ピーアイ・ジャパンの製品ラインアップ

P-753 は、15〜38 µmの移動量を0.1 nm分解能で制御する1軸ピエゾナノポジショニングステージです。 実可動部を実測する、2電極型静電容量センサーとフレクシャガイドによる摩擦ゼロ構造により、ナノメートル動作と、数 msecでの位置決めを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

顕微鏡を用いた研究分野では、高速かつ高精度なフォーカシングが観察結果の品質や取得データの再現性に大きく影響します。特に、共焦点顕微鏡や蛍光顕微鏡による3DイメージングやZスタック取得では、ナノメートル分解能での高速Z位置決めが求められます。P-737 PIFOC Zステージは、対物レンズを直接駆動するピエゾフレクシャー構造を採用し、高速応答かつ高精度なZ軸制御を実現します。コンパクト設計のため既存の顕微鏡システムにも統合しやすく、研究用途における高度なフォーカシング要求に対応します。 【活用シーン】 ・共焦点顕微鏡による3Dイメージング ・蛍光顕微鏡のZスタック取得 ・ライブセルイメージング ・ナノスケール構造の観察 【導入の効果】 ・高速Zスキャンによる測定時間短縮 ・ナノメートル分解能の高精度フォーカシング ・再現性の高いイメージング ・顕微鏡システムへの容易な統合

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

ライフサイエンスおよびバイオテクノロジー分野において、顕微鏡観察時の安定したフォーカシングは、取得データの再現性や解析精度に大きく影響します。特にライブセルイメージングや3D観察では、高速かつ高分解能なZ方向制御が求められます。 P-737 PIFOC Zステージは、対物レンズを直接駆動するピエゾフレクシャー機構を採用し、ナノメートル分解能での高速Z位置決めを実現します。型式により十分なストロークを確保でき、Zスタック取得や長時間観察にも対応可能です。コンパクト設計のため、既存の顕微鏡システムへの組込みも容易です。 【活用シーン】 ・ライブセルイメージング ・共焦点顕微鏡による3D観察 ・細胞培養・組織観察 【導入の効果】 ・高速Zスキャンによる測定時間の短縮 ・ナノメートル分解能による精密フォーカシング ・再現性の高いイメージング ・顕微鏡システムへの容易な統合

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

PIFOC(R) P-737高速垂直位置決めシステムは、 顕微鏡検査のためのXYステージで使用するように設計されています。 【特徴】 ○高さ方向の高速ピエゾ動作：ストローク～250μm 　（500μmまでカスタマイズ可能） ○ナノメートル分解能 ○大きなセンター開口部によって標本押さえに対応 ○手動またはモーター駆動のXY OEMステージに機械的に適合 ○ミリセカンドレンジの応答時間 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

精密測定の分野では、正確な高さ計測が不可欠です。特に、微細な構造物の測定や、表面形状の精密なプロファイリングにおいては、ナノレベルの精度が求められます。従来の測定方法では、振動や温度変化の影響を受けやすく、正確な測定が困難な場合があります。P-611.Zは、最大0.2nmの分解能と0.1%のリニアリティを実現し、高さ計測における課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体デバイスの高さ測定 ・MEMSデバイスの形状測定 ・光学部品の厚さ測定 ・表面粗さ測定 【導入の効果】 ・ナノレベルでの高さ測定が可能 ・測定時間の短縮 ・測定精度の向上 ・製品品質の向上

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• エンコーダー

光学業界では、高精度な焦点調整が求められます。特に、顕微鏡やレーザー加工機など、微細な操作が要求される場面では、正確な位置決めが不可欠です。わずかなズレが、測定結果の誤差や加工精度の低下につながる可能性があります。当社の小型Z軸ピエゾステージ P-611.Zは、2nm分解能での精密な焦点調整を実現し、光学系の性能を最大限に引き出します。 【活用シーン】 ・顕微鏡の対物レンズの焦点調整 ・レーザー加工機の焦点調整 ・光学測定器の精密位置決め 【導入の効果】 ・高精度な焦点調整による測定精度向上 ・微細加工における歩留まり向上 ・装置の性能向上と安定化

