更新日： 集計期間:2026年02月25日～2026年03月24日
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XY電動ステージとオートフォーカス機能を搭載！ソフトウェアなどのカスタマイズも対応
『TOMOS-60XY』は、ワークの複数箇所を自動測定できる6インチ電動 XYステージ 両面顕微鏡システムです。 あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、 MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークの ずれを自動測定することが可能。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載し、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【特長】 ■円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを 自動検出し、中心座標同士のずれを測定 ■XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数個所を自動測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
8インチ電動XYステージとオートフォーカス機能を搭載！正確に移動制御し測定エラーを防止
『TOMOS-80XY』は、あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、 MEMS、半導体ウェハなどの表裏パターンやアライメントマークのずれを 自動測定できる両面顕微鏡システムです。 円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを自動検出し、 中心座標同士のずれを測定。XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数箇所を自動測定します。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載しており、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【ソフト機能(抜粋)】 ■表裏光軸補正 ■表裏レンズ倍率補正 ■カメラ取付θずれ補正 ■表裏位置ずれ自動計測 ■電動ステージ制御、マップ移動制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
電動ＸＹステージとオートフォーカス機能を搭載！
『TOMOS-60XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 【用途】 ■観察：電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、フィルターなどの表裏同時観察 ■表裏位置ずれ計測：水晶振動子、ＭＥＭＳなどのアライメントマーク、貫通穴の表裏位置ずれ計測 ■表裏寸法計測：水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定します！
『TOMOS-50/60/80/XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 電動制御及び自動計測となっており、両面露光パターンズレや 半導体ウエハー、4インチ、6インチ、8インチウエハー、MEMS、 水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、観察に利用可能。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正します。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能です。 【特長】 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定 ■表裏2chオートフォーカスユニット組み合わせ可能(オプション) ■電動XYステージ制御システム開発中 ■装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
電子ペーパーやMEMSの観察・位置ずれ・寸法計測を一台で実現。両面同時観察と自動計測で、測定の効率と精度を大幅に向上。
当社のTOMOSシリーズ は、電子ペーパー、MEMS、水晶振動子、半導体線幅パターンなどの 精密デバイスを対象に、表裏同時観察・計測を実現する両面顕微鏡システムです。 落射・透過照明対応で粒子・流体・フィルターなど両面同時観察の可能で、 位置ずれ・寸法計測も自動化し高精度・効率化を実現します。 TOMOSシリーズは用途に応じた複数モデルをラインナップしており、観察・計測の目的や対象に最善な選択が可能です。 研究・解析・製造・検査の現場で、高精度・高再現性・効率化を追求する方に好適なソリューションです。 【ダウンロードカタログ内容】 ■コンパクトタイプ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-50 ■6インチステージ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-60 ■リング照明付き低倍率両面顕微鏡システム TOMOS-50R1 ■6インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-60XY ■8インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-80XY ■高速オートフォーカスユニット Mimic II-AF/CL ■高感度近赤外線カメラ FS-1700IRP
