サーモニックENGの製品ラインアップ

当社で取り扱う「メタル炉」は、極真空雰囲気での高純度熱処理に対応した電気炉です。 炉内のホットゾーンをメタル材で構成することで、黒鉛材・断熱材・有機物由来のアウトガスや炭素コンタミを抑制し、 材料本来の表面反応・相変化を評価しやすい環境を実現します。 メタル炉では、内壁・ヒーター・治具を金属系材料で構成することにより、炉材由来の汚染を抑えたクリーンな熱処理が可能です。 特に、炉材のコンタミを嫌う材料、表面反応や相変化を正確に評価したい材料、貴金属・遷移金属・薄膜・電極材・光学部材などのアニールに適しています。 【特長】 ■ 極真空雰囲気に対応 ・その他の電気炉では到達が難しい極真空雰囲気を形成可能 ・酸素、水分、残留ガスの影響を抑えた高純度熱処理に対応 ■ 炉材由来コンタミを抑制 ・長期使用による炉材劣化、粉化、アウトガスの影響を抑えやすい ・断熱材や黒鉛部材由来の汚染を嫌う材料に適用可能 また、設備導入前の条件確認として、実サンプルを用いた焼成テストにも対応可能です。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

当社で取り扱う「メタル炉」は、極真空雰囲気での高純度熱処理に対応した電気炉です。 炉内のホットゾーンをメタル材で構成することで、黒鉛材・断熱材・有機物由来のアウトガスやカーボンコンタミを抑制し、 酸素・炭素・水分の影響を低減したクリーンな熱処理環境を形成します。 メタル炉では、金属ヒーター・金属チャンバー構造により、極真空からAr/N₂/H₂などの雰囲気制御まで対応し、 高純度粉末やセラミック部材の脱ガス、脱水、脱炭、還元処理に適用できます。 【特長】 ■ 極真空雰囲気に対応 ・10^-3〜10^-5 Paの真空到達に対応 ■ メタルホットゾーン構成 ・金属ヒーター、金属チャンバー構造により、炉材の混入を抑制 ■ 高精度な温度・雰囲気制御 ・真空、Ar、N₂、H₂など、目的に応じた雰囲気制御に対応 ■ 小型から大型へのスケールアップに対応 ・小型機で条件確認後、大型炉への展開も検討可能 また、設備導入前の条件確認として、実サンプルを用いた焼成テストにも対応可能です。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

当社で取り扱う「メタル炉」は、小型・密閉構造のため、研究室・ 分析室レベルでも安全に設置可能です。 触媒担体や導電材料の還元処理、スパッタターゲット材・焼結体前処理の 高純度熱処理、高温での酸化・拡散・析出挙動の基礎研究などの用途に好適。 テスト機もご用意いたしております。 また、小型機以外にも量産スケールの炉も製作可能です。 【特長】 ■炉材に金属(Mo/W/ステンレス等)を採用し、カーボン由来の汚染を抑制 ■真空雰囲気～還元雰囲気(H₂/N₂/Ar)まで対応し、高純度環境での熱処理が可能 ■高精度な温度制御(～1800℃)により、薄膜や微粒子のアニール条件を正確に再現 ■小型・密閉構造のため、研究室・分析室レベルでも安全に設置可能 ■量産機へのスケールアップ実績あり 　(サーモニックENGでは大型メタル炉の製造実績もあり) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

当社で取り扱う「メタル炉」は、セラミックスや金属の封着・ろう付け・拡散接合に適した高純度雰囲気炉です。 微量O2/H2O/炭化水素は、濡れ性・界面反応・気密性に影響します。 メタル炉は高真空雰囲気とMo/W系金属ホットゾーンにより、炭素・有機由来の汚染を抑えた熱処理が可能です。 薄膜・電極・光学部材の高純度アニール、封止処理にも適用できます。 【特長】 ■ 高真空雰囲気で残留ガスの影響を低減 ■ 金属ホットゾーンによりクリーン雰囲気を維持 ■ ±1℃以内の温度均一性と長期安定制御 ■ 金属治具や荷重機構との組合せが可能 ■ 試料の小型化・局所加熱試験にも対応 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

