PIglide IS A-311は、ステージ駆動面を空気で浮上させるエアベアリング式XYプラナースキャナーです。 積み重ね型より薄いフラット構造で装置設計をコンパクト化しながら、300 mm×400 mmの広い走査範囲と1 nmセンサー分解能で動作。 摩擦ゼロのリニアモータ駆動は最大2 m/sの高速応答、147 N可搬能力によりレーザー加工や半導体ウェハ検査のタクト短縮に貢献します。 発塵レス構造でクリーンルーム対応、豊富なコントローラ／APIがXY同期やエリアスキャンの統合を容易にします。 詳細は PDF をダウンロード、またはお問い合わせください。

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

PI社の超高速ステアリングミラーピエゾステージは、コンパクト設計で、 摩擦のないフレクシャーガイド、高速応答のピエゾ駆動、 フィードバックセンサーにて構成されており、1つのピボットポイントにより、 1枚のミラーをTip/Tilt駆動させることが可能です。 また静的動作や、ハイダイナミクス動作 （例：スキャン、トラッキング、ドリフト、振動キャンセル）などに使用されています。 【アプリケーション例】 スキャニング、FSO、画像安定化、レーザー溶接、 カッティング、半導体テストと製造、レーザービームステアリング、 天文学、モノクロメータ、眼科手術など 近年、微細レーザ加工向けのご使用のお問い合わせが増えており、 ミラーピエゾの需要が増加していくと予想しており、弊社の対応製品をご紹介します。 ・高速応答、高精度を可能にしたミラーピエゾステージ ・これらの能力を発揮するための高出力コントローラ また、通常ピエゾは発熱しにくいものですが、kHzレベルの動作で、 必要があれば内部の冷却機構を備えたカスタマイズ対応も行っております。

• その他産業用ロボット
• 圧電デバイス
• アクチュエーター

PI社はリニアモーター製品を拡充しています。 最大1200mm、耐荷重1000Nの「V-857型」高精度＆長作動＆小幅の 1軸リニアモーターステージリリースしました。XY軸構成も可能です。 【特長】 ・最大1000Nの耐荷重 ・長い移動距離（1200mmまで）で小幅形状（幅132mm） ・最大速度５ m/s ・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ ・容易にXY設置構成 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素

PI社はリニアモーター製品を拡充しています。 最大1200mm、耐荷重600Nの「V-855型」 高精度＆長作動＆小幅の1軸リニアモーターステージリリースしました。 XY軸構成も可能です。 【特徴】 ・長い移動距離（1200mmまで）で小幅形状（幅100mm） ・最大速度3 m/s ・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ ・最大600Nの耐荷重 ・容易にXY設置構成 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素
• リニアモータ
• 直交ロボット

この光パワーメータは、光信号を高分解能かつ極めて高帯域幅の電圧信号に変換することが可能です。 ファイバ入力の代替として、外部からの電流入力も可能で、フォトダイオードを接続し、ダイオード電流を変換することができます。 光パワーメータの波長範囲が広いため、切り替えなしで可視と赤外の両方エリアで作業が可能です。 この製品は、私たちのヘキサポッドやピエゾを用いた光学アライメントシステムに最適です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他光学部品
• センサ
• 光学実験部品

・アプリケーションに最適化なダイナミクス動作 ・コンフィグレーションオプション ・大きな安全性とモニタリング機能 ・リニアリティエラー︓最大 0.01 % ■インターフェース：アナログ入出力、USB、RS232、SPI ■豊富なソフトウェアに対応︓NI LabVIEW, C, C++, MATLAB, Pythonなど. μManager、MetaMorphに対応。 PIMikroMove ユーザーソフトウェア ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• コントローラ
• サーボ
• アンプ

ピエゾを用いたレバー増幅型の垂直軸は、約20年前からこの課題に対する 標準的なソリューションとして証明されています。 PIのコンパクトな対物ポジショナーの幅広いポートフォリオは、 このたび完全に再設計されました。 より高い動特性、８００ ミクロンまでの移動範囲、そして使いやすさの向上を目指しました。 その結果、これまで以上に強力な製品群となり、ほぼすべてのアプリケーションに最適なソリューションを提供できるようになりました。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素

