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測定チャンネル : 1 or 2 チャンネル 測定可能範囲 : atm~5×10e-8 Pa ターボ分子ポンプ排気速度 : 10~1900 l/s ドライポンプ排気速度 : 10~35000 l/m メモリ接続ポートオプション : USB or MicroSD 入力 : 100~240 VAC 寸法 : 1/4" ラックサイズ
排気速度:290 l/s、430 l/s、720 l/s、900 l/s 90 l/s、250 l/s、1350 l/s、1450 l/s は間もなく販売開始 到達圧力:10e-8 Pa台 吸気口:ICF、ISO-K 排気口:NW25KF ケーブル長:3~200m 起動時間:3.5~4.5min ベアリング:ハイブリッドベアリング
コントローラ ●1ch 表示器 ●3ch 表示器 ●6ch 表示器 トランスデューサ ●ピラニゲージ ●ピエゾゲージ ●キャパシタンスゲージ ● 〃 (温度コントロール型) ●ピラニキャパシタンスゲージ ●コールドカソードゲージ ●フルレンジCCゲージ ●プロセスイオンゲージ ●フルレンジBAゲージ
【主な特長】 ○排気速度 →47-400 L/sec ○オイルフリー →粗引ポンプはダイアフラムポンプ・スクロールポンプ・ロータリー ポンプから選択 ○TMP本体はnEXT85、240、300、400から選択 ○圧力表示 →大型ディスプレイ ○ボタンひとつで操作可能 ○フランジはICF、ISO-KF、ISO-Kフランジから選択
【主な特長】 ○排気速度 →35-685 L/sec ○オイルフリー →粗引ポンプにダイアフラムポンプを採用(オプションでロータリー ポンプも可) ○TMP本体はHiPace80、300、400、700を搭載 ○圧力表示 →大型ディスプレイ ○ボタンひとつで操作可能 ○ICF、ISO-KF、ISO-Kフランジのセレクト可能
"<主な仕様> 排気速度:10 l/s~2,950 l/s 到達圧力:5×10e-8 Pa フランジ:ICF、ISO-K、ISO-F 取付位置:自由 冷却方法:自然空冷・強制空冷・水冷 弊社ではライボルト社・ファイファー社・エドワーズ社・アジレント社 のターボ分子ポンプを販売しております。 仕様はカタログ及び弊社のホームページをご確認ください。 "
"<主な仕様> 排気速度:84 l/s~400 l/s 到達圧力:5×10e-8 Pa フランジ:ICF、ISO-K 取付位置:180°(水平まで) 冷却方法:自然空冷・強制空冷・水冷 弊社ではライボルト社・ファイファー社・エドワーズ社・アジレント社 のターボ分子ポンプを販売しております。 仕様はカタログ及び弊社のホームページをご確認ください。 "
<主な仕様> 排気速度:90 l/s~450 l/s 到達圧力:5×10e-8 Pa フランジ:ICF、ISO-K 取付位置:自由 冷却:自然空冷・強制空冷・水冷 弊社ではライボルト社・ファイファー社・エドワーズ社・アジレント社 のターボ分子ポンプを販売しております。 仕様はカタログ及び弊社のホームページをご確認ください。
"【主な製品】 ●フランジ規格:ICF、ISO-KF、ISO ●フランジサイズ:DN16~DN200 ●フランジ材質:SUS304、SUS316 ●ICFビューポート窓材:ガラス、溶融石英、サファイア、ZnCe、 MgF2 ●ビューポートオプション:非磁性、ARコート、InSnO2コート、 カバーガラス、X線防止用鉛ガラス、 ガラス交換可能タイプ ●ガラスアダプタタイプ:開放型、封じ切り型、ベロー付 ●ガラスアダプタ材質:コーディアル、パイレックス、溶融石英"
【主な製品】 ●真空フランジ(固定、回転、ブランク、穴開き、タップ、キリ穴、SUS304、SUS316) ●ガスケット(無酸素銅、アニール、銀コート、金コート)
【主な製品】 ●クランプ(1点式、2点式) ●センターリング(Al/ニトリル、SUS/バイトン、異径、メッシュ付) ●真空フランジ(ブランクフランジ、ショートフランジ、ロングフランジ) ●エルボ・ティー・クロス