操作がとても簡単な測定顕微鏡！最小読取値0.01mm（デジマチック仕様）※特注品対応可能
『XYシリーズ』は、直線上の2点間を測定する非接触式測定顕微鏡です。 二次元計測ソフト(オプション)により、計測値や画像を保存することができます。 ステージはアルミ製・ガラス製よりお選びいただけます。 USBカメラ仕様の他に標準鏡筒（直筒）仕様もございます。どちらかご選択ください。 その他、特注仕様に関しましては、ご相談ください。 【特長】 ■簡単操作 ■直線上の2点間を測定 ■二次元計測ソフトにより計測値・画像の保存が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大60“までのパネルを明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボルバとオートフォーカスで合焦画像検査ができます。
最大60”までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。 延長鏡筒なので、手元で目視検査とモニタ検査ができます。 顕微鏡固定型なので延長鏡筒で目視検査・モニタ検査ができ、自動計測は ステージ移動量と合わせた自動計測ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
サンプリング作業に最適化されたコンパクトな1台
低価格にも関わらず、大変コストパフォーマンスに優れた実体顕微鏡です。 弊社製クイックプロ、ラビトル３Dと組み合わせれば、 非常にコンパクトで使いやすい顕微鏡一体型のマニピュレーターシステムになります。 《製品の特徴》 ■標準で、LEDリング照明（反射）とCマウントアダプタを装備 ■観察倍率は7×～45×、補助対物レンズを併用すれば14×～90×までもカバーできます ■誇張の少ないナチュラルな見えにより、微細な作業での疲労を低減 ■オプションで、XYステージの用意もあり ※ 詳しくは以下リンクからお問合せください。
NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM
『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁 イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの 原子間力顕微鏡(AFM)です。 傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャン システムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の 課題を克服します。 【ウエハファブ用で必須なツール】 ■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM ■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン ■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測 ■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに 高品質のイメージが得られる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプルに対応
導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法（KFM）、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法（sMIM）などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。 ■サンプルサイズ ：最大100 mm角 ■ステージ移動距離 ：100 mm ■XY走査範囲 ： 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■Z走査範囲 ： 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■XY走査分解能 : 24ビット制御 – 0.06 Angströms ■Z走査分解能 : 24ビット制御 – 0.006 Angströms ■ノイズレベル ：Typ : <0.01 mV RMS
アリ溝式ステージ、メジャースコープ、画像認識用レンズ、エアーピットなど緻密で繊細な手作業によって作り込まれた製品を紹介！
ミラック光学が製造する精密機器・光学機器は、すべて MADE IN JAPAN です。 日本のお家芸とも言える緻密で繊細な手作業によって作り込まれた製品は、品質・精度・耐久性において自信を持ってお客様へお薦めできるものばかりです。 『光学関連機器・部品 総合カタログ』では、さまざまな位置決めに対応した他にはないバリエーションと、なめらかな摺動の「アリ溝式ステージ」、さまざまな工業関係の生産・加工・検査工程に必要不可欠な顕微鏡「メジャースコープ」、高品質で低価格を追求、レンズ機能を高める周辺機器も充実している「画像認識用レンズ」、吸着・搬送、製品への傷・汚れ・指紋・手油の付着、心配無用「エアーピット」など、多数掲載しています。 【掲載内容】 ■アリ溝式ステージ ■メジャースコープ ■画像認識用レンズ ■エアーピット ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ステージ・顕微鏡の総合カタログ＆検査装置の改善事例をセットでプレゼント！