＜高速＆高精度駆動＞ この9軸アライメントシステムは、H-811型ヘキサポッドとP-616型ピエゾナノポジショナーを統合した高剛性システムです。 ※ヘキサポッドは、6本脚が1枚の駆動面を支えることで高剛性、かつ非常に滑らかな駆動が可能です。 ※P-616型ピエゾナノポジショナーは、ナノメートルの位置精度を持ち、高速スキャンモーションを可能にします。高性能フィードバック位置センサーが装備されているため、正確で高再現性を実現します。 ＜高解像度アナログ信号入力＞ コントローラは高解像度アナログ入力を介して、光強度信号を直接受信することができます。カメラを使った複雑なセットアップは必要ありません。 ＜ピボットポイントの任意設定＞ システムのピボットポイントは、例えば、ファイバーの先端、ビームウエスト、SiPウェーハの表面などに任意に設定できます。

• 光学実験部品
• その他産業用ロボット
• アクチュエーター

L-836は、産業および研究分野での 精密な位置決めに使用できる高精度リニアステージ 1軸ステージです。 クロスローラーガイドによる高トラベル精度と負荷容量。 用途に応じてActiveDriveDCサーボモータ、ステッピングモータ、 DCギアモータタイプを提供します。 【特長】 ■クロスローラーガイドによる高トラベル精度と負荷容量 ■最高0.1μmの再現性 ■用途に応じてActiveDriveDCサーボモータ、ステッピングモータ、 　DCギアモータタイプを提供 ■歪みのないアルミニウムベースで高度の安定性を実現可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他モータ

『L/V-412,L/V-417』は、エンコーダの高解像度により、 性能ごとのトラッキングが向上するPIMag 高耐荷重リニアステージです。 トラッキングエラーが少なくなり、整定時間が短縮。 最大限の柔軟性のために、インクリメンタルエンコーダと アブソリュートエンコーダを選択することができます。 【特長】 ■最大トラベルレンジ：813mm ■定格フォース：87N ■インクリメンタル/アブソリュートエンコーダ選択可能 ■循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可 ■カバーストラップ採用により、パーティクルを防塵可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• リニアモータ

『V-738』は、モータタイプがアイロンレス3相リニアモータで、 150x150mmの大きな開口部が特長のPIMag 高精度開口部付XY ステージです。 移動範囲は、102 mm×102 mm（4 "）。 速度は、500 mm/sです。 リファレンスリミットスイッチは光学式です。 【特長】 ■移動範囲：102 mm×102 mm（4 "） ■150x150mmの大きな開口部 ■一方向再現性：0.1μm ■速度：500 mm/s ■三相リニアモータ ■高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• リニアモータ

『V-408』は、3相の磁気ダイレクトドライブはドライブトレイン内で 機械部品を使用しないため、駆動力を摩擦プラットフォームに 伝達するPIMag リニアステージです。 クロスローラーガイドにより、ボールガイドのボールの点接触ではなく 強化ローラーが線で接触するようになっています。 これにより剛性が著しく増すとともに必要なプリロードが抑えられているため、 摩擦が低減しスムーズな動作が可能。クロスローラーガイドには、 ガイド精度が高く耐荷重が大きいという特長もあります。 【特長】 ■アイロンコア3相リニアモータ ■高耐荷重のクロスローラガイド ■最小インクリメンタルモーション 20nm ■双方向繰り返し性 ±0.1μm ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• リニアモータ

『U-780』は、静止時にセルフロックし、低ノイズな PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージです。 熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。 10μm/sから120mm/sまでとダイナミックレンジが広く、 ジョイスティックとソフトウェアによる理想的な操作です。 【特長】 ■高い水準の安定性 ■0.1μmの分解能 ■最大135mm×85mmのトラベルレンジ ■倒立顕微鏡に適したタレットの自由回転 ■適合するZサンプルスキャナーあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他モータ

『U-723』は、電源オフ時、セルフロッキングドライブにより、 ステージの位置が機械的に安定するように維持されるPILine XYステージです。 電力消費と発熱量が大幅に削減。こうした特性は、デューティサイクルが 小さく、バッテリー駆動や熱に弱い用途にとって利点となります。 エンコーダによって軸の位置を測定し、光学リファレンススイッチにより 信頼性と再現性の高いモーションを可能にします。 【特長】 ■2軸での高速位置決め ■軽量で省スペース ■高ガイドの精度 ■センサー分解能 10nm ■待機時セルフロック、待機時の発熱なし ■低ノイズオペレーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他モータ
• 圧電デバイス

