ピーアイ・ジャパンの製品・サービス一覧

精密測定の分野では、高精度な位置決めが不可欠です。特に、微細な構造の計測や検査においては、わずかな振動や誤差が測定結果に大きな影響を与えます。A-143 PIglideは、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現し、ナノメートルレベルの精度が求められる計測用途に最適です。 【活用シーン】 ・精密測定機器 ・検査装置 ・光学機器 【導入の効果】 ・高精度な測定結果の実現 ・安定した計測環境の構築 ・長期的な運用コストの削減

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルの精度が求められます。位置決めの精度が低いと、不良品の発生や生産効率の低下につながる可能性があります。A-143 高精度リニアエアベアリングステージは、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現し、半導体製造における高精度な位置決めニーズに応えます。 【活用シーン】 ・半導体製造装置 ・検査装置 ・計測機器 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・非接触構造による長寿命化 ・クリーンルーム対応による高い信頼性

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

FPD製造業界の検査工程では、高精度な位置決めが求められます。特に、微細な欠陥の検出や寸法測定においては、正確な位置決めが不良品の発生を抑制し、歩留まり向上に不可欠です。位置精度の低いステージを使用した場合、検査結果の信頼性が損なわれ、正確な評価が困難になる可能性があります。A-143 PIglideは、±0.2 µmの高精度位置決めにより、FPD検査の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・FPDの欠陥検査 ・寸法測定 ・位置合わせ 【導入の効果】 ・検査精度向上 ・不良品率の低減 ・生産性の向上

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

レーザー加工業界では、高品質な切断を実現するために、ワークの位置決め精度が重要です。特に、微細加工や高精度な切断が求められる場合、位置決め誤差は製品の品質に直接影響します。A-143 小型リニアエアベアリングステージは、±0.2 µmの位置精度により、レーザー加工における位置決め精度を格段に向上させ、高品質な切断を可能にします。 【活用シーン】 ・レーザーカッター ・レーザーマーキング 【導入の効果】 ・高精度な切断による製品品質の向上 ・歩留まりの向上 ・加工時間の短縮

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

光学機器業界では、レンズやミラーなどの精密な調整が、製品の性能を左右する重要な要素です。特に、微細な位置調整が求められる場面では、精度の高いステージングシステムが不可欠です。調整の精度が低いと、光学系の性能が低下し、最終的な製品の品質に悪影響を及ぼす可能性があります。A-143 PIglideは、ナノメートルレベルの精度で位置決めを行い、光学機器の調整作業を効率化します。 【活用シーン】 ・光学レンズの位置調整 ・精密測定器のキャリブレーション ・光ファイバーアライメント 【導入の効果】 ・高精度な調整作業の実現 ・作業時間の短縮 ・製品品質の向上

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

レーザー微細加工では、わずかな位置ズレや姿勢誤差が加工品質を大きく左右します。 H-815 ヘキサポッドは、6軸同時制御によるサブミクロン精度の位置決めと高い再現性により、 加工点・焦点位置・ワーク姿勢を常に最適な状態に保持。安定した加工品質を実現します。 【活用シーン】 ・加工ばらつきの低減 ・半導体製造装置への組み込み ・高精度な検査工程 【導入の効果】 ・製造プロセスの安定化 ・微細パターンの再現性向上 ・24時間365日の安定稼働

• 試験機器・装置

光学部品業界では、正確で要求の厳しい位置決めが品質を左右する重要な要素です。当社のH-815産業用ヘキサポッドは、高精度な位置決めを実現し、製品の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・フォトニクスにおける要求の厳しいアライメントプロセスに対応 ・レンズやその他の光学部品などの極めて小さな部品のアライメント 【導入の効果】 ・複雑な製造・計測プロセスの生産性を向上 ・小さな部品のアライメント ・高負荷サイクルに対応した長寿命設計

• 試験機器・装置

半導体製造業界では、ウェーハの正確な位置決めが歩留まりを左右する重要な要素です。特に、24時間365日の連続稼働が求められる製造ラインにおいては、高い耐久性と信頼性が不可欠です。位置決めの精度が低いと、製造プロセスに悪影響を及ぼし、不良品の発生につながる可能性があります。当社の6軸位置決めシステムは、ウェーハ搬送における高精度な位置決めを実現し、製造プロセスの安定化に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハの精密位置決め ・半導体製造装置への組み込み ・高精度な検査工程 【導入の効果】 ・製造プロセスの安定化 ・歩留まりの向上 ・24時間365日の安定稼働