アリ溝式ステージや測定工具顕微鏡、画像認識用レンズなどを製造する 光学機器メーカー・ミラック光学から、“総合カタログ”と “検査装置の改善事例をまとめた技術資料”をセットで無料進呈！ アリ溝式ステージはしっとりと滑らかな摺動と高耐久性が特長で、 FA分野における位置決め部品や、治工具などの機械要素部品として幅広く活躍中。 改善事例では、小型化したアリ溝式ステージで検査装置の 小型化・XY可動化に成功したケースを紹介しています。 【掲載内容】 ■アリ溝式ステージ ■測定工具顕微鏡 メジャースコープ ■画像認識用レンズ ■真空ピンセット エアービット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 ※総合カタログはダイジェスト版になります。 完全版をご希望の方はお問い合わせからご請求ください
トリプルスキャン方式×全自動多点測定！精度と自動化の両立、現場の課題をこれ一台で解決
『VK-X4000シリーズ』は、レーザー共焦点・白色干渉・フォーカス バリエーションの3つの異なるスキャン原理を使い分ける「トリプル スキャン方式」を採用し、さまざまな対象物を高精度に測定・解析 することができる白色干渉計搭載レーザ顕微鏡です。 また、鏡面体・透明体といった難易度の高い素材に対しても高速・ 高精度・広範囲に測定することができます。 さらに複数の対象物でも誰でも簡単に全自動多点測定が可能なマルチ ポイント測定を新たに搭載。複雑な設定は不要で、多点測定を自動化。 作業時間を減らしながら測定サンプリング点数を増やすことで、 研究開発の客観的評価と信頼性を向上させます。 【特長】 ■3つのスキャン方式でさまざまな測定を高精度に ■複数の対象物でも誰でも簡単に全自動多点測定 ■ナノ・マイクロ・ミリをこれ1台で ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
自動欠陥検査機能、低ノイズ、高スループット！正確な原子間力顕微鏡をご紹介！
『Park NX-Wafer』は、欠陥のイメージングと解析を完全自動で行う AFM計測手法により、欠陥検査における生産性を1,000％向上する 原子間力顕微鏡です。 正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ 原子間力プロファイラー。 サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。 【特長】 ■欠陥のイメージングと解析を完全自動で行うAFMソリューション ■欠陥レビューにおける生産性を最大1000％向上 ■低ノイズ原子間力プロファイラーで正確且つ高スループットなCMP計測を実現 ■非常に正確で、チップーチップ間のバラツキも最小にしたサブÅ表面粗さ計測 ■原子間力プロファイラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オートフォーカスユニットや近赤外カメラ、顕微鏡カメラシステムなどをご紹介
当カタログは、両面顕微鏡システム・微小線幅計測システムや 顕微鏡カメラシステムなどを掲載しております。 簡単操作、低価格の微小線幅測定システム「VP-5LW」や色再現性に優れた 高精細3CMOSカメラシステム「FR-960M」、実体顕微鏡用に明るく、 色が綺麗な実体顕微鏡用カラーカメラシステム「FR-400Z」などをご紹介。 導入検討の際に参考にしやすい一冊となっています。 【掲載製品(一部)】 ■両面顕微鏡システム 4インチ/6インチ「TOMOS-50/TOMOS-60」 ■6インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム「TOMOS-60XY」 ■高速オートフォーカスユニット「MimicII-AF/CL」 ■高感度近赤外カメラ「FS-1700IRP」 ■顕微鏡用カラーカメラシステム「FR-400C」 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
顕微鏡に不慣れなスタッフのための、シンプル構造の歯科用位相差顕微鏡
本製品は位相差顕微鏡を実際に使うスタッフやコ・デンタル向けに、扱いやすさを追求したシンプル設計です。 歯科で多用される40倍対物レンズ固定、接眼レンズを省き映像観察専用とすることで交換や調整の手間を削減。 焦点と観察位置の調整のみの操作系で、設定ミスを防止。対物レンズ先端のスプリング機構とステージストッパーで試料破損を回避。 XY同軸式ステージにより微細位置調整も簡単。フルHD HDMIカメラ搭載で高精細・低遅延映像を高倍率で表示可能。 USBメモリ保存やUSBマウス操作で直感的に撮影・管理。電子カルテ連携も対応し、リーズナブルな価格で提供します。Cマウントカメラ等の接続もご相談ください。
微小領域に紫外光照射検査ができます。
微小スポット露光顕微鏡はマスク欠陥の高精度レビュー検査顕微鏡で画面の微小領域にスリット露光できるスポット顕微鏡です。 レジストを塗布したマスクをステージに載せ欠陥検査機のデータから欠陥位置を自動再現してXYスリットで露光範囲を決め水銀スペクトルをタイマー露光するスポット照射顕微鏡です。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
研究用から生産現場向けまで、大小様々なシステムのカスタマイズ提案が可能な原子間力顕微鏡（AFM）のご紹介