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• 圧電デバイス
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Z軸の動作で、ひずみゲージを搭載するモデルは、ヒステリシスとドリフトを高精度に補正します。 Closed Loopタイプは、2nm分解能で、0.1％のリニアリティを実現。 摩耗ゼロのフレクシャガイドは、摩擦、摩耗、バックラッシュがなくナノレベルで動作します。 また、Ｘ軸、ＸＹ軸、ＸＺ軸、ＸＹＺ軸バージョンのステージもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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• 圧電デバイス
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N-310 NEXACT(R) OEMミニチュアリニアモーター/アクチュエータは、小型で20mmのストロークと最大10Nの駆動力を備えています。 非接触の光学式リニアエンコーダにより、ステージ上の位置を直接かつ高精度に測定します。非直線性、機械的バックラッシュ、弾性変形の影響を受けません。 【特徴】 ・ストローク：20mm ・コンパクト設計、高いコスト効率が ・0.03nmの分解能 ・駆動力：最大10N ・分解能：最大0.03nm ※詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。

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光学業界におけるビーム制御では、光の精密な位置決めと安定性が求められます。特に、レーザー加工や光通信といった分野では、微小なズレがシステムの性能に大きな影響を与える可能性があります。PICA(TM) Thruアクチュエータは、サブミリ秒の応答速度とサブナノメートルの分解能により、高精度なビーム制御を実現します。性能劣化のない状態で長期間の使用が可能です。 【活用シーン】 ・レーザー加工におけるビーム位置制御 ・光通信システムの光ファイバーアライメント ・顕微鏡の対物レンズ位置調整 【導入の効果】 ・ビーム位置決め精度の向上 ・システムの安定性向上 ・生産性の向上

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• ソレノイド・アクチュエータ

PICA(TM) Thruアクチュエータは、積層型ピエゾリニアアクチュエータです。高い変位を特長としています。豊富な設計バリエーションも用意しておりますので、ぜひカタログから用途・特注対応についてご覧ください。 【特徴】 ・高い信頼性 ・多様な形状を用意 ・サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能 ・真空および非磁性対応バージョンを用意

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• 圧電デバイス
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研究開発分野の実験では、精密な位置決めと高負荷条件への対応が求められます。特に光学実験や材料試験など、微細な動きが結果を左右する場面では、ナノレベルの位置制御が重要となります。 P-235 ピエゾアクチュエータは、最大30,000Nの推力と3,500Nの引張力を備えた高荷重対応アクチュエータです。歪みゲージセンサー内蔵モデルではクローズドループ制御が可能で、ナノレベルの高精度位置決めを実現します。これにより、研究開発における実験の再現性向上と高精度なデータ取得に貢献します。 【活用シーン】 ・アクティブ振動吸収 ・アダプティブメカニクス ・光学・計測技術・干渉計 ・スイッチ ・レーザーチューニング 【導入の効果】 ・ナノレベルでの精密な位置決めが可能 ・高負荷条件下での実験に対応 ・実験の再現性向上 ・より正確なデータ取得

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光学機器のレンズ調整では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に光軸の微調整や焦点距離の制御では、わずかな位置ズレが画像品質や測定精度に大きく影響します。 P-235 ピエゾアクチュエータは、最大30,000Nの高推力と高い剛性を備えた高荷重対応ピエゾアクチュエータです。内部に歪みゲージセンサーを搭載したモデルではクローズドループ制御が可能で、ナノレベルの高精度位置決めを実現します。光学レンズ調整や干渉計測など、高精度な位置制御が求められる光学システムに適しています。 【活用シーン】 ・レンズの光軸調整 ・焦点距離の微調整 ・光学顕微鏡 ・干渉計 【導入の効果】 ・ナノレベルでの高精度な位置決め ・光学系の性能向上 ・実験・研究の効率化 ・高精度な測定の実現