• 試験機器・装置

製造業では、品質と生産効率の向上が求められます。特に、精密部品の組み立てや検査工程においては、位置決めの精度が製品の品質を左右する重要です。位置決め精度が低い場合、不良品の発生や組み立て時間の増加につながる可能性があります。パラレルキネマティック・ヘキサポッド H-811は、高精度な位置決め性能により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・複雑な製造プロセスや測定手順の生産性向上 【導入の効果】 ・コンパクトな設置面積 ・生産性の向上

• アクチュエーター
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

NanoCube P-616.65S は、X・Y・Z の直線移動に加え、θX・θY・θZ の回転まで含む 6軸ナノポジショニングを実現する多自由度ピエゾステージです。 パラレルキネマティクスとフレクシャガイド構造により、従来ステージでは達成できない 高剛性・低クロストーク・高ダイナミクス動作を提供します。 ±250 µm の移動レンジと ±26.2 mrad の回転レンジを持ち、ナノメートル単位の微細位置決めが可能。フォトニクス、ファイバーアライメントなど、サブミクロン精度が求められる環境で威力を発揮します。

• その他光学部品

研究では、限られた条件下でも高い再現性と信頼性が求められます。 PIは50年以上にわたり、ナノレベルの高精度と長期安定性を両立した位置決めソリューションを提供。既存の研究設備にもスムーズに統合でき、LabVIEWやMATLAB、Pythonなど主要ソフトウェアとの互換性も備えています。 顕微鏡検査、フォトニクス、量子研究など、厳しい環境下でも精密で安定した動作を実現。短期プロジェクトや緊急対応にも柔軟に対応可能です。 精密研究を支えるPIの最新技術を、ぜひ詳細ページでご覧ください。

• その他検査機器・装置

・高度な干渉計アプリケーションにおける光学位相シフト用に設計された精密ナノポジ ショニングステージ。 ・薄型ステージ ・トリポッドピエゾ駆動設計により、ティルトエラー補正付きZ動作を実現 ・カスタムモデル対応 (例: closed-loop)

• その他光学部品
• 光学測定器

24時間・365日稼働を前提に設計された、堅牢かつ高精度な産業用途向けのヘキサポッド。 コンパクトな設計でありながら高い耐久性を備え、厳しい環境下でも信頼性の高い位置決めを実現します。

• 試験機器・装置

C-887.52Xは、ヘキサポッド制御に最適化された32bit PIDコントローラを内蔵し、1つのコマンドで6自由度の位置決めが可能。 EtherCAT・USB・RS-232などの多様な通信に対応し、アナログ／デジタルI/O、BNC端子も装備。 LabVIEWやWindows DLL、Linux用ドライバも提供され、開発環境に応じた柔軟な制御が可能。 リファレンススイッチやストール検知機能も備え、安全性にも配慮されています。

• コントローラ
• サーボ
• アンプ

H-850は最大250kgの耐荷重を誇る高剛性ヘキサポッドで、±50mm（XY）/±25mm（Z）、および±30°の広範囲な動作が可能です。 再現性はZ軸±0.2µm、回転軸±7.5µradと高精度。ブラシレスDCギアモータによる滑らかな動作と、アブソリュートエンコーダの即時位置取得により、高速かつ安定した制御が可能です。 構造はパラレルキネマティック方式で、ロボティクス、重量物アライメント、試験設備などに最適です。

• アクチュエーター
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

H-840は、スチュワートプラットフォーム構造を採用した高精度ヘキサポッドで、6本のアクチュエータにより並列駆動されます。 Z軸±25mm、X/Y方向±50mm、回転±30°と柔軟な動作を実現し、光学アライメントやマイクロマニピュレーションなどの高度な位置制御が可能。 最大30kgまでの荷重に対応し、±0.1µmの位置再現性と高い制御精度を兼ね備えています。

• アクチュエーター
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

H-825は、±0.1µmのZ軸再現性と高剛性設計により、半導体製造や光学調整分野における精密動作に対応します。 耐荷重は最大30kg、ブラシレスDCギアモータ駆動・アブソリュートロータリーエンコーダにより初期化動作不要で即座に稼働可能。 安定した高精度位置決めと姿勢制御を実現します。