本資料は、電気炉の初期検討で迷いやすいポイントと炉タイプの特長を整理し、 用途・条件に適した選定をサポートする入門資料です。 温度をはじめ、不活性ガス、還元ガス、真空、加湿(湿潤雰囲気)、塩素系などの雰囲気、 サンプルの形状・材質を軸に、適合する電気炉のタイプをご紹介。 管状炉、マルチ雰囲気炉、メタル炉、カーボン炉、小型塩素炉といった標準機の特長や、 特殊仕様に関する技術相談・テスト・評価サービスについても紹介しています。 【掲載内容（抜粋）】 ■電気炉選定で最初に決める3つのこと ■炉タイプ別の「得意領域」早見表 ■選定ミスを防ぐためのチェックポイント ■電気炉選定フローチャート ■電気炉の特長・選定チェックリスト ※＜カタログをダウンロード＞より、すぐにご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。

半導体部品では、長期信頼性を確保するため、封止工程における気密性や酸化・汚染の抑制が重要です。 特に、セラミックスと金属の封止、ろう付け、アニール、焼成では、炉内の清浄性や真空・雰囲気制御が品質に影響します。 弊社のメタル炉は、炉内を金属部材で構成しているため、断熱材由来の粉じんや不純物の影響を抑えやすく、清浄な高純度雰囲気での熱処理に適しています。 また、一般的な断熱材炉に比べて高真空まで減圧しやすく、真空・N2・Ar・H2などの雰囲気で、半導体部品の気密封止、ろう付け、酸化防止、アニールに対応可能です。 ■ 半導体部品の気密封止条件を検討したい ■ セラミックスと金属の接合・封止品質を安定させたい ■ 酸化や汚染を抑えた高純度雰囲気で処理したい ■ 高真空、N2、Ar、H2雰囲気で熱処理したい ■ 既製炉では真空度、清浄度、炉内寸法が合わない

分析評価では、サンプル表面の酸化、吸着水分、残留ガス、有機成分、不純物汚染が測定結果に影響する場合があります。 特に、高精度分析や表面分析、材料評価を行う前には、分析用サンプルを高真空・高純度雰囲気下で熱処理し、状態を安定化させることが重要です。 弊社のメタル炉は、炉内を金属部材で構成しているため、断熱材由来の粉じんや不純物の影響を抑えやすく、他炉種と比べて清浄な高純度雰囲気での焼成・熱処理に適しています。 また、一般的な断熱材炉に比べて高真空まで減圧しやすく、真空・N2・Ar・H2などの雰囲気で、分析前サンプルの脱ガス、酸化防止、還元処理、アニール、熱処理条件の検討に対応可能です。 ■ 分析前にサンプルを高真空で脱ガスしたい ■ 表面酸化や吸着水分の影響を抑えたい ■ 高純度雰囲気で分析用試料を熱処理したい ■ 真空・N2・Ar・H2雰囲気でサンプル前処理を行いたい ■ 既製炉では真空度、清浄度、炉内寸法が合わない

研究開発や試作評価では、材料ごとに温度・雰囲気・処理時間を細かく検討できる高温炉が必要です。 特に、セラミックスと金属の接合、ろう付け、アニール、焼成、還元雰囲気処理では、炉内の清浄性や雰囲気制御が品質に影響します。 弊社のメタル炉は、Mo・Wなどの金属ヒーターを用いた高温雰囲気炉で、真空・N2・Ar・H2などの雰囲気に対応可能です。 大学・研究機関・企業研究所での材料評価、試作、量産前検討まで、処理物の材質・サイズ・温度・雰囲気に応じてカスタム設計します。 ■ 研究開発用の高温炉を探している ■ セラミックスと金属の接合・封着を検討したい ■ ろう付け、アニール、焼成条件を評価したい ■ 真空・N2・Ar・H2雰囲気で処理したい ■ 既製炉では温度、炉内寸法、雰囲気条件が合わない

光学部品の製造では、材料の酸化や汚染を抑えながら、安定した温度・雰囲気で処理することが重要です。 特に、セラミックスと金属の気密封着、ガラス封着、ろう付け、アニール、焼成では、炉内雰囲気の清浄性や温度均一性が品質に影響します。 弊社のメタル炉は、Mo・Wなどの金属ヒーターを用いた高温雰囲気炉で、真空・N2・Ar・H2などの雰囲気に対応可能です。 光学部品、センサ部品、電子部品、セラミックス部品など、処理物の材質・サイズ・温度・雰囲気に応じてカスタム設計します。 ■ セラミックスと金属の気密封着を行いたい ■ 光学部品のろう付け・アニール条件を検討したい ■ 酸化や汚染を抑えた雰囲気で熱処理したい ■ 真空・N2・Ar・H2雰囲気で処理したい ■ 既製炉では温度、炉内寸法、雰囲気条件が合わない