"【主な製品】 ●フランジ(ブランク、穴開き、クロータイプ、ボルトタイプ) ●センターリング(Al/ニトリル、SUS/バイトン、アウターリング付、 メッシュ付) ●クロークランプ(ダブルクロークランプ、ウォールクランプ) "
"【主な製品】 ●配管(ニップル、エルボー、ティー、四方・五方・六方クロス) ●変換フランジ(ゼロレングス、固定ニップル、回転ニップル) ●レデューサー(ICF-KF、ICF-ISO) ●アダプタ(スウェージロック、VCR、水冷、LN2) "
"【主な製品】 ●フランジ(ショートフランジ、ロングフランジ) ●配管(ニップル、エルボー、ティー、四方・五方・六方クロス) ●レデューサー(KF-KF、KF-ICF、KF-ISO) ●アダプタ(ホースアダプタ、スウェージロック、VCR、NPT) "
"【主な製品】 ●フランジ(ショートフランジ、ロングフランジ) ●配管(ニップル、エルボー、ティー、四方・五方・六方クロス) ●レデューサー(ISO-ISO、ISO-ICF、ISO-KF) "
●フランジサイズ:ICF70、NW25KF、NW40KF、NW50KF ●アクチュエータ:手動式、圧空式(複動、単動) ●オプション:リミットスィッチ、電磁弁 ●使用圧力範囲:0.2MPa~10e-8Pa
【特徴】 ○DN16・DN25・DN40・DN50 ○ISO-KF ○独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをご覧ください。
【特徴】 ○DN63・DN80・DN100・DN160 ○旧JIS ○独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをご覧ください。
【特徴】 ○DN63・DN80・DN100・DN160・DN200・DN250・DN320 ○CF-F metric・CF-F unf・ISO-F・ASA-LP ○独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをご覧ください。
【特徴】 ○DN63・DN80・DN100・DN160・DN200 ○企業においても、合理化、省力化の波に技術革命が進み、より微細化、より高度化 ○独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをご覧ください。
【主な特長】 ○オイルフリーTMP ○取り付け位置自由 ○軸受けはセラミックベアリング使用 ○クリーンな真空を得られる ○高スループット ○高フォアライン耐圧 ○ダイアフラムポンプとの組み合わせで使用することが可能 ●詳しくはお問い合わせください。
【主な特長】 ○高ガス負荷条件のアプリケーションにおいて高いスループットを提供 →高帯域設計により、バックポンプの小型化が可能 →最適なローター形状設計により、大気圧下でのスタートも可能 ○コントローラ搭載の305-IC及びリモートコントロール型305-FSがあり、 RS232/485、Bluetooth、USB、NFC に対応しています。 ○電源電圧120V/240VVACまたは24VDCの選択可能 ○小型で設置位置、設置姿勢の自由度が大 ○装置内設置面積の削減 ○全方向取付可能 ○TwisTorr ドラッグステージ(特許)の採用により、低い運転温度でも高い スループットを発揮 ●詳しくはお問い合わせください。
【主な特長】 ○色々なタイプのトランスデューサと組み合わせることで大気圧から超高真空までの計測が可能 ○最大12個までのトランスデューサと接続が可能 ○同時に8個まで表示することができる ○8個のセットポイントとアナログ出力があり、RS232/485も標準装備 【接続可能トランスデューサ】 ○サーモカップルゲージ(1×10-1 ~ 133 Pa) ○コンベクトールゲージ(1×10-1 Pa ~ atm) ○コールドカソードゲージ(1×10-9 Pa ~ 1×10-1 Pa) ○B/Aゲージ(2.7×10-8 ~ 1×10-1 Pa) ○キャパシタンスダイアフラムゲージ (1.33×102 ~ 1.33×105 フルスケール) ○フルレンジゲージ/ピラニ-コールドカソードゲージ (5×10-7 Pa ~ atm) ○フルレンジゲージ/ピラニ-B/Aゲージ(5×10-8 Pa ~ atm) ○ヌードイオンゲージ(6.7×10-10 ~ 1×10-1 Pa) ●詳しくはお問い合わせください。
