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ピーアイ・ジャパン株式会社

設立日本法人:1991年 ドイツ本社:1977年
住所神奈川県川崎市幸区堀川町580番地 ソリッドスクエア西館17F
電話044-280-7676
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  • 公式サイト
最終更新日:2025/05/22
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ピエゾポジショニングシステム ピエゾポジショニングシステム
リニアアクチュエータ リニアアクチュエータ
リニアステージ リニアステージ
XYステージ XYステージ
ピエソモータ ピエソモータ
電動モータ 電動モータ
精密グラナイト製品 精密グラナイト製品
ピエゾドライブ ピエゾドライブ
6軸システム 6軸システム
モータライズドポジショニング モータライズドポジショニング
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【7つの応用事例】ヘキサポッド6軸位置決めシステム

積み重ね多軸ステージとの比較解説・7つの応用事例・ヘキサポッドの簡易比較表

PI社のヘキサポッド6軸ステージは、40年以上前から、ピエゾステージ同様に独自開発・自主生産をしており、ピエゾ位置決め製品と同様にヘキサポッドでもマーケットリーダーです。 <ヘキサポッドの特徴> ・回転中心を任意位置に簡単設定 ・パラレル駆動で累積誤差がない ・コンパクトで高剛性で高安定性 ・設置向きが任意でも可能 など ※製品につきましてはカタログや弊社HPをご参考にしてください。 ヘキサポッドの動画もございます。

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グラナイト専門メーカのピー・ヂー・ダブリューがPIグループに!

極めて高い石の研磨技術を有し、大型で高精度なグラナイトを必要とするFPD業界を中心に、装置の土台や定盤、治具等を製造しています。

ピー・ヂー・ダブリュー株式会社(以下PGW)は、 1997年に石(グラナイト)を用いた石定盤や治具など石材加工の専業メーカとして創業。 極めて高い石の研磨技術を有し、大型で高精度なグラナイトを必要とする FPD業界を中心に、装置の土台や定盤、治具等を製造。 また、お客様のご要求仕様に合わせ、グラナイトベースに、 ステージやリニアモータ、ガイド、エンコーダなどを組み合わせた 高精度ユニット装置も設計開発しています。 2021年に、ピエゾを用いた超精密位置決め品において マーケットリーダであるピーアイ・ジャパン株式会社の一員となりました。 日本国内はもちろん、アジア圏にあるPI(Physik Instrumente)社の 子会社から依頼された、お客様向けの装置設計や開発、製造など、 これまで以上のソリューションがご提供できるようになります。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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パラレルキネマティック・ヘキサポッド H-811

コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム

6軸自由度を持つパラレルキネマティックデザインで、単軸キネマティックシステムよりもコンパクトで剛性が強いヘキサポッド。 大きなダイナミックレンジで、作動ケーブルがなく、高い信頼性を提供。 また、ソフトウェアによるユーザー定義のピボットポイント設定が可能。 本体寸法:φ136×115mmの超コンパクト設計、ブラシレスDCモータ(BLDC)と長寿命ボールねじによるダイレクトドライブ式。 真空対応(10^-6hPa)バージョンも用意している。光位置合わせ、オートメーション、品質保証試験、試験機器での利用に。 【特長】 ■最小ヘキサポッド(真空オプションあり) ■トラベルレンジ:34mm/42° ■耐荷重:5kg ■アクチュエーター分解能:40nm ■最小インクリメンタルモーション:0.2μm ■再現性:±0.1μm ■ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む ■ピボットポイント(回転中心)の任意設定が可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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小型で25mmまでの動作量:リニアステージ M-11x型

サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ

【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ:5~25mm ■最小移動量:0.2µm ■耐荷重:30N ■サイズ:60×62×20mm~ ■XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa) 【コンパクトなリニアステージ、多用途】 ■ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです ■開口部は10 mm Øです ■XYセットアップをアダプタープレートなしで直接マウントできます 【位置計測】 ■DCギヤモーター搭載の別タイプ:モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載 ■非接触ホール効果基準点スイッチとリミットスイッチ 【駆動】 ■2相ステッパーモーターまたはクローズドループDCギヤモーター ■バックラッシュ補正のリードネジやボールネジ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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813mm高速直動リニアステージ V-817

