サーモニックENGの製品ラインアップ

当社では、研究開発用「小型塩素炉」を取り扱っております。 管状炉の“ガス漏洩リスクが高く、安全性に乏しい"“試料スケールアップや 連続試験に不向き"といった課題を解決するために開発。 本装置は、塩素および塩化水素を安全かつ制御性高く供給できる密閉構造炉であり、 試料量を確保しつつ、腐食性ガスを用いた乾式処理を研究レベルで再現性高く 行うことが可能です。 【特長】 ■高耐食材料採用：サーモニック独自の技術により高耐食性を実現 ■スクラバー連結容易：液吸収・二段式中和塔などとの接続が簡便 ■腐食ガスモニタ対応：漏洩検知センサーとの連動運転が可能 ■スケール適応性：数g〜数100gまでの試料処理に対応 ■常に負圧での運転：大気圧よりも低い圧力で運転することにより 　プロセスガスの漏洩リスクを低減 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社で取り扱う「塩素炉」は、減圧下で温度と塩素分圧を独立制御できる構造を 有しています。 都市鉱山には、Au、Cu、Sn、Fe、Niといった金属が複雑に共存しており、これらを 乾式塩化揮発法により分離できれば、廃液処理の負担を抑えつつ、有価金属のみを 効率的に回収する新しいリサイクル手法が実現可能。 また、温度・圧力・塩素分圧を精密に制御できる本装置の特性から、将来的に 「都市鉱山からの有価金属選択回収」に発展し得ると考えています。 【特長】 ■低温でのベースメタル揮発：FeCl3、SnCl4などを200〜300℃付近で選択揮発 ■中温での貴金属塩生成制御：AuCl3などの安定領域を利用した貴金属分離 ■圧力制御による反応シーケンス切替：減圧条件下で塩化物の生成・分解平衡を制御 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社では、塩素・塩化水素雰囲気での腐食挙動を再現できる「塩素炉」を 取り扱っております。 高温×腐食性雰囲気を安全に再現できる実験炉。塩素ガスによる高温腐食機構の 基礎研究や耐塩素性材料(高合金・被膜材・セラミックス)の耐久評価、腐食防止 コーティングの試験プラットフォームなどへの応用が理論的に期待されます。 また当社では、テスト機もご用意いたしております。 【特長】 ■塩素・塩化水素など腐食性ガス対応 ■減圧・温度の同時制御 ■乾式構造による高純度雰囲気 ■常時減圧雰囲気によるプロセスガスの漏洩リスクを低減 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

「小型塩素炉」は、Cl2/HClによる選択塩素化で、カーボン粉末に残る Fe/Ni/Alなどの金属不純物を乾式で揮発・除去することが可能です。 段階温度プロファイルで塩化、揮発を制御し、母材の結晶性や比表面を 保ったまま短時間で低残渣化。 また、塩酸や硫酸などの酸性溶媒を使用しないため、廃液処理の負担を 抑えつつ、製品の高純度化ができます。 【特長】 ■塩素化で選択的に金属塩化物を揮発 ■乾式で水洗レス、後処理の簡素化・歩留まりおよびエネルギー効率向上 ■母材保持設計：酸素分圧と滞留時間の制御で物性維持 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

「小型塩素炉」は、負圧運転と酸素分圧制御で相や粒径を保ち、洗浄レスで 廃液を最小化する製品です。 Cl2/HClを用いた選択塩素化により、セラミックス粉(SiO2/Al2O3/Si3N4) 製造時に混入した金属不純物を乾式で除去。 また、塩化揮発により母相の組成・結晶相・粒度分布を保持しつつ、 短時間で不純物を低減。水洗工程を省けるため再乾燥、廃液処理コストを 抑えられます。 【特長】 ■選択塩素化×温度段階化：金属塩化物のみを優先揮発、母材相を維持 ■乾式プロセス：水洗不要で廃液・再乾燥の負担を最小化 ■物性保持設計：酸素分圧・滞留時間制御で結晶相・粒径・比表面を維持 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

「小型塩素炉」は、Cl2/HClによる“選択塩素化→揮発"を用いた治具向け ドライクリーニング装置です。 MOCVD/エピ炉サセプタ、石英ボート・管等に付着したGaN/AlN/Si系生成物を 対象に、材料に応じた温度段階とガス組成で塩化物へ変換し、低温で揮発除去。 また、酸洗い不要で廃液負担を抑え、寸法変化・歪み・粒界損傷を最小化します。 【特長】 ■選択塩素化×段階温度：付着物を塩化物化→低温で揮発、 　母材ダメージを抑制 ■乾式で廃液最小：酸洗いレス、洗浄・乾燥工程を短縮 ■寸法・表面を維持：負圧運転/酸素分圧制御で歪み・粗さ変化を抑える ■多材料対応：石英・SiC・C/C・金属(Mo/W/Al系)などの治具に適用可 ※さらに詳しい情報についてはダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