「メタル炉」は、炉内の構成材をタングステンやモリブデンなどの金属で構成した、高純度熱処理向けの小型炉です。 一般的な電気炉では、断熱材、炉材、ヒーター周辺部材からのアウトガス・発塵・揮発成分により、処理品の表面状態や不純物濃度に影響する場合があります。 本設備は、炉内をオールメタル構成とすることで、断熱材由来の汚染や炉材コンタミを抑え、真空または不活性ガス雰囲気下でクリーンな高温処理を行うことができます。 特に、半導体材料、高純度粉末、酸化物・窒化物材料、薄膜・電極材など、炉材由来の微量汚染を嫌う材料の前処理・アニール・表面処理に適しています。 【特長】 ■ タングステン・モリブデン系の金属ホットゾーン ■ 断熱材由来のアウトガス・発塵を低減 ■ 真空またはN2/Arなど不活性ガス雰囲気に対応 ■ 高純度粉末・半導体材料の前処理に適用可能 ■ 小型炉のため、研究開発・条件検討に導入しやすい ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。

当社で取り扱う「小型メタル炉」は、カーボンコンタミを嫌う材料の高純度焼成・アニールに適した電気炉です。 オールメタル構成により、黒鉛材や有機系断熱材に由来する炭素汚染を抑え、色味・表面状態・特性の再現性向上に貢献します。 ～1800℃の安定運転に対応し、高温焼成、拡散接合、時効処理、表面改質などに使用できます。 大学・研究室など設置スペースが限られる環境でも導入しやすいコンパクト設計です。 【特長】 ■ オールメタル構成でカーボンコンタミを低減 ■ ～1800℃の高温処理に対応 ■ N2パージ・置換により低酸素雰囲気を再現 ■ 色味・表面状態・物性の再現性向上に貢献 ■ 研究室・試作環境にも設置しやすい小型設計 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。

電気炉を導入する際、温度、雰囲気ガス、処理時間、圧力、サンプル量、排ガス、安全対策などの条件が未確定のままでは、設備仕様を決めにくい場合があります。 Cl2/HClなどの腐食性ガス、H2などの還元雰囲気、O2/Airなどの酸化雰囲気、NH3雰囲気、加湿雰囲気、真空・N2・Ar雰囲気など、一般的な電気炉では対応が難しい特殊条件での小型テストが可能です。 【対応できるテスト例】 ■ Cl2/HClを用いた金属不純物の乾式除去・選択塩素化 ■ H2などによる還元焼成・脱酸素処理 ■ O2/Airによる酸化焼成・表面酸化処理 ■ NH3による窒化処理・反応性確認 「この条件でも焼成できるのか？」「このガス雰囲気に対応できるのか？」「発生ガスや除害まで含めて検討できるのか？」など、条件が未確定の段階でもご相談いただけます。 材料名、処理温度、雰囲気ガス、処理目的が決まっていない場合でも、弊社にて炉種・テスト条件・安全構成の検討をサポートします。 ※対応可能なテスト例や進め方は、資料ダウンロードまたはお問い合わせください。

雰囲気炉・電気炉の選定でお困りではありませんか？ 電気炉は最高温度だけで選定すると、使用雰囲気、真空度、ガス流通、サンプル量、安全対策、排ガス処理などでミスマッチが生じる場合があります。 本資料では、マルチ雰囲気炉、管状炉、メタル炉、カーボン炉、小型塩素炉について、温度域・対応雰囲気・得意な用途・注意点を一覧で比較しています。 ■炉種ごとの違いを短時間で把握 ■設備導入前の仕様検討に活用 ■焼成テスト・条件探索の事前整理に有効 ■特殊雰囲気での焼成可否の確認にも対応

焼成テストでは「何を焼くか」によって、適した炉種・治具・容器・回収方法が変わります。 粉末、基板・板材、治具・部品、成形体・ペレットでは、確認すべきポイントや評価すべき項目が異なります。 例えば、粉末では飛散性・吸湿性・回収方法、基板では反り・歪み・面内温度差、治具・部品ではガス流れや死角部、成形体では割れ・収縮・接触跡などの確認が重要です。 本資料では、サンプル別に焼成テスト前に確認すべき項目、治具・容器選定の考え方、炉種選定の観点を一覧で整理しています。 ■設備導入前の焼成テスト検討に ■粉末・基板・治具・部品の条件整理に ■炉種・治具・容器選定の初期検討に

