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強制給油方式採用！幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VDシリーズ Ver.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式ベーン型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。 200～240V/380～460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能。 大気圧付近でも排気速度が安定し、大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 【特徴】 ○ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用 ○幅広い電圧を1台のモータ で対応可能 ○強制給油方式の採用 ○大気圧付近でも排気速度が安定している ○特殊用途向けにもオプション対応 →標準の他、特殊用途向けに3機種(A仕様･B仕様･H仕様)を用意 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバック／ULVAC】
A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴】 ○高スループット ○基板ダメージの低減 ○基板温度の抑制 ○簡易な接続性 ○逆パルス周波数の変更可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVAC】
YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排気可能なSA タイプと、手動操作のM タイプをラインナップしています。 【特徴】 ○自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操作型 (YTP-Mシリーズ)の2種類、排気速度も4種類の選択が可能 ○停電時は、自動でフォアバルブを閉めロータリーポンプ内を自動ベント →復電しても、排気ユニットは動作しない ○ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油の飽和蒸気圧は、 10-11 Pa台(20℃)のため、限りなくオイルフリー ○ターボ分子ポンプは高性能軸受を採用しているため、 面倒なオイル交換やベアリング交換が不要 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑えました。【アルバック／ULVAC】
ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』（特許申請中）を開発、製品化しました。 従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。 【ラインナップ】 ○SH2-1 標準仕様 ○SH2-2 シリアル通信仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計【アルバック／ULVAC】
センサユニットSP1 は、「測定子WP シリーズと回路部一体型」で3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込むことで、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。 【仕様】 ○LED表示 パワー、エラー、セットポイント1/2 ○電源電圧 DC24V±2V, 90mA（Max.） ○入出力コネクタ D-sub-15P（M2.6 screw） ○本体質量 190g（測定子含まず） ○付属品 入出力コネクタ 1式 取扱説明書 1部 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
排気速度の低下なし！ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK（エコショック）は、ドライポンプに取り付けることによって、消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。 ES4Aは、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気に使用する用途や、ターボ分子ポンプのパックのように到達圧力運転時間の長いドライポンプの電量削減に最適です。 ドライポンプの発熱を抑える効果もあるため、空調機器の電力も削減します。 【特徴】 ○ドライポンプの省エネに貢献 ○容積移送型ドライポンプで効果を発揮 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 ○発熱も抑え、空調機器の電力も削減 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。【アルバック／ULVAC】
光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量 本体ユニット（TSC）： 4.9kg 拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電源 AC100～240V（50/60Hz） ○消費電力 100W（5ch使用時） ○使用環境 温度：10 ～ 40°C 湿度：15 ～ 80％ RH（結露無きこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
コストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】
EGP-1G は、構造のシンプルな180° ビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。 さらに、2面位置決め構造の採用により、メンテナンス後の高いビーム位置再現性を有したモデルとなっています。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 180° ○冷却水量 10L/min ○外形（W×D×H）突起部含まず 185mm×239mm×179mm ○重量 11kg ○最大出力 10kW 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
メンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】
EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。 フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 270° ○るつぼ数 6 ○冷却水量 10L/min ○外形（W×D×H） 260mm×340mm×144mm ○重量 28kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
測定圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。【アルバック／ULVAC】
本ディスプレイは、G-TRAN 全シリーズ、およびCCM シリーズ対応の1 チャンネルディスプレイです。 測定ユニットと接続することにより、圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。 ディスプレイユニットを介して、リモート操作による制御、測定が可能です。 【特徴】 ○0-10Vのリニア出力 ○セットポイント出力（3点） ○入力電圧をDC24V ○表示部は見やすいLED ○CE標準対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック／ULVAC】
CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量 約3.6kg ○ユーティリティー AC85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力 30W Max ○使用環境 温度：5 ～ 40℃ 湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ【アルバック／ULVAC】
CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 480mm×350mm×149mm ○質量 約8kg ○ユーティリティー AC 85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力 60W Max ○使用環境 温度：5 ～ 40℃ 湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
最大４台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。【アルバック／ULVAC】
４チャンネルディスプレイユニットは、最大４台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。 ８点のセットポイント出力、I/O・通信制御機能を標準装備します。 大気圧ピラニゲージまたはピラニゲージとイオンゲージの連動機能により、簡単に広範囲の圧力計測が可能です。 【特徴】 ○□96mmDINサイズを採用 ○入力電圧をDC24V、AC100Vから選択 ○最大4台の計測ユニットの接続が可能 ○各センサ(CH1〜4)の同時計測・出力が可能 ○IG(CH1)と、PG(CH2)の連動測定が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
UFC フランジを使用した超高真空対応の各種導入機です。【アルバック／ULVAC】
UFC フランジ（ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空対応のベーカブルフランジ）を使用した超高真空対応の各種導入機です。 CMS シリーズは電流・電圧、TDU シリーズは回転運動、TSU シリーズは直線運動を大気側から超高真空容器内に漏れなく導入する端子です。 TVU シリーズは、大気側から超高真空容器内を広視野で観察するための覗窓です。 【ラインナップ】 ○電流導入端子 C M S シリーズ ○超高真空回転導入端子 T D U シリーズ ○超高真空直線導入端子 TSU シリーズ ○超高真空ゼロレングス覗窓 TVU シリーズ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
測定精度向上！真空計の状態確認が一目でわかるLEDを搭載しています。【アルバック／ULVAC】
真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/ST2-2は、真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現。 ULVACは、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化。 三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においてもお役立て頂けます。 【特徴】 ○三極管型メタル電離真空計（特許申請中） ○測定子が小型・メタル製 ○広帯域測定 ○異なる測定範囲の測定子が接続可能 ○正確な大気圧測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