『U-651』は、精密回転ステージにPILine超音波ピエゾモーターを 採用しており、このモーターがセラミック製摩擦リングに作用して プラットフォームを駆動させるPILine 高速・薄型回転ステージです。 直接駆動方式により、ステージの小型化と薄型が可能になりました。 内蔵のインクリメンタルエンコーダーは、最大4μ radの分解能で、 精密な位置コントロールを行います。 【特長】 ■薄型でわずか14mmの高さ ■分解能が最大4μ radのダイレクト位置測定 ■最高速度540°/秒 ■両方向の回転で最大0.3Nmのトルク ■開口部の直径は36mm ■真空対応タイプ（10-6pha）オプションであり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他モータ

『U-628』は、直接測定用に光学エンコーダを内蔵し、 範囲に制限はない高速小型回転ステージです。 リファレンスポイントスイッチで、中央の開口部は直径7mm。 「PILine超音波ピエゾモータ」で、振動するピエゾセラミック アクチュエータが、リング状のランナーで直接動作します。 高速、保持トルクは0.1Nmです。 【特長】 ■側面の長さ50mm ■位置エンコーダを内蔵 ■1000°/秒を超える速度 ■回転範囲は制限なし ■開口部の直径：7mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他モータ

『U-521』は、アダプタープレート不要でXYコンビネーションが可能な コンパクトリニアステージです。 静止時の自動ロックにより、発熱、サーボによるブレがありません。 真空対応バージョンを利用可能です。 研究および製造業、オートメーション、サンプルマニピュレーション などの用途にご使用いただけます。 【特長】 ■わずか35mm角高さ10mmのコンパクトサイズ ■最高速度200mm／秒 ■トラベルレンジ18mm ■優れた動作／停止ダイナミクス ■直接測定リニアエンコーダー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• リニアモータ

『S-335』は、小型パッケージながら、大きな偏向角が可能な 高速チップ・チルトピエゾミラーステージです。 独立駆動の2ペアのピエゾアクチュエータにより、幅広い温度範囲に渡り、 ダイナミクスと位置の安定性を実現。 また、内蔵されている高分解能のフルブリッジ歪みゲージセンサ(SGS)が、 絶対位置制御、すぐれた再現性を可能にします。 【特長】 ■チップ／チルト角35mrad、光偏向角70mrad(～4°) ■歪みセンサによる高リニアリティ ■ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数 ■パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上 ■小型パッケージながら、大きな偏向角が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他産業用ロボット
• アクチュエーター
• 圧電デバイス

『P-611.3/P-616』は、すぐれた分解能と高速応答ができる NanoCubeU(R)XYZ軸ピエゾステージです。 コスト効率の高いメカニクス／エレクトロニクスシステム構造。 歪みゲージセンサー付きの「P-611.3S」をはじめ、 「P-611.3SF」や「P-616.3C」などをラインアップしています。 【特長】 ■最大100×100×100μmのトラベルレンジ ■きわめてコンパクトで軽量 ■すぐれた分解能と高速応答 ■高速3軸スキャニング ■摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• アクチュエーター
• 直交ロボット
• 圧電デバイス

『N-331』は、最大5kgの荷重を正確かつナノメートルで正確に 位置決めできるウォーキングドライブです。 プッシュプルフォース(active)最大50N、 ホールディングフォース(passive)最大60Nの機械特性。 顕微鏡をはじめ、フォトニクス、オートメーションなどにご使用いただけます。 【特長】 ■PICMA技術による堅牢なウォーキングドライブ ■可変ランナー長さ：25mm～100mm ■最大5kgの荷重を正確かつナノメートルで正確に位置決め ■最大2kgの好適な減結合荷重 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

『L-731/V-731』は、クロスローラーガイドケージのクリープを防ぐ PIMag(R)リニアモータXY軸ステージです。 高剛性が必用な環境下では「L-731」、速度安定性が重要な アプリケーションには「V-731」が好適です。 産医療産業、レーザー切断、走査、バイオテクノロジーなどにご使用いただけます。 【特長】 ■トラベルレンジ：205x205mm（8インチ） ■インクリメンタルリニアエンコーダ（分解能1nm） ■クロスローラーガイドケージのクリープを防ぐ ■高剛性が必用な環境下ではL-731が好適 ■速度安定性が重要なアプリケーションにはV-731が好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• リニアモータ

『L-505』は、DC/ステッピングモータ選択可能な小型リニアステージです。 リニアステージには、フランジモーターを備えた細長いタイプと、 ベルトドライブ(折り畳み式ドライブトレイン)を備えた幅広くコンパクトな タイプ2つのデザインバリエーションをご用意。 また、インクリメンタルエンコーダによる高精度位置測定が可能です。 【特長】 ■トラベルレンジ：13mmまたは26mm ■ギヤヘッドなしのステッピングモータあるいはDCサーボモータ選択可能 ■速度：15mm/s ■最大荷重：30N ■リファレンスポイント・リミットスイッチ内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• DCモータ

