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幅広い表面を均一に処理が必要なパーツに好適なノズルです
『PFW70』は、ストレートタイプのプラズマノズルです。 プラズマ照射孔を一列の直線(リニア)状で表面処理できる デザインになっており、ノズルから照射されるOpenair-Plasmaビームは ポテンシャルフリーを採用しています。 与える熱の影響が僅少なため熱に敏感な素材、特にシート材や 合繊フリースなどの前処理に適しています。 【特長】 ■リニア照射方幅広プラズマ処理 ■ポテンシャルフリーを採用 ■主に平板状材料の表面を高速、かつ幅広の前処理に活用 ■ノズル本体がモジュール構成できる ■処理幅は柔軟に広げることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
金型に組込める大気圧プラズマ装置。相性が悪いとされていた材料同士でも溶剤や接着剤なしで1つの成形機で接合でき、生産時間も短縮。
『InMould-Plasma(R)工法』は、2色成形機にプラズマノズルを組み込み、 成形工程で表面改質を行うことで、硬軟材料成形と表面処理を１台の成形機で連続加工でき、接着強度を大幅に改善できます。 接合が困難な組み合わせの材料も強固に接合できるため、 材料の選択肢が大幅に増え、デザイン・設計がより自由に。 大気圧プラズマによる表面処理で改質し、 成形材料の冷却時間よりも短いため、生産工程に影響せず、 工程の集約による生産効率の向上が可能です。 ★「PDFダウンロード」より、本工法の解説資料をご覧いただけます。 【特長】 ■相性の悪いPPとTPUの組み合わせでもプライマーなしで成形可能 ■ターンテーブルやスライドテーブルなど様々な金型に対応 ■プラズマ処理による対象物への温度影響はほぼなし ■成形物が固まる間に表面処理できるためタクトタイムも安心 ■パッキンの位置ずれや紛失を防ぎ、不良率を低減 ■プラズマ出力・圧力・温度を制御し、高品質なプロセスを実現
『Openair-Plasma(R)』は高速で、オゾンレスの表面処理技術。ロボットへの組込が容易で、乾式なインライン処理が可能！
独自開発のジェネレーターFG5001Sの特徴： ● 複合材、CFRP、汎用プラスチック、金属など様々な材料に対応 ● 表面洗浄と活性化を同時に処理 ● 表面処理プロセスを自動化に ● コンパクトなのにマルチノズルに対応 ● タッチパネル操作で見える化を実現 ● 制御システムによりプロセスを管理 ● プロセスデータを外部出力可能 ● オゾンレスで生産ラインに組込が容易 ● 条件に合わせて処理幅をカスタマイズ ※詳しくは資料ダウンロード、またはお問い合わせください。
自動車製造業におけるOpenair-Plasma(R) (オープンエアープラズマ)でのソリューション事例をご紹介
自動車業界では、安定した高品質を達成するため、微調整可能で ロバストなプロセスが用いられてきました。 また、複雑な形状の部品の製造をする場合には、耐久性に優れた 接着接合技術と高機能素材の使用が主なパラメーターとなります。 Openair-Plasma(R)［オープンエアープラズマ］は、 自動車業界の厳しい要件を満たす技術です。 そのため、大手メーカーのさまざまな製造プロセスにおいて、 確固たる地位を築いています。 【自動車製造におけるOpenair-Plasma(R)のソリューション事例】 ■ PP / PC製のヘッドライトやテールライトの接着性向上 ■ EPDMプロファイルへの 接着 / 印字 / 植毛加工 (フロック加工) 前処理 ■ 自動車内装品: 3D形状でも自動化で均一表面処理が可能 ■ 自動車外装品: 異種材の長期安定した接着接合が可能 ■ パワートレイン / 電子機器の密封性向上 ★☆★☆ 人とくるまのテクノロジー展2023 パシフィコ横浜 に出展します ☆★☆★ 小間番号：195
繊維の搬送・処理に実績を持っており電子関連や先端材料まで幅広い用途に対応！
当社では、フィルムや金属箔などフレキシブルな基板のクリーニング・親水化などの 表面処理に適したRtoR式の「プラズマ処理装置」を取り扱っています。 真空プラズマにより基板や目的に合わせたプロセスガスやプラズマモードが 選択でき、大気圧プラズマでは困難なプロセスに対応しています。 実績豊富な巻取式スパッタリング装置と基本構造を共通化しており、 信頼性の向上とコスト低減を図っています。 薄膜成膜前の表面処理に有効で、有機物の除去や親水化などに 大きな効果が得られます。 【特長】 ■真空プラズマによる効果的な表面処理 ■プラズマモードが選択可能（DC・RF／イオンガン）でプロセスの最適化 ■柔軟なカスタマイズ対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
ノズル洗浄式 高圧スプレー洗浄装置
コンベア連続搬送で多品種・高スループットに対応 高圧スプレー洗浄装置 【特徴】 ○コンベア搬送タイプ自動洗浄機（ノズル洗浄機） ○プレス加工後の油・付着物を洗浄 ○コンベア連続搬送で多品種・高スループットに対応 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。
小型卓上タイププラズマ装置 PiPi（ピピ）
・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用
生産機としても使用でき、多くのユーザー様で採用されております。
