「フラックスレスリフロー装置　ＲＦシリーズ」は、フラックスを使用せず 減圧下でリフローを行うことができます。 従来のフラックスを用いたリフロープロセスに比べフラックスの塗布、 洗浄工程が不要になり約50％コストを削減でき、装置設置スペースも 1/3程度にすることが可能です。 また、フラックス洗浄時に発生していたCO2を約30％削減し、 環境負荷の低減に貢献できます。 また、真空プロセスのため、ボイドレスで処理できます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• 真空機器
• ウエハ加工/研磨装置
• リフロー装置

常温でバルク破壊強度が得られるウエハ接合を実現しました。 研究開発用接合装置から量産用接合装置まで対応しています。 ウエハレベルパッケージ、３次元実装など幅広い分野で使用いただいています。 開発用は、研究用表面活性化接合装置をシリーズ化し、活性化処理と接合を 行う機能を絞った接合装置から高精度アライメント、解析装置を搭載した 接合装置までさまざまなご提案をいたします。 量産用は、超高真空下において、シリコン、化合物半導体等、基板の接合表面を 活性化処理した後、接合する量産向け装置です。 シール材を使用せず、常温で接合することができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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• ウエハ加工/研磨装置

貼り合せ装置はUV樹脂のような接着剤を用いてウェハ同士を接合する装置です。 加重・接合室、オリフラ合わせ機構、アライメント機構、貼り合せ面積検査機構、角度ずれ検査機構から構成されています。 また、グローブボックスと接続し、不活性雰囲気で基板を前処理することもできます。 顧客のニーズに応じて、これら機構から必要な機能を選択して装置構成が可能です。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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• ウエハ加工/研磨装置

アユミ工業は、真空装置から加速器及び電子・ 物理工学関連装置など 高品質コンポーネンツを生産しています。 真空封止装置、液晶注入装置及び陽極接合装置等を代表的製品とする 真空装置と、 半導体用自動化省力化装置を始めとする産業用機器および 真空関連部品、 大型放射光施設向け各種真空コンポーネントをそろえています。 標準の装置以外にもお客様のニーズに併せたさまざまな真空装置の設計、 製作も行っています。 また、真空装置に使用するフランジ、バルブ等も制作しています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• 真空機器
• 公共試験/研究所

アユミ工業は、グローバルな視野を持ち常に時代の最先端を見つめ新しい技術、研究、開発、新しい製造システムのニーズを先取りし、自己研鑚を重ね、社会に貢献することを目標としています。 めまぐるしく変化する時代の中で的確に情報分析し、世界市場のニーズにお答えすると共に、地球環境にもやさしい技術開発・製品開発に努めています。 「開発」「加工製作」「製品」「情報」「制御」による５本の柱をもとに、常に時代の最先端を見つめ社会に貢献できる企業であり続けます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• 真空機器

●次世代ＭＥＭＳデバイス、半導体パッケージングの開発に最適なシステムです。 ●超高真空中で高精度のアライメント及び加重印加を行います。 ●基板の加熱を行わず、直接接合するため、異種材料の接合が可能です。 ●ロードロックシステム、クラスターシステムにも対応できます。

• その他半導体製造装置

8インチウエハーを最大1500kg加圧し、Max1100℃まで加熱することができます。超高真空にも対応できます。

• その他加工機械
• その他半導体製造装置

マスクアライメントは機構は、微動-ピエゾＸＹテーブル、粗動-ステッピングモーターＸＹΘテーブルを使用したナノオーダーのアライメント制度が得られます。

• 油圧機器

独自のヒーターにより、真空中、あるいは任意のガス雰囲気中で大量のワークを気密封止することが可能です。ＭＡＸ900℃まで加熱できます（オプションで1000℃以上にも対応可能）。独自の加熱方式により良好な温度分布が得られます。

• 油圧機器

インライン液晶注入装置：ＭＡＸ２１インチパネル対応。高真空（10-7Torr）から5kg/cm2の加圧領域間でインライン注入することより、高品質ＬＣＤを安定生産する量産装置です。

• 油圧機器

ＰＤＰ・ＦＥＤ用連続カード式排気装置：特殊カード搬送システムによるターボ分子ポンプ・パネルへの安全対策を施し、温度均一性も±５℃（パネル面上）を実現しました。

• 油圧機器

フラックスを使用せずギ酸を用いて減圧下でリフローを行うことを特徴とする装置です。 【特徴】 ○フラックスの塗布、洗浄工程が不要。 ○約50％コスト削減ができ、設置スペースも1/3程度にすることが可能です。 ○フラックス洗浄時に発生していたCO2wo約30％さくげんでき環境負荷の低減に貢献できます。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。

• リフロー装置

アユミ工業株式会社のカタログです。

• その他加工機械

バッチ処理で低露点化が得られます。大気中または真空中で高精度アライメントができます。接合雰囲気の条件変更が容易です。必要部分のみ加熱を行うので、歪みが少なく接合できます。ロッド間のばらつきがなく、歩留まりが良好です。操作が自動なので省力化が計れます。

• 油圧機器