• アクチュエーター
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

H-811.I2は、全6軸において高精度な位置決めが可能な小型ヘキサポッドです。 XY±17mm、Z±6.5mmの移動範囲に加え、±21°の回転制御が可能。 パラレルキネマティック設計により、干渉や誤差が最小限に抑えられ、安定した動作を実現します。 特に真空や制限スペース下でも確実な動作が可能で、再現性や剛性を求める精密分野での信頼性に優れます。 最大5kgまでの荷重に対応。

• その他産業用ロボット
• アクチュエーター
• エンコーダー

D-510 PISecaは、最大測定範囲500µm・分解能1nm未満を実現する単一電極静電容量センサーです。 センサープローブはLEMOコネクタ付きで取り付けが容易。 ガードリング電極によって電場の均一性が確保され、高リニアリティ（最大0.1%）を達成しています。 E-852.10等の専用エレクトロニクスと組み合わせることで、静的・動的分解能ともに優れたナノメートル級の変位測定が可能です。

• センサ
• 変換機・トランスデューサ
• その他電子部品

D-050/D-100は、PI社が提供する2電極静電容量センサーで、最大150µmの測定範囲と0.01nmの分解能を実現。 干渉計より高分解能かつ非接触方式のため、ナノメートルスケールの測定に最適です。 パラレル計測に対応し、多軸制御におけるリアルタイム補正も可能。 直線性は0.01%以下（デジタルコントローラー使用時）、バンド幅は最大10kHz。 クリーン環境、半導体製造、計測機器への組込みに適しています。

• センサ
• 変換機・トランスデューサ
• その他電子部品

U-781は、PILine(R)ピエゾリニアモータを採用したXYステージで、自己保持機能による安定性と潤滑不要の静音設計が特長です。 コンパクトかつフラットな設計で、顕微鏡下へのサンプルアクセスを妨げません。 LabVIEWやMATLAB、µManagerなど各種ソフトウェアに対応し、装置組込みや自動化に柔軟に対応できます。 サンプルホルダやZステージなどのオプションも豊富です。

• その他機械要素
• 直交ロボット
• 圧電デバイス

N-472シリーズは、Piezoelectric Inertia Drive方式を採用した高信頼性のClosedloopアクチュエータです。 高精度な位置決め制御が可能で、インクリメンタルエンコーダにより位置フィードバックが取得可能。 最大22Nの駆動力、保持力100N以上を確保しながら、動作時以外は電流を必要とせず、熱の発生も最小限に抑えます。 M10×1ねじ・9.5mmクランプシャンクによる簡単な取付が可能で、装置組込みにも適しています。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

N-470は、高い保持力（100N以上）と7〜13mmの移動範囲を備えたコンパクトな慣性駆動式アクチュエータです。 従来の手動ネジ機構を置き換える設計で、光学ミラーのチップ・チルト微調整や、微小コンポーネントの長期安定な固定に理想的です。 M10×1ネジ、9.5mmクランプシャンクで簡単に装置へ取り付け可能。E-872コントローラと組み合わせることで、正確な微動制御が可能になります。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

N-216は、最大800Nの保持力と0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の分解能を備えたピエゾステッピングアクチュエータです。 独自のPiezoWalk(R)技術により、フルステップモードとナノステッピングモードを切り替えながら、高速かつナノ精度の位置決めが可能。 非磁性・クリーン・真空環境に対応し、半導体製造、ウェハ検査、ナノリソグラフィなど、微細制御を要求されるアプリケーションに最適です。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• その他機械要素

E-727は最大4チャンネル対応のデジタル制御ユニットで、標準仕様に加え高出力電流モデル（最大1500mA）もラインナップ。 アナログ入力／出力端子に加え、デジタルI/O、センサーモニター出力、波形ジェネレーター機能などを搭載し、先進的なピエゾモーションアプリケーションに完全対応。 センサーバンド幅10kHz、サンプリングレート100kHzでの信号処理が可能で、動的計測や同期制御にも優れた性能を発揮します。