プラズマイオン注入・成膜装置（Plasma Based Ion Implantation & Deposition:PBII&D）とは株式会社栗田製作所と産業技術総合総合研究所関西センター殿と共同で開発し、特許を取得特許第3555928号）した全く新しいプラズマイオン注入技術です。DLCコーティングも可能です。取扱いが容易な為、生産機としても使用でき、多くのユーザー様で採用されております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！
SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！
SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を保有しています！
ジャパンクリエイト株式会社が行なった、『CVD装置』のオーダーメイド 製作実績をご紹介します。 「太陽電池用プラズマCVD装置」をはじめ、「立体物用プラズマCVD装置」や 「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を保有。 デモ機にてサンプル処理を実施しております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【製作実績（抜粋）】 ■太陽電池用プラズマCVD装置 ■立体物用プラズマCVD装置 ■研究開発用ロードロック式プラズマCVD装置 ■金属容器用プラズマCVD装置 ■医療容器用プラズマCVD装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコンタミ低減
『ドライエッチング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動で 連続処理することができる量産装置です。 2周波独立印加方式で、特殊表面処理によるメタルコンタミ低減。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作いたします。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング及び イオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた装置です。 【特長】 ■RIEモードとDPモードの切り替えが可能 ■特殊表面処理によるメタルコンタミ低減 ■省フットプリント ■2周波独立印加方式 ■超低温冷却ステージ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択できます！
『有機EL用蒸着装置』は、デバイス開発や材料開発に好適なマルチチャンバ 仕様の装置です。 前処理から成膜、封止までの工程を大気に触れずに処理することが可能。 目的に応じて、プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、 封止室等を自由に選択できます。 【特長】 ■基板サイズは最大□300mm対応 ■蒸着セルは各種材料・サイズから選択可能 ■CVD室、スパッタ室等との組み合わせも対応可 ■各種オーダーメイドも製作可能 ■デモ機にてサンプル処理を実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基板加熱温度最高1000℃！基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減！
『加圧RTA装置』は、減圧プロセスから加圧プロセス（0.9MPaG）まで対応 することができる製品です。 加熱源はハロゲンランプ、昇温レートは最大150℃/secとなっており、 優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現します。 半導体、MEMS、電子部品といった用途に使用できる装置で、基板表面の 高速熱酸化、結晶化、アニーリング処理等が可能です。 【特長】 ■加熱プロセス特有の元素抜けを軽減 ■減圧プロセスから加圧プロセス（0.9MPaG）まで対応可能 ■基板表面の高速熱酸化、結晶化、アニーリング処理等が可能 ■優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現 ■トレイ搬送にも対応可能 ■マルチチャンバ仕様も製作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デモ機有り！ 初回は無償でサンプル作成いたします。 安価なガスで低温ダメージレスな大気圧プラズマ処理をインラインで！
表面処理機でお困りの方は是非お声掛けください。 プラズマ処理機、コロナ処理機、フレーム処理機、各種処理装置を取り揃えております。 アクシス社の大気圧プラズマは樹脂、ガラスや金属などへの接着性、密着性、親水性、印刷性の向上、コーティング、塗装、接着、密着の前処理、有機物の除去や洗浄などのクリーニングとしても有効です。 金属、ガラス、樹脂の表面活性なら是非お試しください。 弊社にて濡れ性の確認テストがすぐに行えます。 N2,O2,H2といった各種ガスは常備しており、 サンプルをご持参いただければすぐに処理いたします。 小型電極は既存のラインへ設置が容易です。 ポテンシャルフリーなため対象物をダメージレスで処理が出来、 繊細な表面を持つプラスチックの光学フィルム、金属箔への処理に効果を発揮します。 裏抜けの心配もなく均一な表面処理が可能です。 プラズマ以外の様々なデモ機がございます。 詳しくは弊社HPまで！
