アルカリ対応スピン洗浄装置
有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置
本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
スピン洗浄機 - 企業5社の製品一覧とランキング
更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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企業ランキング
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- マック産業機器株式会社 埼玉県/その他製造 テクノロジーセンター
- 株式会社ソフエンジニアリング 埼玉県/産業用電気機器
- 株式会社トービ 千葉県/電子部品・半導体
- 4 株式会社カナメックス 神奈川県/電子部品・半導体 厚木工場
- 5 株式会社フクシマ 長野県/製造・加工受託 長野本社
製品ランキング
更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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- 卓上スピン洗浄装置 株式会社ソフエンジニアリング
- アルカリ対応スピン洗浄装置 マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 『ME500-2611』 卓上型自動スピン洗浄装置 マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 自動スピン洗浄装置 株式会社トービ
- 4 ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置 マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
製品一覧
1～10 件を表示 ／ 全 10 件
表示件数
『ME500-2611』 卓上型自動スピン洗浄装置
限られたスペースを有効活用！卓上型自動スピン洗浄機です。
本装置は、対象ワークを手動にてセットしスピン回転により超音波洗浄、純水リンスエアーブロー乾燥を行う卓上型自動スピン洗浄機です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：100万円 ~ 500万円
自動スピン洗浄装置
クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置
オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕 様＞ ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ 搬送…大気3軸クリーンロボット クリーンユニット…ＨＥＰＡフィルター 洗浄…ブラシ、MS標準装備 オプション…高圧ジェットノズル、UV、エキシマ、ホットプレート等 ユーテリティ…電源、圧空、窒素、純水、排気、廃液、他
- 企業：株式会社トービ
- 価格：応相談
手動スピン洗浄装置
シンプルデザインの手動スピン洗浄装置
シンプルデザインの多目的応用手動装置 ==================================== ＜仕 様＞ ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ 洗 浄…ディスクブラシ、1.1MS標準装備 オプション…高圧ジェットノズル、薬液ノズル等 電源…AC100v or 200v CDA.…0.5MPA.以上 純水…0.2MPA.以上 その他 恒温水槽内
- 企業：株式会社トービ
- 価格：応相談
ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
スピン洗浄装置
RCA洗浄に代わり薬液を使わない洗浄
当社では、薬液不使用の為、一般的な規模の排水処理設備が不要な 『スピン洗浄装置』を取り扱っております。 化学火傷などの皮膚刺激が無い為、作業環境が改善。 また、洗浄性・すすぎ性が高い為、純水使用量を低減可能です。 【特長】 ■排水処理負荷低減 ■作業環境改善 ■純水使用量低減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社フクシマ 長野本社
- 価格：応相談
ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置
ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です！
省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。 メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置
フルオートマティックスピン洗浄装置 300mm/8インチウエハー、ガラス
本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
小型スピン洗浄装置 ME-510
スピン回転により洗剤（界面活性剤等）でブラシ洗浄します。
「小型スピン洗浄装置 ME-510」は対象ワークを手動にてセットし、スピン回転により洗剤（界面活性剤等）でブラシ洗浄し、純水リンス洗浄、エアブロー乾燥の処理を行うマニュアルスピンナーです。対応回転数はMAX3000rpm、対応試料サイズは30～150角、PETフィルム及びガラスとなっています。ブラシ部はブラシ昇降、旋回、ブラシ回転、洗剤供給を行い、純水供給部はエアシリンダーによる旋回、純水供給を行います。本体サイズはW650ｘD800ｘH710でアルミフレームになります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
卓上スピン洗浄装置
上位機種と同等の高い洗浄性能が得られます。
■「試作開発」「手洗い洗浄の代替」「省力化」「品質向上」等に最適です。 ■手洗い洗浄とは異なり、ばらつきの無いハイレベルな表面品質が得られます。 ■基盤品質Upと洗浄作業費削減の両立を達成 ◎例えば、4台の卓上洗浄機を人工代の安い1人の作業者で運用処理 ■Si、SiC、GaN、サファイア、GaAs、LT等の処理に最適 ■丸形状基板は勿論、Crマスク等の角形状にも対応 ◎Maxサイズ：Φ20mm、6インチ角 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」 ◎スクラブや2流体処理時には、スキャン旋回機能が標準搭載。 ◎DIW2流体ツールで、優れたパーティクル除去性能 ◎ナイロン刷毛ブラシ or PVAブラシを基板表面状態に応じて選択 ■<洗剤の自動希釈ユニット>や<CO2イオナイザー>のオプション選択が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ソフエンジニアリング
- 価格：応相談
