更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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優れた精度、長期的な安定性、再現性！卓越した性能を実現しています
『SFC5330』は、コンパクトサイズでありながら、ダイナミックな 測定範囲を実現するマスフローコントローラーです。 「SFC5300」の小型版で、コスト重視の大量生産OEMプロジェクトに好適。 また、バルブレスタイプもご用意しており、同じ性能特性を備え、用途も 類似しているため、組み合わせてお使いいただけます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2 and 5 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
本体ボディーは金属製！バルブのないバージョンもご用意しております
『SFC5400』は、様々なインターフェースと様々な流体接続ができる 多用途マスフローコントローラーです。 50sccm～200slmの最大流量を測定でき、センサー信号は、チップ上で校正、 温度補償されたデジタル信号に直接変換。 また、複数のガス校正データを1つのデバイスに保存でき、動作中の ガス校正値が、測定している実際のガスと一致するかどうかをチェックする こともできます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Swagelock, VCO, VCR, Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
CMOSens MEMS技術を活用！幅広い用途に適した標準品として入手可能
『SFC5500-2slm』は、ドリフトすることがなく、市場で再校正する 必要がないマスフローコントローラーです。 複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせており、幅広い用途に 適した標準品として入手可能。 また、医療、分析、産業の環境での幅広い用途に適しており、標準的な 設定済みのバリエーションからお選びいただけます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：2 slm ■フルスケール流量：2000 sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：8bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ガスフローの精密制御において当社が歩んできた20年間の実績の集大成！
『SFC5500-0.5slm』は、複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた マスフローコントローラーです。 当製品は、マイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のある CMOSens MEMS技術を活用。 また、市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、 市場で再校正する必要がありません。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.5slm ■フルスケール流量：500sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
CMOSens MEMS技術を活用！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に好適
『SFC5500-200slm』は、一台の製品で複数の流量範囲に対応できる マスフローコントローラーです。 複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせ手織り、幅広い用途に適した 標準品として入手することが可能。 また、ドリフトすることがなく、市場で再校正する必要がありません。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：200slm ■フルスケール流量：200000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air, O2 and N2 flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）の世界市場：熱タイプ、差圧タイプ、その他、単結晶炉、エッチング装置、薄膜蒸 ...
本調査レポート（Global Mass Flow Controller (MFC) for Semiconducto）は、半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。 半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）市場の種類別（By Type）のセグメントは、熱タイプ、差圧タイプ、その他を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、単結晶炉、エッチング装置、薄膜蒸着装置、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）の市場規模を算出しました。 主要企業の半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）市場シェア、製品・事業概要、販売実績なども掲載しています。
流量センサ、バイパス、バルブ、電気回路で構成！幅広い分野で使用されています
当製品は、流体の体積または質量流量を測定して流量を制御する機器です。 主に流量センサ、バイパス、バルブ、電気回路で構成。精度が高く、 様々なガスに対応し必要な流量設定を行うことができるため、化学工場、 半導体工場、宇宙関係など、幅広い分野で使用されています。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【種類】 ■体積流量計 ■質量流量計 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
![ビュルケルト_ラボカタログ[圧縮版]](https://image.mono.ipros.com/public/default/object/noimage_l.gif?w=280&h=280)
ラボ用機器／研究用機器を、さらに小型化／効率化できます
ビュルケルトの各製品が、ラボ用機器などで、どのようにお役立ていただいているか、記載している資料です。 お客様の設計や製造の改善に、少しでもお役にたてば、と思っております。 イプロスのファイル容量の関係で（ファイル容量の制限が最大2MB）、こちらの資料は圧縮版（１枚に２ページ印刷の配布資料型式）となっております。 圧縮していないものをご希望の方は、ビュルケルトまでご連絡ください。
使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です！半導体・分析機器・医療機器用
『SFC6000D-5slm』は、優れた価格性能比と納期が8週間という 非常に魅力的なマスフローコントローラーです。 小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点に。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
優れた価格性能比！納期が8週間という非常に魅力的な製品です
『SFC6000D-20slm』は、非常に小さくて軽いため、デバイスの サイズと重量を最適化できるマスフローコントローラーです。 集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、 サプライチェーンは堅牢。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に
『SFC5500-50sccm』は、マイクロサーマル測定原理に基づいた マスフローコントローラーです。 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用。ドリフトすることがなく、市場で 再校正する必要がありません。 また、実現出来る幅広い流量制御範囲によって、一台の製品で複数の 流量範囲に対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05slm ■フルスケール流量：50sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
フルスケール流量は10slm！複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせたシリーズ
『SFC5500-10slm』は、幅広い用途に適した標準品として入手可能な マスフローコントローラーです。 本製品は「SFC5400」と同等の上位パフォーマンスを誇るため、医療、分析、 産業の環境での幅広い用途に好適。 また、一台の製品で従来のマスフローコントローラーの複数の流量範囲に 対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：10slm ■フルスケール流量：10000sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
コリオリ式マスフローや当社初の圧力式マスフローコントローラなどもラインアップ
当資料は、ブルックスインストルメントの流量、圧力、蒸気および 真空製品を掲載した総合カタログです。 クローズドループ、ブースト、ヒステリシスを排除した「SLA Series」 などのプレッシャーコントローラをはじめ、複数のガス種と流量レンジを 1台でカバーできる「GF40 Series」などのサーマル式マスフローや、 面積式流量計、圧力/真空製品などをラインアップ。 大変参考になる一冊となっておりますので、導入検討の際に ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■マスフロー＆プレッシャーコントローラ ■面積式流量計 ■圧力/真空製品 ■セカンダリエレクトロニクス＆ソフトウェア ■通信プロトコル ■サービス＆サポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