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P-235は、1000V駆動の高電圧型ピエゾアクチュエータで、オプションで真空対応、防水対応も可能です。 ストロークは、15µm～最大180µmタイプで、30,000NのPush力と3,500NのPull力を持ち、内部に歪みゲージセンサー内蔵し、クローズドループ制御にでナノレベル位置決めを可能にします。 用途例は、アクティブ振動吸収、アダプティブメカニクス、光学・計測技術・干渉計、スイッチ、レーザーチューニングなど ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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ナノテクノロジー分野では、ナノレベルの位置制御と微小な動作制御が求められます。特に原子・分子レベルの観察や微細構造の操作では、アクチュエータの分解能や応答性能が研究成果に大きく影響します。 P-216 ピエゾアクチュエータは、サブナノメートル分解能と最大4500 Nの高推力を兼ね備えた高荷重対応ピエゾアクチュエータです。高速応答により、ナノスケールの位置決めや微細動作制御を高精度に実現します。ナノ計測装置やナノ加工装置において、精密な動作制御と安定した操作をサポートします。 【活用シーン】 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM） ・ナノインデンテーション ・微細加工 【導入の効果】 ・ナノレベルでの精密な位置決めが可能 ・高精度な操作による実験効率の向上 ・研究開発における新たな可能性の創出

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精密測定分野では、高精度な位置決めと安定した動作が測定精度を左右します。特にナノレベルの測定や校正作業では、微小な位置制御が可能なアクチュエータが不可欠です。位置決め精度が不十分な場合、測定結果や校正データの信頼性に影響を与える可能性があります。 P-216 ピエゾアクチュエータは、サブナノメートル分解能と最大4500 Nの高推力を兼ね備えた高荷重対応アクチュエータです。高速応答により、干渉計測や精密測定装置における微小位置制御を高精度に実現します。 【活用シーン】 ・精密測定器の校正 ・光学系の微調整 ・干渉計測 【導入の効果】 ・ナノレベルでの精密な位置決め ・校正精度の向上 ・作業時間の短縮

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P-216は、1000V駆動の高電圧型ピエゾアクチュエータで、オプションで真空対応も可能です。 ストロークは、15µm～最大180µmタイプで、4500NのPush力と500NのPull力を持ち、内部に歪みゲージセンサー内蔵し、クローズドループ制御にでナノレベル位置決めを可能にします。 用途例 ・アクティブ振動吸収 ・アダプティブメカニクス ・光学・計測技術・干渉計 ・スイッチ ・レーザーチューニングなど ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験で培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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製造業の分野では、高荷重・高精度・高速応答が求められます。最大90 µmのストロークとサブナノメートル分解能により、微細位置決めや高精度制御が必要な工程で安定した動作を実現します。また、PICMAピエゾ素子を採用することで、長寿命かつ信頼性の高い性能を提供します。これにより、製品品質の向上やプロセスの効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造工程での精密位置決め ・光ファイバやレーザー光学系の高精度アライメント ・MEMS・微細デバイス製造での微小動作制御 ・高精度組み立て・検査装置の駆動部 【導入の効果】 ・サブナノメートル精度による高精度位置決め ・高荷重対応（最大押力3000 N / 引張力700 N）による頑健な動作 ・マイクロ秒応答による高速制御 ・長寿命で信頼性の高い駆動特性

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光学システムにおけるレンズ位置の精密調整は、性能を左右する重要な要素です。特に高精度な位置決めが求められる用途では、わずかなズレが画像品質や測定精度に大きな影響を与える可能性があります。PICMA技術を採用したサブナノメートルクラスの分解能と高い力性能を備え、高速応答（µsオーダー）と高い信頼性により、レンズなどの精密位置制御を実現します。 【活用シーン】 ・顕微鏡用精密位置調整 ・光学測定装置のアラインメント ・レーザー光学系チューニング ・光通信・フォトニクス機器の微小位置決め（ナノポジショニング全般） 【導入の効果】 ・光学性能の向上：微小位置調整による最適焦点・高解像度化 ・高速・高精度位置決め：サブナノ調整とµs応答でプロセス改善 ・信頼性向上：PICMA技術による長寿命化と安定稼働 ・幅広い用途対応：微細調整から高荷重ポジショニングまで対応