電気炉の導入前に、仕様検討の抜け漏れはありませんか？ 電気炉は最高温度だけでなく、処理目的、雰囲気ガス、圧力条件、サンプル条件、容器・治具、排ガス処理、安全対策、設置条件まで含めて仕様を整理する必要があります。 本資料では、電気炉・雰囲気炉の導入前に確認すべき10項目をチェックリスト形式で整理しています。 ■設備導入前の仕様整理に ■焼成テスト前の条件確認に ■特殊雰囲気・真空・還元・窒化処理の初期検討に ■見積依頼前の社内確認資料として活用可能 「どの条件をメーカーに伝えればよいか分からない」という段階でもご相談ください。

電気炉・雰囲気炉の設備仕様を決める前に、焼成テストで確認すべき条件を整理できていますか？ 設備導入前の焼成テストでは、少量サンプルを用いて「目的の反応が起きるか」「安全に処理できるか」「量産条件へ展開できるか」を確認することが重要です。 本資料では、焼成・脱脂・還元・酸化・窒化・脱ガス・不純物除去などを対象に、温度・雰囲気・処理時間・流量・圧力を変えながら、反応性・安全性・再現性を確認するための計画項目を整理しています。 ■設備導入前の条件探索に ■焼成テスト計画の抜け漏れ防止に ■炉内容積・ガス系統・排ガス処理・治具仕様の検討に ■量産炉へのスケールアップ判断に

真空雰囲気焼成では、目的によって必要な到達圧力や炉構成が変わります。 脱ガス・乾燥であれば数Pa～数百Pa程度、酸化抑制であれば真空排気とN₂・Ar置換、高純度処理では10⁻³～10⁻⁴Pa級の高真空が必要になる場合があります。 そのため、単に「真空で焼成したい」という条件だけではなく、処理目的、温度帯、残留O₂、発生ガス量、炉内材質、ヒーター材質、排気系、安全対策まで含めて検討することが重要です。 本資料では、真空雰囲気焼成の目的別に必要な圧力目安、炉種選定、設備仕様に影響する確認ポイントを整理しています。 ■脱ガス・乾燥・酸化抑制の検討に ■高真空・高純度雰囲気での焼成検討に ■メタル炉・マルチ炉・カーボン炉・管状炉の使い分けに ■設備導入前の仕様整理・焼成テスト検討に

焼成・熱処理・脱脂・還元の違いを整理できていますか？ 同じ「加熱処理」でも、目的が変われば、必要な温度域、雰囲気、排ガス対策、安全対策、温度分布、サンプル回収方法が変わります。 例えば、焼成では反応完了や温度分布、脱脂では発生ガス・タール・急反応、還元ではH₂濃度・置換管理・爆発下限、熱処理では均熱性・冷却条件・高純度雰囲気が重要になります。 本資料では、焼成・熱処理・脱脂・還元について、代表条件、主な雰囲気、重視点、向く炉種、事前確認項目を一覧で整理しています。 ■処理目的に合う電気炉・雰囲気炉の選定に ■設備導入前の条件整理に ■焼成テスト・条件探索の事前検討に ■見積依頼前の社内確認資料として活用可能

研究開発・試作段階で、少量サンプルの焼成テストを検討していませんか？ 材料開発の初期段階では、大量サンプルを準備できないケースが多くあります。 そのような場合でも、少量サンプルを用いて温度、保持時間、昇温速度、雰囲気、圧力などを変えながら、焼成可否・反応性・回収性・設備化に向けた課題を確認できます。 Thermonik ENGでは、サンプル量・形状・処理目的に応じて、マルチ雰囲気炉、管状炉、メタル炉、カーボン炉、塩素炉などから適した炉種を選定し、テスト結果を設備仕様の検討へつなげます。 ■研究開発・試作段階の条件探索に ■少量粉末・成形体・基板・治具・部品の焼成評価に ■温度・雰囲気・処理時間の初期検討に ■設備導入前の焼成可否確認に

材料開発で、焼成温度・保持時間・雰囲気条件が決まらずお困りではありませんか？ 材料開発の初期段階では、焼成温度、保持時間、雰囲気、炉種、サンプル量、回収方法などが未確定なケースが多くあります。 また、N₂、Ar、H₂、NH₃、真空、加湿、Cl₂、HClなど、複数雰囲気で比較したい場合や、粉末・成形体・基板・治具・部品に合う炉構成を確認したい場合もあります。 Thermonik ENGでは、条件が固まっていない段階から、目的・サンプル条件を整理し、小型炉で温度・時間・雰囲気を変えた試作評価に対応します。 得られた結果は、炉内寸法、ヒーター、断熱、ガス系、排気安全設計など、設備仕様・炉設計へ反映します。 ■材料開発段階の焼成条件探索に ■小型炉での試作評価・反応性確認に ■複数雰囲気・複数炉種の横断検討に ■設備導入前の仕様化・炉設計検討に