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ピュアロン圧力センサーPC-302-HT-ANシリーズは、ゲージ圧・絶対圧の2種類を揃え、高温対応可能なフルスケールで±0.25%ゲージ圧以下と高精度な圧力センサーです。（300KPG、絶対圧タイプは±0.5%）
・ほぼあらゆる気体(混合ガスを含む)を用いての既知の流量を真空容器等に導入が可能 ・流量が上流圧力に比例 ・様々な流量を容易に発生させることが可能（コンダクタンスが一次圧力に対して一定） ・温度依存性が小さい
校正リークには、メンブレンタイプ、キャピラリータイプが用いられますが、使用条件・環境によっては、破損、詰まりによる頻度の高い交換を行う必要があります。これらの改善策として、弊社にてSCEを開発いたしました((独)産業技術総合研究所との共同研究）。
■小型・大流量 一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。 ※半導体製造装置からＰＶ用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。
半導体製造装置に使用される、(株)ピュアロンジャパン製 ベント用フィルターです。ロードロック室(Load lock chamber) や搬送チャンバー(Transfer chamber)等において、真空破壊を行う際に発生してしまうパーティクルの巻上げや過渡的な乱流の発生は、ウェハーへのパーティクル付着やダメージを与える可能性があります。従来は窒素ガスをゆっくり導入するスローベントを行うことで同現象を防いでおりましたが、Pureronのベント用フィルターを使用することで、スループットが大幅に向上します。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。特徴として、測定媒体温度が-10℃から最高300℃（環境温度：-10〜250℃）まで対応しております。ボディへはSUS316L材を採用し接ガス（液）部へは電解研磨処理を施しております。また、ダイヤフラムにハステロイ材を採用しており、非常に優れた耐食性を有します。精度が±1%F.S.と高精度です。さらに真空引きにも対応しております。配管接続はストレート、Tアングルの2タイプで、各種継手への対応が可能です。クリーン二重梱包にて出荷致します。なお、出力信号については、増幅回路部が外部取り付け方式（標準付属）にて4〜20mA、0〜5Vから選択頂けます。その他、高精度圧力センサー、ケミカル用圧力センサー（接液部にテフロンを使用）など様々な圧力センサー、および表示器を取り揃えております。
(株)ピュアロンジャパン製 デジタルメーターリレーです。 Ｈｉ、Ｌｏ比較出力(リレー出力)、アナログ出力付です。ＲｏＨＳ指令対応品。
■配管の面シール継手部のガスケットとして単体で装着出来ます。 ■既存の配管にも改造無しで取り付けることが出来ます。
(株)ピュアロンジャパン製 ジャケットヒーターです。
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製 高精度・高耐蝕性を特徴とする各種集積化ガスシステム用圧力センサーです。
半導体製造ラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 ＰＣ-５００シリーズは、接液部にテフロンを使用しており、半導体製造・薬品製造等のラインにおいて超純水から腐蝕性の強い媒体まで安心してお使い頂けます。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、HBr、HCl等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスが多く使用されております。これらの腐蝕性ガスは、ガス供給配管系に使用される圧力センサー・ガスフィルター等に使用されておりますステンレス鋼材の内表面に吸着したわずかな水分とも反応し、腐蝕生成物を形成します。この生成物は、パーティクルを発生させ、半導体プロセス汚染の原因となっております。ピュアロンでは、このような腐蝕性特殊ガスに対し、ステンレス鋼材ＳＵＳ３１６Ｌをはるかにしのぐ耐蝕性を有するハステロイを使用した腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６０１シリーズを開発致しました。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 ＰＣＤ-９０５シリーズは優れた温度特性を有する表示器付高精度圧力センサーで、接ガス（液)部にＳＵＳ３１６Ｌ材を採用することにより優れた耐蝕性を有しております。
(株)ピュアロンジャパン製 デジタルストレインゲージメーターです。 ピュアロン製圧力センサー ＰＣ‐３０２、５０１、６０１とあわせてご使用いただけます。また、電源回路と信号系はアイソレーションされていますので、１台の電源で複数の表示器を駆動した場合にもノイズ等の影響を受けにくい設計となっております。
(株)ピュアロンジャパン製 デジタルストレインゲージメーターです。 操作性の柔軟なジョグレバーによる設定が行えます。
(株)ピュアロンジャパン製 デジタルストレインゲージメーターです。 視覚性の高い高輝度大型ＬＥＤを装備し、文字高 約２０ｍｍで表示致します。
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 ＰＣ-３００シリーズは優れた温度特性を有する高精度センサーで、接ガス（液）部にＳＵＳ３１６Ｌダブルメルト材を採用することにより優れた耐蝕性を有しております。
(株)ピュアロンジャパン製 薬液用フィルターカートリッジです。 液体中の微粒子を効果的に除去するために開発され、メディアは耐薬品性及び耐熱性に優れたテフロンを採用しております。素材は全て熱溶着されており、溶出物がありません。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-920シリーズはコンパクトな構造・高精度にして低価格を実現しました。
(株)ピュアロンジャパン製 プラスチック製フィルターハウジングです。