• コントローラ
• サーボ
• アンプ

E-625は、低電圧ピエゾアクチュエータ用に設計された高性能なサーボコントローラです。 最大12台まで並列ネットワークが可能で、多軸制御システムにも柔軟に対応。 24ビットの高分解能A/Dと20ビットD/Aコンバータにより、高精度な位置検出と滑らかな動作を実現します。 センサーは静電容量または歪みゲージ（SGS）から選択可能。 PI独自のGCSコマンド体系、LabVIEW・DLL対応ソフトウェア、波形メモリ機能も備え、装置開発や実験用途に最適です。

• コントローラ
• サーボ
• アンプ

E-500/E-501は、1～3チャネル構成のピエゾシステムに対応するカスタム設計可能なコントローラです。 高電圧アンプ（最大1100V）や、多チャネル対応の静電容量・SGSセンサー制御モジュールを選択可能で、幅広いPI製品と互換性があります。 各種モジュールを組み合わせて構成され、制御精度・応答性を高めると同時に、装置組込みの柔軟性も確保。

• コントローラ
• サーボ
• アンプ

P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。 静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立。 1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供し、品質保証試験や半導体検査など高信頼性が要求される現場でも安心して利用可能。 筐体は極めて小型で、装置組込みにも最適です。

• その他機械要素
• 圧電デバイス
• 直交ロボット

A-142は、10mmの移動範囲で最大200mm/sの速度と10m/s²の加速度を実現する、ボイスコイルモータ駆動の小型リニアステージです。 5nmのセンサ分解能、±0.2µmの位置精度、最小50nmのインクリメンタル動作が可能。 摩耗ゼロのエアベアリング構造により、潤滑剤不要・クリーンルーム対応で、半導体検査や光学調整、計測アプリケーションに最適です。

• その他機械要素
• ソレノイド・アクチュエータ
• エンコーダー

A-65xは、最大直径300mm・最大荷重635kgに対応した半球状エアベアリングモジュールで、θX・θY・θZの3軸にわたる高自由度な回転運動を提供します。 摩擦ゼロ・潤滑不要の設計で、高い剛性と再現性を両立。 ±45°のチップ／チルト範囲により、姿勢制御や傾斜試験、人工無重量環境のシミュレーションに最適です。クリーンルーム対応で、研究用途から衛星構造試験まで幅広く活用可能です。

• その他機械要素
• その他産業用ロボット
• 金属軸受・ベアリング

PIglide A-62xシリーズは、光学アライメントや精密検査用途に求められる高精度・高安定性を追求したエアベアリング回転ステージです。 摩擦のない非接触回転により、ウォブルや偏心を極限まで抑制。平面度・偏心率は200nm以下と、ナノメートル単位の制御を実現します。 トルクモーターとオプションの絶対値エンコーダにより、位置決めも迅速かつ安全。クリーンルーム対応、水平・垂直どちらの設置にも対応し、実験環境に応じた柔軟なシステム構築が可能です。

• その他機械要素
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

A-81x PIglide モーションコントローラは、エアベアリングステージ用に設計された多軸対応の超精密モーション制御ソリューションです。 最大4軸までの制御を1台で可能とし、真空・非磁性環境下での運用にも対応。 ナノメートルスケールでの位置決めを可能とする高精度制御と、柔軟な構成が特長です。 EtherCATやアナログ信号による高速インターフェースに対応し、半導体リソグラフィ、顕微鏡ステージ、計測装置などの高度な産業用途にも適応。 安全機能や温度センサ入力も搭載し、信頼性の高い長時間運用を実現します。

• コントローラ
• サーボ
• アンプ

E-881 BIX モーションコントローラは、装置組み込み用途に適したモジュール式のピエゾモーションコントローラです。 Ethernet/USBによる柔軟な接続対応。Python、C++、LabVIEWなど、各種開発環境との互換性があり、システム開発をスムーズに進められます。 高性能ながらコンパクトな筐体により、省スペース化と制御の高性能化を両立。装置開発の効率向上をサポートします。

• その他機械要素

「B-421 BIX」は、筐体幅25mmで厚さ11mmと小型で、最大33mmの移動量を実現。 ピエゾ慣性ドライブにより、比較的高い保持力、高い分解能と位置再現性を発揮します。多軸に組合せも容易に可能で、装置設計におけるスペース制限を解決しつつ、ナノメートルスケールの動作を可能にします。