『L-310』は、ボールネジとクロスローラーガイドにより、 高いガイド精度と剛性を実現する製品です。 高い安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースを使用。 また、真空対応バージョン可能非接触リミットスイッチと基準点スイッチを備え、 基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。 【特長】 ■高いガイド精度と剛性を実現 ■応力緩和アルミニウムベース使用 ■スムーズな動作と低摩擦で長寿命を実現 ■インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定 ■小インクリメンタルモーションと低速モーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• エンコーダー

『L-239型』は、真空対応でカスタマイズ可能な高耐荷重リニアアクチュエータです。 センサー内蔵で、センサー分解能、設計分解能などの機能を搭載。 研究をはじめ、光学アライメント、オートメーションでの使用に適しています。 【特長】 ■高フィードフォース：300N ■トラベルレンジ：52mm ■速度～50mm/s ■真空対応（10-9hPa）カスタマイズ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• アクチュエーター

PIMag リニアモーターコントローラ『C-413』は、 PIMag ボイスコイル駆動のためのデジタルモーションコントローラです。 1モーターチャンネル、2センサーチャンネルで、 V-275およびV-275リニアアクチュエータに対応可能です。 モーター電流、速度、位置、位置誤差など移動データを 記録するデーターレコーダーなど、幅広いサポート機能が搭載されています。 また、PIMag リニアモーターコントローラには、 最大平均電流消費3Aタイプの「C-891」もございます。 【特長】 ■力×2、位置×2センサーの最大4センサーチャンネル ■構成やコマンド送信のためにTCP/IPまたはUSBインターフェイス採用 　（バージョンによる） ■コマンド送信用リアルタイムSPIインターフェイス（バージョンによる） ■オプションのアナログ入出力 ■保持電流の自動ゼロ機能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• コントローラ

『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

耐荷重: 30 kg トラベルレンジ:最高100 mm / 60° 再現性:±0.4 μm 最高速度：50mm/sec ピボットポイント（回転中心）の任意設定が可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他計測・記録・測定器

ピーアイ・ジャパン株式会社では、6軸ステージを多数取り扱っています。 高速・高精度の小型ヘキサポッドの「H-811.I2」をはじめ、 高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド「H-840」、 高精度ファイバーアライメントシステム「F-712」などをラインアップ。 研究および工業用途、マイクロ製造、医療技術、工具制御に応用されています。 【特長】 〈小型ヘキサポッド「H-811.I2」〉 ■トラベルレンジ：±17mm/±21° ■負荷容量：5kg ■再現性：±0.06μm ■最大速度：20mm/s ■きわめて長寿命 ■真空対応バージョンあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• アクチュエーター
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

PIHera P-620.Z／P-621.Z／P-622.Zは、垂直ストローク50・100・250 µmを0.1 nm分解能で駆動するZ軸ピエゾステージです。 静電容量センサが移動プラットフォームを直接計測し、リニア誤差を0.02 %に抑制。 ゼロバックラッシのフレクシャガイドは潤滑不要・発塵レスで、1 kHz級共振周波数とサブミリ秒応答を実現します。 アクチュエータはオールセラミック絶縁PICMA(R)で1000億サイクルの長寿命を実証済み。 干渉計、共焦点顕微鏡、半導体検査などサブナノ安定性と高速性を同時に求める装置のZ制御に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• エンコーダー

P-726は重い高NA対物レンズを高速・高精度で駆動するPIFOC(R)ハイロードフォーカススキャナです。 フレクシャガイドと静電容量センサを内蔵し、0.3 nmのOpenLoop分解能、0.02 %リニアリティエラーを実現。 共振周波数は無負荷で1120Hz、210 g負荷でも560 Hzを維持し、半導体ウェハ検査や共焦点・超解像顕微鏡のZスキャンを高速化。 QuickLockアダプタでM32／M27など主要スレッドサイズに対応。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• エンコーダー

PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。 【特徴】 ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○動作軸：XYZ軸 〇ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○比類のないスキャニング平坦度 ○高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能 ○センター開口部66 x 66mm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• 直交ロボット

P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 50 × 50mmの開口で透過光も可能。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他産業用ロボット
• 圧電デバイス
• アクチュエーター