【主な特長】 ○ガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際、 微小なガスフローを制御する ○再現性よく高精密なガスコントロールを実現 →バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの 材質・構造を工夫することにより再現性よく、高精密な ガスコントロールを実現 ○調節範囲:1×104 ~ 1×109 Pa ○フランジ:ICF34回転or固定、ICF70回転or固定 ●詳しくはお問い合わせください。
【主な特長】 ○真空チャンバー内での直線移動に使用 ○廉価版から高精度型まで種々取り扱いあり ○駆動方式:プッシュプル式、スクリュー式、マイクロメータ式、 圧空式、モーター式 ○駆動距離:25 ~ 150mm ○フランジ:ICF34、ICF70 ●詳しくはお問い合わせください。
【主な特長】 ○チャンバー取付けフランジとシステムフランジがベローズで接続 ○中空型の直線導入機 ○真空中を移動させることが可能 →各種線源や、トランスデューサなどを装着 ○駆動方式:手動式、モーター駆動式 ○駆動距離:25 ~ 100mm ○フランジ:ICF70 ●詳しくはお問い合わせください。
【主な特長】 ○真空チャンバー内でサンプルや各種コンポーネントを 回転させるために使用 ○精度を要求されない廉価版から、高精度型まで、各種取扱いあり ○駆動方式:手動式、モーター駆動式 ○フランジ:ICF34、ICF70 ●詳しくはお問い合わせください。
【主な特長】 ○排気速度 →46-380L/sec ○オイルフリー →粗引ポンプにIDP-3を採用 ○V81またはV301を搭載 ○RS232、I/Oインターフェイス標準装備 ○高真空真空計ドライブカード標準装備 ○圧力表示 →大型ディスプレイ ○ボタンひとつで操作可能 ○KF、ISO、CFFフランジのセレクト可能 ○パーティクル逆拡散防止用のアイソレーションバルブ付 【その他の特長】 ○電圧仕様 →100V、110V、220V ○電源プラグ →3種:EU、UK、USA仕様 ○冷陰極型真空計又はフルレンジゲージ(オプション) ○モバイル用のキャスター(オプション) ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
【主な特長】 ○パワフル 高性能 →他の同サイズのポンプより高度な真空性能を発揮 ○オイルフリー クリーンな真空 →研究用、工業用アプリケーションでドライ真空が容易に得られます ○革新的 ハーメチックデザイン →真空部分とベアリング及びモータぶぶんが 完全に隔離されており、 プロセスガスや水蒸気から保護されています。 ○経済的 低ランニングコスト →頑丈で効率的なスクロールポンプ技術により、サービス間隔を長期化し、 ランニングコストを大変低く抑えます ○使いやすいシステム インテグレーションが簡単 →省スペース、軽量かつ低電力で、システムデザインに容易に適合します。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
【特長】 ○先進のロータテクノロジ →高いプロセス柔軟性 →オイルフリー →低振動 →高信頼性 →長期メンテナンスフリー ○先進のコントロールユニット →オートチューニング →自己診断機能 →DCモータドライブ →バッテリなしで作動 ○コンパクト設計 →省設置面積 →ハーフラック・コントロールユニット ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
【特長】 ○実績の信頼性 ○クリーンなオイルフリー高真空 ○300~4300L/sのフルレンジ ○アプリケーション別固有モデル ○超低騒音/低振動 ○低ランニングコスト ○長期メンテナンスフリー ○取付方向が自由 ○フルリモート制御インターフェース機能 ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