• その他機械要素

A-143 PIglideは、25 mmの移動範囲を持つ小型リニアエアベアリングステージで、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現。 最小インクリメント0.025 µm、位置精度±0.2 µm、真直度±0.05 µmとナノメートルレベルの精度を誇り、計測・検査・光学機器のステージングに最適。 リニアモーターと32ビットBiSS-Cエンコーダを内蔵し、最大速度390 mm/s、加速度10 m/s²の高性能モーションが可能です。

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合した直動リニアステージです。 摩擦やバックラッシュが一切なく、優れた真直度（最大±50nm）と繰返し精度（最大±10nm）を実現します。 非接触構造により長寿命でメンテナンスも最小限。 最大行程500mm、最大速度500mm/sまで対応。高精度な位置決めや速度制御が求められる半導体検査装置や精密測定装置に理想的な構成です。

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

C-891は、PI製PIMag(R)リニアモーター専用に設計された高性能モーションコントローラです。 最大20kHzの制御周波数と5A出力により、高速・高精度な位置決めを可能にします。 リミットスイッチや温度・過電流保護など安全性も確保。 USB、RS-232のほか、アナログ入力やTTL入出力も搭載しており、外部センサーとの連携も容易です。 コンパクトながら機能性に優れ、研究開発・生産現場など多様な場面で活躍します。

• コントローラ
• アンプ
• サーボ

ボイスコイルアクチュエータの動作を精密に制御する高性能モーションコントローラです。 最大20kHzのサーボ制御サイクルとPID制御を備え、精緻な位置決めと速度制御を実現します。 最大5Aの出力電流を提供し、24～48Vの範囲で動作します。豊富なインターフェース（TCP/IP、USB）に対応し、LabVIEWやMATLAB、Pythonといった一般的なプログラミング環境での制御が可能です。 加えて、自動調整機能を持つオートゼロ機能や、データレコーダー機能を内蔵し、動作記録も簡単に行えます。 小型で軽量なデザインは、OEM機器への組み込みや研究開発用途に最適です。

• コントローラ

ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xは、高分解能エンコーダを搭載したフリクションレスのトルクモーター駆動ステージです。 優れた回転精度（偏心および平坦度 <1 µm）と、微小なティルトエラー（±20 µrad）を実現し、高度なアライメントや回転制御が求められるアプリケーションに最適です。 プラットフォーム径は85 mm〜210 mm、任意方向設置に対応。光学系、半導体、バイオメディカルなど幅広い分野で活用できます。

• アクチュエーター
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。 高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。 最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。 半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。

• その他機械要素
• ソレノイド・アクチュエータ
• エンコーダー

高精度な産業オートメーション向けリニアステージ。 V-D07高負荷リニアモーターステージは、産業オートメーションやレーザー加工、精密検査装置に最適な高性能プラットフォームです。 アイアンコアリニアモータによるダイレクトドライブで、摩擦レスの高速・高加速度駆動を実現。最大3000mm/sの移動速度と1000Nの耐荷重を誇り、高精度リニアエンコーダによりナノメートル単位の位置決めが可能です。 高負荷環境での精密動作を求める製造業に、新たな選択肢を提供します。

• その他機械要素
• その他産業用ロボット
• ソレノイド・アクチュエータ

PICMAWalk ウォーキングドライブ用 ・ PI独自のコントローラ技術によるプラグアンドプレイ ・ インターフェース：TCP/IP, USB, RS-232, SPI ・波形発生機能 ・データレコーダ

• その他機械要素

・トラベルレンジ：25mmと50mmタイプ ・75 N のアクティブフォース ・3 nm ミニマムインクリメンタルモーション ・電源オフ時のセルフロッキング ・多軸セットアップ対応：XY、XZ、XYZ ・真空対応

• その他機械要素
• アクチュエーター
• 圧電デバイス

PI社のヘキサポッド6軸ステージは、40年以上前から、ピエゾステージ同様に独自開発・自主生産をしており、ピエゾ位置決め製品と同様にヘキサポッドでもマーケットリーダーです。 ＜ヘキサポッドの特徴＞ ・回転中心を任意位置に簡単設定 ・パラレル駆動で累積誤差がない ・コンパクトで高剛性で高安定性 ・設置向きが任意でも可能　など ※製品につきましてはカタログや弊社HPをご参考にしてください。 ヘキサポッドの動画もございます。

• その他産業用ロボット
• アクチュエーター
• エンコーダー