【ラインナップ】 ○１プロセスチャンバーのマニュアル装置　RF-310 →低コストで１つの真空チャンバー内で、真空引き、ギ酸還元処理、加熱、冷却の一連の処理が可能 ○１プロセスチャンバーのセミオート装置　RF-400 →タクトタイムを短縮し、スループット向上 ○プロセスチャンバーを３つ持ったフルオート装置　RF-500 →スループットの最大化を実現 →Φ300mmウエハ搬送に対応 ○フルオートのインライン装置　RF-520IL →ウエハ及び基板処理に対応し、大量生産で使用可能 ○１プロセスチャンバーのフルオート装置　RF-530 →トレイ搬送に対応し、一度に複数の基板の処理が可能 ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• 真空機器
• ウエハ加工/研磨装置
• リフロー装置

【取扱製品】 ○試作用 →SAB-60RD1 　　表面活性化・接合に機能を絞った試作用接合装置 →SAB-60RD3 　　照射・接合機能を中心に、様々なオプション機構を増設可能 ○量産用 →SAB-60R 　　真空中でウエハを搬送し、アライメント後、接合可能 →SAB-60S 　　簡易アライメント機能付き ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• 真空機器
• ウエハ加工/研磨装置

【取扱製品】 ○試作用　ＶＪ-35 →真空中での加重・貼り合せ機能に絞った試作用貼り合せ装置 →サンプルの形状変更に柔軟に対応できるため、様々な種類の接合実験が可能 ○量産用　ＶＪ-60Ａ →カセットtoカセット方式を採用した量産用貼り合せ装置 →ウェハは８インチまで対応可能 ○量産用　ＶＪ-60Ｒ →カセットtoカセット方式を採用した量産用貼り合せ装置 →オリフラ合わせ、アライメント、貼り合せ後の、面積検査、角度ずれ検査を装備 ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• 真空機器
• ウエハ加工/研磨装置

【取扱製品（一部抜粋）】 ○研究開発用真空装置 →表面活性化接合装置 →ＭＢＥ装置 →ＣＶＤ装置 →表面構造解析装置 →研究開発用陽極接合装置 ほか ○シンクロトロン向け真空コンポーネント →単色4象眼スリット →即断シャッター →Be窓付CFフランジ →スクリーンモニタ →真空用６軸ゴニオメータ ほか ○各種真空コンポーネント →真空バルブ →超高真空用ＸＹθＺテーブル →Ｋセル →ウォーブルスティック ほか ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• 真空機器
• 公共試験/研究所

【事業内容】 ○開発 →共同開発 →テスト →試作 →製造システムの構築 ○加工製作 →ベリリウム窓、材料・製品 →超精密微細加工 →超精密研磨 →研削加工 ほか ○製品 →真空機器 →フラックスレスリフロー装置 →真空アニール装置 →真空封止装置 ほか ○情報 →今までうまくいかなかったが、何か良い方法はないか →こんな性能の製品がほしい →こんな開発製品を拡販したい ほか ○制御 →自動 →位置 →画像処理 ほか ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• 真空機器

超高真空下において、シリコン・化合物半導体等、基板の接合表面を活性化処理した後、接合する装置です。シール材を使用せず低温で接合することが出来ます。

• その他半導体製造装置

材料の接合表面を活性化処理後加圧することにより、接合する装置です。装置はクラスタ方式で、ロードロック室、活性化室・アライメント室・接合室(1)・同(2)・搬送室で構成されています。

• その他加工機械
• その他半導体製造装置

ＥＬ用基板とマスクを高真空中でアライメントし、Ｅ-ガン及びＫ-セル等の蒸発源により真空蒸着を行う装置です。

• 油圧機器

ＩＣ、ＬＳＩ、ＳＭＴ型各種電子部品、ディスクリート部品等の気密封止装置です。真空中あるいはガス雰囲気中で各種封止をすることができます。いろいろな部品に対応でき、試作用から量産用まで取りそろえています。

• 油圧機器

液晶製造プロセスに不可欠な注入、真空アニール装置です。研究用から量産用まで、２１インチから小型セルまでを標準対象とした各種設備を取りそろえています。

• 油圧機器

ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）といった新しいディスプレイデバイス用製造装置です。４０〜５０インチクラスのＰＤＰ、１０インチクラスのＦＥＤ製造装置としてオリジナリティに富んだ設備を提供しています。

• 油圧機器

フラックスを使用せずギ酸を用いて減圧下でリフローを行うことを特徴とする装置です。 【特徴】 ○フラックスの塗布、洗浄工程が不要。 ○約50％コスト削減ができ、設置スペースも1/3程度にすることが可能です。 ○フラックス洗浄時に発生していたCO2wo約30％さくげんでき環境負荷の低減に貢献できます。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。

• リフロー装置

【掲載内容】 ○真空封止装置 ○接合装置 ○フラットパネルディスプレイ ○フラックスレスリフロー装置 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他加工機械

センサー、マイクロマシン、ＳＯＩデバイス、材料開発用接合装置です。真空中での洗浄機構、アライメント機構、加熱機構、加重機構などにより構成された、新しいデバイス、センサーの開発、生産を目的とした装置です。

• 油圧機器