【特長】 ○先進的な磁気軸受システム →セルフセンシング磁気軸受技術の採用 →完全5軸デジタル制御 ○コンパクトデザイン →コントロールユニット一体型ターボ分子ポンプ →ラック型コントロールユニットが不要 →ポンプーコントロールユニット間のケーブルが不要 ○低振動 →振動レベルを50%に低減(当社比) →ABS標準搭載 →AVR標準搭載 ○高信頼性 →各種国際安全規格に対応 →CEマーク、UL規格、SEMI-S2準拠 ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。 ●詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
【主な特長】 ○コントロールパネル標準装備 →リモート/ローカルON/OFFやアラーム・ワーニングを表示 ○高い信頼性と優れた排気速度 →独自のスクリューローター(特許取得)を採用 →優れた温度制御システムの採用で高速排気とロングライフを実現 ○幅広い用途に適応 ○ランニングコストの低減 ○低振動・低騒音 ○通信機能(オプション) ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
【主な特長】 ○ユニークな給油システムを採用 →加圧給油方式を採用しており、大気圧から高真空までの運転がスムーズです。 →特にRVシリーズは高真空はもちろんハイスループット(高い圧力)でもスムーズな連続運転を実現する為、 オイル流量の調整バルブを内蔵しています。 ○オイルの逆流防止機構 →停電などの突然の停止時にもオイルの逆流を完全に防止し、システム側を真空状態に保ちます。 ○低振動・低ノイズ →精密加工と特殊給油方式により、振動・ノイズがきわめて低く、RVシリーズで48dB(A)程度です。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
トールシール基本情報 【主な特徴】 ○使用可能真空度:10-7 Pa以下 ○温度範囲:-45 ~ 120 ℃ ○硬化時間:1 ~ 2 時間 ○完全乾燥時間:24時間 ○接着可能材質:金属、セラミック、ガラス (テフロン、ナイロン、ポリプロピレンン等には使用できません。) ○使用方法:トールシールミキシングシステムに装着し、ハンドルを絞ると、ミキシングノズル先端から調合された接着剤が出てきます。
【主な特徴】 ●排気速度:100~377 l/m まで4機種 ●特許技術により、チップシールの磨耗を削減 →2年半に1回のチップシール交換(フィールドで可能) →5年に1回のベアリング交換 →チップシールの磨耗粉の軽減 ●スクロールポンプ最高クラスの到達圧力 ●制御機能 →インバータ搭載 →マニュアル制御及びリモート制御 →シリアル制御及びUSBインターフェース
"・低消費電力:10個のライトを全て使用した場合で50W ・高輝度:105ルーメン(コントローラにより可変) ・高寿命:100,000時間 ・ICF70用:シングルライト、ICF114:ダブルライト ・リモートコントローラまたはPCで制御 "
"<構成> 1.ロータリーポンプコントロール装置 2.真空バッファーチャンバー 3.ケース 4.ピラニゲージ 5.電磁ベローズバルブ 6.接続キット <オプション> 1.バッファーチャンバー形状・容量 2.フォアライントラップ "
"<取扱ポンプ> ●ロータリーポンプ ●スクロールポンプ ●ターボ分子ポンプ ●油拡散ポンプ ●イオンポンプ <取扱メーカー> ●アジレント社(バリアン社) ●エドワーズ社 ●ファイファー社 ●アディクセン社 ●ライボルト社 ●アネスト岩田株式会社"
"<製品仕様> フランジ:2インチ~35インチ ISO、ASA 排気速度:65~28,000 l/s (Air) 90~35,000 l/s(H2、He) 使用圧力範囲:0.2~7×10e-7 Pa オプション:水冷バッフル コールドキャップ "
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