当社では、ユーザーフレンドリーな操作性に対応し、表面形状の測定を 簡単かつ短時間で行える『原子間力顕微鏡（AFM）』を取り扱っています。 アクティブ防振機構を搭載し、多彩な測定モードに対応した「CoreAFM」や、 専用ツールの使用によりカンチレバーの交換がスムーズに行える コンパクト設計の「NaioAFM」などのモデルをラインアップ。 研究現場向けの小型仕様から、生産現場向けの大型ステージ仕様、 品質管理用の自動化システムといったカスタマイズ対応が可能です。 【ラインアップ（抜粋）】 ◎卓上型原子間力顕微鏡「CoreAFM」 ■アクティブ防振機構・風防を採用 ■32種類の測定オプションを搭載可能 ◎小型原子間力顕微鏡「NaioAFM」 ■コントローラ、XYステージ・風防・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載 ※当社が取り扱う走査型プローブ顕微鏡をまとめたカタログを配布中。 詳しい内容は「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。
ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置
ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置です。 電動XYステージでワークを移動させても常に合焦画像でのパターンマッチング検査ができます。ファイルデータから座標を制御して検査に最適な倍率で試料高さのオートレビュー画像ファイル機能もあります。 検査後マクロMAPを表示して欠陥箇所確認ができます。
表面形状の測定を短時間・簡潔に！防塵・防風用シールド、防振機構が標準搭載
『NaioAFM』は、表面形状の測定に必要な要素技術を標準搭載しつつ、 装置のセットアップやカンチレバー交換が簡単に行えるなど、 機能性と操作性を両立したコンパクトタイプの原子間力顕微鏡です。 スキャン前に必要な再チューニングやサンプルへのアプローチ、 サンプル平面の傾斜補正はソフトウェアが自動的に行うため、 サンプルにカンチレバーを近づければ、スキャンが開始されます。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載・場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加が可能 ■お客様先に装置を持参してのデモも受付中 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 デモをご希望の方はお問い合わせフォームよりお申込み下さい。
380nm～1050nmの可視光から近赤外まで幅広い波長領域での分光測定を実現
オリンパスの近赤外顕微分光測定機USPM-RU-Wは、可視光領域から近赤外領域までの幅広い分光測定を、スピーディー高精度に行います。 通常の分光光度計では測定できない微小エリアや、曲面の反射率の測定が容易にできるため、光学素子や微小電子部品などにも最適です。
かんたん操作でコンパクト・壊れにくい！低コストな“All-in-one”AFM装置をご紹介
『NaioAFM』は、大学や専門学校におけるナノテクノロジー教育や、 研究開発または品質管理の現場で、表面形状を短時間に簡潔に測定したい ユーザーに好適なコンパクトタイプ原子間力顕微鏡です。 当製品特有の“Flip-over”スキャンヘッドと専用交換ツールにより、短時間に そしてシンプルに、カンチレバーの交換が可能。 機能性と操作性を両立し、どなたでも、どこでも使える“All-in-one”AFM装置 として、世界中で広くご利用いただいております。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載、場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加搭載が可能 ■シンプルなカンチレバー交換：レーザや検出器の調整不要 ■設置後すぐに測定可能：USBケーブルを接続しソフトウエアを立ち上げるだけ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
従来の顕微鏡を超える性能 透体の傷や異物を可視化・定量化
㎚オーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報が取得でき、非接触・非破壊・非侵襲で測定が可能な顕微鏡です。さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。 特長 ・nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能 ・目視では確認できない透明材料の表面と接合界面を可視化 ・1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得可能 ・フォーカス不要で高速測定が可能 ・非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
顕微鏡カメラでモニタして、パターンズレや通り違いを検査！
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の MEMS顕微鏡を取扱っています。 『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタして パターンズレや通り違い検査ができます。 新開発ソフトで2カメラの光軸をアライメントとリアルタイムで合成で 上下の重なりズレをダイレクトに写します。また、自動線幅測定で マークズレをサブミクロン測定します。 【基本構成（抜粋）】 ■MEMS 顕微鏡 本体 ■三眼鏡筒 ■接眼 10 倍 ■XY ステージ ■カラーカメラ2台 ■検査 PC/19型モニタ/MEMS 検査ソフト 他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