(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-302シリーズは、ゲージ圧・絶対圧の2種類を揃え、高温タイプも選択可能なフルスケールで±0.25%の高精度圧力センサーです。デジタルパネルメータ（表示器）としては、PC-302シリーズ専用のLo/Hi２段階設定式デジタルストレンゲージメーターを用意しています。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、ＨＢｒ、ＨＣｌ等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスが多く使用されております。これらの腐蝕性ガスは、ガス供給配管系に使用される圧力センサー・ガスフィルター等に使用されておりますステンレス鋼材の内表面に吸着したわずかな水分とも反応し、腐蝕生成物を形成します。この生成物は、パーティクルを発生させ、半導体プロセス汚染の原因となっております。ピュアロンでは、このような腐蝕性特殊ガスに対し、ステンレス鋼材ＳＵＳ316Ｌをはるかにしのぐ耐蝕性を有するハステロイ（R）を使用した腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６００シリーズを開発致しました。
(株)ピュアロンジャパン製 薬液用フィルターカートリッジです。 １００％ポリプロピレンで構成されたメディアは耐薬品性及び耐熱性に優れています。素材は全て熱溶着されており、溶出物がありません。また、プリーツ加工された濾過膜は面積が広く、低圧損かつ高流量を可能にしました。
(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大１ＰＰＢ以下まで除去します。内蔵の粗取り用フィルターメディアには全てＳＵＳ３１６Ｌを標準として使用しております。面間８４ｍｍ、１２０ｇの小型・軽量タイプもございます。ガス種により３５０℃から４００℃のベーキングによって再活性処理をすれば、完全寿命まで繰り返しご使用いただけます。
(株)ピュアロンジャパン製 ステンレス製フィルターハウジングです。
(株)ピュアロンジャパン製ジャケットヒーターです。 コントローラーユニットには、加熱防止インターロック機能と断線検出機能がついているため安全です。フィルターから簡単に着脱できます。温度・時間などの設定は遠隔操作できるデジタル式コントローラーにより操作が簡単です。ヒーターユニットは薄型・軽量でスペースを取りません。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 ＰＣ-７００シリーズは当社独自の電磁波シールド構造とＥＭＩフィルター及び貫通コンデンサーの採用により強力な高周波ノイズも寄せ付けません。
(株)ピュアロンジャパン製 比抵抗率計です。 セル本体はケーブルとコネクタ接続方式になっており配管などへの取付作業時にケーブルが邪魔になりません。セル部の構造はボディと外極部とが一体構造になっており内部への液侵入などの心配もございません。トランスミッター部は従来品と比較し小型・軽量化を実現しており、セル部とはコネクタ中継による接続方式になっておりますので任意の場所に容易に取付が可能です。
(株)ピュアロンジャパン製 薬液用フィルターカートリッジです。 ポリプロピレン１００％の濾材で構成されており、耐熱性や耐薬品性にも優れています。
取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。 フィルター構成部材には、フィルターハウジングにハステロイC-22を、そしてフィルターエレメントにはセラミックスを使用しております。これら全ての部材は、HBr、HClなどのハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 定常流・脈動下において濾過精度０.１〜１０μｍまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐れはありません。専用のベーキングヒーターの併用によりＡＰＩＭＳの測定で脱ガス(水分量)１.２ｐｐｂを達成しました。継続使用により０.１ｐｐｂレベルまで可能です。
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 フィルター構成部材全てにＳＵＳ３１６Ｌを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス（Ｎ２）をフィルターＩＮ側圧力０．２ＭＰａで流したときのＯＵＴ側圧力損失は△０．０５ＭＰａで９０ＳＬＭの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度０．００３μｍをＣＮＣで確認、サブミクロンＵＬＳＩ製造で歩留まりを大幅に向上致します。
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去します。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量まで幅広いラインナップをご用意しております。従来のメタルフィルターと比較して圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。
全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製集積化ガスシステム対応ガスフィルターです。
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。 従来のＰＧＦシリーズと全く同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。
濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。
(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。 濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.０１μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。
(株)ピュアロンジャパン製 薬液用フィルターカートリッジです。 ファインなポリプロピレン繊維(不織布）を密度勾配で多層状にした、長寿命の濾材です。
【イプロス初主催】AIを活用したリアル展示会！出展社募集中