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PICMA(R)多層スタックをプリロード付金属ケースに入れたP-844/P-845は、最大90 µmストロークをサブナノメートルで動作し、最大3000 Nの押力と700 Nの引力を可能にする高荷重ピエゾアクチュエータです。 P-845タイプは、歪みゲージセンサー（SGS）を内蔵し、ピエゾの動きを直接計測しフィードバックするため、ヒステリシスやドリフトを最小化にします。P-844はセンサーなしタイプ。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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半導体製造業界では、ウェーハやマスクの位置決めなど、極めて高い精度が求められます。微細加工技術の進歩に伴い、位置決めの精度は製品の品質を左右する重要な要素となっています。従来の技術では対応が難しい、サブナノレベルでの精密な位置決めが、歩留まり向上、製造プロセスの効率化に不可欠です。 【活用シーン】 ・ウェーハプロービング ・マスクアライメント ・半導体製造装置 【導入の効果】 ・サブナノメートルレベルの高精度な位置決め ・製造プロセスの効率化 ・歩留まりの向上

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精密測定業界では、測定器の正確な較正が求められます。特に、ナノレベルの精度が要求される場合、位置決めの微細なズレが測定結果に大きな影響を与える可能性があります。P-841は、サブナノメートルの分解能と最大90µmのストロークにより、高精度な位置決めを実現し、測定器の正確な較正を支援します。 【活用シーン】 ・精密測定器の較正 ・光学素子の位置調整 ・ナノテクノロジー研究 【導入の効果】 ・高精度な測定結果の実現 ・測定器の性能向上 ・研究開発の効率化

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• ソレノイド・アクチュエータ

光学業界では、光ファイバーやレーザーなどの精密な調整が求められます。特に、微細な位置調整は、システムの性能を左右する重要な要素です。従来の調整方法では、調整に時間がかかったり、精度の限界がありました。P-841は、サブナノメートルの分解能とµs応答により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ファイバ・光学素子のアライメント ・レーザー波長チューニング 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによるシステム性能の向上 ・調整時間の短縮 ・実験の効率化

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ナノテクノロジー分野では、微細な構造の操作や位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に、原子レベルでの操作や、微小な距離の移動が必要となる場合、従来の技術では対応が難しいことがあります。P-841は、サブナノメートルの分解能と最大90 µmのストロークを提供し、これらの課題に対応します。これにより、ナノテクノロジー研究における実験の精度向上と効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・ファイバ・光学素子のアライメント ・レーザー波長チューニング ・ナノテク試験治具 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる実験の再現性向上 ・微細構造の正確な操作 ・実験時間の短縮 ・従来のポリマー絶縁アクチュエータと比較して最大10倍の寿命

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P-841はPICMA(R)積層スタックをプリロード付金属ケースに入れたピエゾアクチュエータです。 最大90 µmの変位をナノレベルで動作し、押力1000 N／引力50 Nを発揮。 変位レンジは15〜90 µmまでバリエーションを用意。 内部ピエゾのセラミック絶縁技術がリーク電流と水分侵入を抑え、長期連続駆動でも性能を維持します。 歪みゲージ位置センサ（SGS）付きのため、ヒステリシス、ドリフトを高精度に補正します。 ファイバ・光学素子のアライメント、レーザー波長チューニング、ナノテク試験治具など高剛性と高応答が求められる用途で威力を発揮します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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P-840は、高荷重・高いプッシュフォースに対応したコンパクトなピエゾアクチュエータです。最大1000Nのプッシュフォースと最大50Nのプルフォースを備えています。 PI独自のPICMA(R)ピエゾアクチュエータを採用し、完全セラミック絶縁構造により湿度の影響やリーク電流の増加による故障リスクを低減。従来のポリマー絶縁型アクチュエータと比較して最大10倍の長寿命を実現しています。 この製品は、ポリマー絶縁がなく、キュリー温度が高いため、超高真空用に最適です。

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• コントローラ