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優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MFM
既存の主な制御方式および通信方式に合わせて使用するため、様々な出力形態に応じてアナログまたはデジタル制御を行います。本製品には、お客様のご要望に応じて、シングルガスモデル、マルチガス・マルチレンジモデルをご用意しています。 マルチガス・マルチレンジモデルは、スペアMFCの在庫の大幅削減に寄与する事でコストダウンを図っています。また、流量のモニタリングと制御を総合的に行うため、RS-485通信機能（コンバータ付RS-232通信機能）と複数用意されている診断およびアラーム機能を活用し、迅速に操作パラメータを入手できます。
幅広い分野で使用可能！ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ
『1030/1050』は、ガス種限定仕様のローコストマスフローコントローラです。 基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と 信頼性を高めています。 ガス種はAir・N2・Ar・H2・CO2・O2・Heに対応。医薬・培養・バイオ・ 農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い 分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト＆簡単操作 ■最大フルスケール流量：30 SLM・50SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定／出力信号：0-5V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
幅広いプロセスや用途に対応！中古装置のリファブに好適です
当社では、RoHS指令・CEマーキング対応の、株式会社堀場エステック製 マスフローコントローラ『SEC-Z4400シリーズ』を取り扱っております。 接ガス部はメタル仕様となっており、ピエゾバルブも搭載。 また、SEC-7300・4400シリーズの継手サイズ・ピン配列との 互換を確保しています。 【特長】 ■リプレイス・アップグレード ■高性能・高信頼性 ■フレキシビリティ ■RoHS指令・CEマーキング対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション
『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度 および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー コントローラ/メータです。 高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と 効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：700 ms - 1秒以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、 測定の再現性を向上 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
実証された長期安定性！高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします
『5850EMHシリーズ』は、リークインテグリティの高いメタルシールに、 柔軟なアプリケーション対応を可能にする高温マスフローコントローラです。 さまざまなオプションを組み合わせ、先端の高温ガス測定および制御を実現。 当製品の中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーで、 この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に 使用します。 【特長】 ■高リークインテグリティ（10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He 以下） ■幅広い流量レンジ（0.003～100 slpm） ■高清浄VAR 316Lステンレス製 ■粒子の発生を防ぐ ■ヘリウム漏れチェックポート ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！
『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント ±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガスに適しています
『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性 も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された 専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、 当製品は実流量を高速で追従させることができます。 【特長】 ■流量応答時間（セトリングタイム） 0.75秒以下 ■革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム ■通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ ■RS-232によるデジタル対応 ■オプションのローカルオペレーターインターフェース（LOI）で セットアップと操作を合理化 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー
GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、 コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、 従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と 再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。
圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！
オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プロセス）に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。
1台のデバイスで複数のガスに対応するマスフローコントローラ/メータ。最大4台まで接続できるコンパクトなリードアウトユニットも紹介
『GF40シリーズ』は、1台で複数のガスに対応し プロセスの柔軟性と生産性を向上できるマスフローコントローラ/メータです。 メーカー独自の「MultiFloテクノロジー」を搭載し 高精度な流量制御や測定が可能で、多様なガスを使用するシステムに好適。 頻繁にガスの種類を変更する場合や、測定と制御精度を維持しつつ 範囲を再調整する必要のあるプロセス・施設で活躍します。 また、『0254』は電源供給とアナログ制御の機能に加え RS232シリアルポートを搭載したリードアウトユニットです。 RoHS指令に準拠し、ユーザーフレンドリーな操作性を提供。 多様なアプリケーションに簡単にインストールできる取付方法のオプションがあり 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電力を供給します。 【特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■豊富な実ガスデータを搭載 ■ガス種と流量レンジを変更できるため、1台で多様な研究テーマに対応可能 ◎『0254』 ■流量設定は瞬時制御とバッチ制御、流量表示は瞬時と積算に対応 ■省スペースで最大4台のマスフローコントローラ/メータを接続可能
コリオリ式マスフローや当社初の圧力式マスフローコントローラなどもラインアップ
当資料は、ブルックスインストルメントの流量、圧力、蒸気および 真空製品を掲載した総合カタログです。 クローズドループ、ブースト、ヒステリシスを排除した「SLA Series」 などのプレッシャーコントローラをはじめ、複数のガス種と流量レンジを 1台でカバーできる「GF40 Series」などのサーマル式マスフローや、 面積式流量計、圧力/真空製品などをラインアップ。 大変参考になる一冊となっておりますので、導入検討の際に ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■マスフロー＆プレッシャーコントローラ ■面積式流量計 ■圧力/真空製品 ■セカンダリエレクトロニクス＆ソフトウェア ■通信プロトコル ■サービス＆サポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ブロンコスト製品をお使いのお客様のためのサポートサービスです。24時間・週7日対応のサービスラインをご利用頂けます。
ブロンコスト製品をお使いのお客様のためのサービス体制です。全世界のサービス網により、夜間対応も可能です。
『無料サンプル』進呈中！【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法をご確認いただくか、関連リンクから直接お申し込みください。
マスフローコントローラ市場規模は2030年までに30億米ドルに達すると予想されており、予測期間中に8.3%のCAGRで市場成長が見込まれます。 2022年に市場は198万600台の数量に達し、8.1%（2019～2022年）の成長を遂げました。 さらに、代替エネルギー源は、生産プロセス中の正確なガス流量制御に依存することがよくあります。たとえば、太陽電池の製造では、MFCは基板上に半導体材料の薄膜を堆積する化学気相成長（CVD）プロセスで使用されるガスの流れを制御します。したがって、代替エネルギー源の需要が市場の成長を促進します。
半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）の世界市場：熱タイプ、差圧タイプ、その他、単結晶炉、エッチング装置、薄膜蒸 ...
本調査レポート（Global Mass Flow Controller (MFC) for Semiconducto）は、半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。 半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）市場の種類別（By Type）のセグメントは、熱タイプ、差圧タイプ、その他を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、単結晶炉、エッチング装置、薄膜蒸着装置、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）の市場規模を算出しました。 主要企業の半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）市場シェア、製品・事業概要、販売実績なども掲載しています。
混合ガスにも対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載しています
『MCS/MCRSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で128種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