PICMA(R)多層ピエゾアクチュエータ P-882・P-888は、セラミック絶縁構造により湿度や電解腐食に強く、温度安定性に優れています。 カスタムにより、最大200度までの耐高温度性を持たせたり、最大20 Aの大電流対応や、穴あき、円形、長方形など形状変更にも対応。 さらにUHV 10⁻⁹ hPa対応し、アウトガスがなく、高いベーク温度にも耐えられ、真空装置や極低温環境など過酷環境下でも動作。 多彩なサイズ・形状バリエーションに加え、カスタム仕様やセンサ内蔵型も選択可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• エンコーダー

P-5x8シリーズ、Z/チップ/チルトナノポジショナー／スキャナは、 オープンフレームの高分解能ピエゾ駆動ステージで、 最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。 【特徴】 ○1軸および3軸バージョン ○クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現 　（オープンループは～240μm/2.4mrad） ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○センター開口部66 x 66mm ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• エンコーダー

P-752は、2電極型の静電容量式センサを内蔵したフレクシャガイド構造により、摩擦ゼロで、優れた真直度（Pitch, yaw error ±１μrad）をもち、Openloop分解能は0.1nmという優れた1軸ナノポジショニングステージです。 また内蔵の静電容量センサーは、実可動部分を非接触でサブナノレベルで実測するため、より高いリニアリティとヒステリシス補正し、長期安定性を実現させます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積44 x 44mm ○ストローク～120 x 120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、ZおよびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• アクチュエーター

S-330ピエゾチップ／チルトプラットフォームは高速でコンパクトな チップ／チルトユニットであり、2つの直交軸を中心とした トッププラットフォームの角度の動きを正確に実現します。 【特徴】 ○分解能～20nrad、優れた位置安定性 ○光ビームの偏向～20mrad（＞1°） ○パラレル制御設計によるダイナミクス、安定性、およびリニアリティの向上 ○同一平面回転軸と固定ピボットポイントが分極回転を回避 ○サブミリセカンドの応答 ○直径最大50mmのミラー用 ○リニアリティ向上のためのクローズドループバージョン ○優れた温度安定性 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• レーザ部品

P-734高ダイナミックXYピエゾナノポジショニングステージは、 サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、 100 x 100μmのリニアストロークを実現します。 【特徴】 ○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御 ○パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御 ○ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部 ○静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• アクチュエーター

P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• アクチュエーター

N-111 NEXLINE(R) OEMドライブは、ストローク～5mm、 高分解能、および発生力～40Nの、コンパクトなナノポジショニング用アクチュエータです。 【特徴】 ○ストローク：5mm ○分解能：0.025nm（オープンループ）と5nm（クローズドループ） ○プッシュプルフォース～40Nおよび60Nの保持力 ○静止時の自動ロック、発熱なし ○非磁性および真空対応の動作原理 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• アクチュエーター

P-753 は、15〜38 µmの移動量を0.1 nm分解能で制御する1軸ピエゾナノポジショニングステージです。 実可動部を実測する、2電極型静電容量センサーとフレクシャガイドによる摩擦ゼロ構造により、ナノメートル動作と、数 msecでの位置決めを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

顕微鏡対物レンズ⽤の⾼速ピエゾ駆動ナノフォーカスデバイス。 100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能です。 【ポイント】 ・対物レンズをサブナノメートルの分解能でスキャンおよび位置決め ・ストローク～100μm、ミリセカンドレベルのセットリング時間 ・モーター駆動のZステージをはるかにしのぐ高速応答と長寿命 ・パラレル制御の高精度フレクシャガイドによる優れたフォーカス安定性 ・位置センサーの選択：静電容量によるダイレクト計測（高性能）または歪みゲージ（低コスト） ・Metamorph(TM)画像ソフトに対応 ・PICMA（TM）ピエゾアクチュエータによる長寿命を実現 ・クイックロックアダプターによる操作性の向上 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• アクチュエーター

PIFOC(R) P-737高速垂直位置決めシステムは、 顕微鏡検査のためのXYステージで使用するように設計されています。 【特徴】 ○高さ方向の高速ピエゾ動作：ストローク～250μm 　（500μmまでカスタマイズ可能） ○ナノメートル分解能 ○大きなセンター開口部によって標本押さえに対応 ○手動またはモーター駆動のXY OEMステージに機械的に適合 ○ミリセカンドレンジの応答時間 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

P-611.Zステージは、設置面積がわずかに44 x 44mm、 クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積はわずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• アクチュエーター