「小型塩素炉」は、母材を残して乾式で分離・低汚染、洗浄レスで後処理を 簡素化する製品です。 材料中の金属不純物をCl2/HClによる選択塩素化で揮発性塩化物に変換し、 温度段階と滞留時間の制御で優先的に除去する乾式プロセス。 また、金属塩化物の蒸気圧差・生成自由エネルギー差を利用するため、 母材の組成や結晶相を損なわずに高選択で分離でき、排液がほぼ出ないため 環境負荷とコストを低減できます。 【特長】 ■選択性：塩化物の蒸気圧差を利用し、ターゲット不純物のみ優先揮発 ■段階温度プロファイル：低温→中温で順次分離、母材損傷を抑制 ■乾式・低廃棄：洗浄レスで廃液ほぼゼロ、後処理が簡便 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

前回は、塩素炉で金属不純物を塩化物に変換して取り除く原理(塩化揮発)を ご紹介しました。 今日は多くの方が抱く疑問 「Cl2やHCIのような腐食性・有毒ガスを"高温で"流すのは危険では？」に お答えします。 管状炉は入手しやすく多用途で、少量サンプルの新規合成には好適です。 一方で 「有効加熱域が小さく、スケールアップで頭打ちになりがち」 「長期使用やヒートショックで管に微小クラック、正圧運転時に漏えい リスクが増大」といった"現場あるある"も否めません。 「高温×腐食性ガス＝危険」は直感的に正しい。だからこそ、設計思想と 運用設計で"危険を管理する"ことが本質です。Thermonik ENGの小型塩素炉は、 その発想でつくられています。 安全をつくる設計思想 1)負圧(減圧)運転を基本に 真空システムを有しているため、炉内圧を常に大気圧より低く維持。 万一のシール劣化時も外部への吹き出しを抑制し、Cl2/HCIの漏えいリスクを 低減します。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社が取り扱う小型塩素炉について、 ■開発の背景 ■塩素炉内部での不純物除去メカニズム(塩化揮発法) ■装置の仕様・運用ポイント を連載でご紹介します。 まずは「なぜ塩素炉なのか？」から。 近年、半導体の微細化·電池の高性能化に伴い、粉体原料に求められる 金属不純物(Fe/Cu/Niなど導電性異物)管理は、ppm～ppbレベルへ急速に 高度化しています。 わずかなコンタミでも、歩留まり·信頼性に致命的な影響を与えます。 一般的な対策としては 1 湿式(酸処理)：強酸で金属不純物を溶解除去 2 乾式(磁選)：強力な電磁石で磁性粒子を回収 が採られてきました。 しかし、 ■湿式は均一除去の利点がある一方で、大量の排水、禁水性材料に不適、 　再乾燥によるエネルギー負荷などの課題。 ■磁選は磁性を持つ粒子に限定され、非磁性の金属化合物や微細付着物には 　効きづらい。 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

小型塩素炉(Cl2/HCI対応)について、現場の困りごとと、なぜ安全に 塩素化プロセスを運転できるのかをご紹介します。 酸化物/金属中の微量不純物を揮発性塩化物として除去し、ハロゲン洗浄 による脱金属·脱酸素、表面クリーニングが可能。 また、独自設計により高温×Cl2/HCIでも炉材の劣化を抑制する耐食構造など といった、安全·再現性を担保する設計ポイントがございます。 【よくあるお困りごと】 ■湿式酸処理は廃液処理・エネルギーコストが重く、乾式で置き換えたい ■製品が禁水性のため、濡らさずに金属異物を除去したい ■Dry雰囲気で選択的に金属不純物だけを除去したい ■管状炉でのCI2試験から、より安全にスケールアップしたい ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

「塩素炉」は、サーモニック独自の技術により、Cl2、HClガスなどの ハロゲンガス対応する装置です。(CE、SEMI、UL規格認証) 棚板ヒーター採用により均一加熱が可能で、サンプル内部までCl2ガスが 拡散し高効率の反応ができます。 また、発生した塩化物の沸点を降下でき、より低温での処理が可能です。 【特長】 ■独自の技術により、Cl2、HClガスなどのハロゲンガス対応 ■棚板ヒーター採用により均一加熱が可能 ■サンプル内部までCl2ガスが拡散し高効率の反応が可能 ■発生した塩化物の沸点を降下でき、より低温での処理が可能 ■Cl2やHClガスの漏洩リスクを低減 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

ハロゲンガス（Cl、F、Br など）を伴うプロセスでは、一般的な電気炉に以下のような問題が起こりがちです。 ■ ヒーターや断熱材がハロゲンにより急速に腐食 ■ パッキンや配管材質が合わず、リークや安全面への不安 その結果、新しい材料プロセスの検討自体を諦めるといった状況が生じています。 Thermonik ENGの“小型ハロゲン対応炉”は、 １．プロセスガスとしてハロゲンを積極的に流したい場合 ２．サンプルからハロゲンが揮発して炉を汚してしまう場合 この2つのケースを想定し、「ハロゲンだからできない」を「ハロゲンでもテストできる」に変えるための専用炉です。 [特長] ■ 高耐食材料採用：サーモニック独自の技術により高耐食性を実現 ■ 腐食ガスモニタ対応：漏洩検知センサーとの連動運転が可能 ■ スケール適応性：数g〜数100gまでの試料処理に対応 ■ 常に負圧での運転：大気圧よりも低い圧力で運転することによりプロセスガスの漏洩リスクを低減