
最大1800µmの長ストロークとナノ精度で、微細な位置決めを実現
P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。 静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立。 1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供し、品質保証試験や半導体検査など高信頼性が要求される現場でも安心して利用可能。 筐体は極めて小型で、装置組込みにも最適です。
材料研究、開発、評価、検査工程などに最適！BESTなステージを製作いたします
「SXY-200H」はリニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージです。廉価にて、ステージの構成が可能です。 ※高精度タイプとしては、RXYシリーズを参照願います。 レイアウトに合わせたステージを製作いたします。X軸、Y軸 ストロークカスタム対応で、貴社の機器システムへの組み込みも、装置メーカ様OEM対応いたします。 固定用足のアングルや、治具、機器類取り付け用孔もカスタム対応いたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
サイズ42x42x21mm、22 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持
U-723はPILINE超音波ピエゾモータを採用した42x42 mm×高さ21 mmのXY軸小型リニアステージです。 小型ながら、22 mmXY軸の動作量、最大速度200mm/s。 内蔵インクリメンタルリニアエンコーダーでセンサー分解能10nm、最小動作量0.1µm、双方向再現性 ±0.2µmを実現。 電源OFF時には、2Nのセルフロック保持力で位置を保持。 アプリケーション例は、マイクロマニピュレーション、オートメーション、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルポジショニング、限られたスペースでの動作。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 低く抑えることができ、高速での移動でも テーブルの揺れがなく等速性に優れる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ガントリ固定型ステージ（石定盤）
石定盤上にX軸ステージ 門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ 【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載 ○大型基板の各種プロセスに最適 ○Y軸にパラレル駆動を採用 等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