リニアモータ×エンコーダで高荷重600Nでも滑らか&高速応答

PI Mag(R)リニアモータとダイレクトエンコーダを組み合わせたV-817は、非接触駆動で発塵を抑え、長期安定性を実現します。 最大負荷600 Nまで対応し、2 µmレベルの位置決め再現性を実現。 動作量は、204, 407, 610, 813 mmの4タイプをラインアップし、ドラッグチェーンや75〜150 mm角M6取付プレートなど豊富なアクセサリで迅速にシステム化できます。 センサーやカメラの組立、精密検査&測定、ウェハー加工&検査、レーザー加工など幅広い産業アプリをサポートします。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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多軸モーションシステム X-417

用途に合わせて、必要な軸数や動作仕様に合った組合せで構成が可能

■Performance 1:サーボモータとボールねじステージ構成 ■Performance 2:高精度向け、サーボモータとボールねじ駆動ステージ構成 ■Performance 3:高速・高精度向け、リニアモーターステージ構成 Z軸は、保持ブレーキ付きタイプで対応します。 ACSベースG-901コントローラはモーション+I/O+安全機能を統合し、装置PLCとのEtherCAT(R)接続を即完了。 レーザー加工、超短パルスレーザー加工、テストや精密検査、電子機器製造に最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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【長いトラベルレンジを実現】ヘキサポッド H-840.G2IHP

製造技術や測定技術におけるアライメントおよび位置決め用途の最も厳しい要件に対処

20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、 お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました! XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。 生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。 <仕様> ・駆動軸 6軸 ・トラベルレンジ  XY=±50mm、Z=±25mm、θxθy=±15度、θz=±30度 ・最小移動量:XY=40nm、Z=20nm、θxθy=0.2µrad、θz=0.4µrad ・最大速度:2.5mm/秒、30mrad/秒 ・耐荷重:40Kg(水平時) ・任意回転中心設定 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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シリコンフォトニクス・光学アライメントにお薦め!9軸精密駆動

任意に回転中心が変更可能!ピエゾの併用でナノオーダーの位置決め可能!

大容量化、高速化を求める世界のデータ需要を満たすうえで、 シリコンフォトニクス(SiP)は不可欠な技術です。 《PI社の革新的な産業技術が、その実現に貢献します》 PI社のオートメーションサブシステムにより、SiP製品のメーカーおよびそのツールのOEMは、 必要なナノスケールの精度と高い生産スループットを維持しながら、 優れたコスト効率と信頼性で、【新世代のフォトニクスデバイスのテスト およびパッケージング】を行うことができます。 この技術の鍵を握るのが、「相互作用する複数の入出力と自由度の 同時高速アライメントを自動化し、大域的最適化を通常わずか数百ミリ秒で完了する」PI社独自の機能です。 その並列処理により、テストおよびパッケージングにおいて マルチチャネルSiPコンポーネントのポジショニングに従来必要だった 時間のかかる反復的アプローチが不要になり、2桁を超える時間短縮が可能になります。 また、モジュール型アーキテクチャを採用しているため、 デバイスおよび生産アプリケーションによって 要件の異なる様々な生産テストおよびパッケージングのニーズに応えることができます。

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ベッドサイズヘキサポッド 位置決めステージ

放射線治療のための患者様を正確に6軸位置決めが可能

長方形のベッド型ヘキサポッドデザイン。 PIの多軸モーションおよびポジショニングソリューション ヘキサポッド(ギリシャ語で6本の脚に由来)は、6つのアクチュエータ(支柱)によって制御されるモーションプラットフォームです。それらはすべて1つのプラットフォームで同時動作し、6自由軸の移動を可能にします。

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【応用事例:高精度ヘキサポッドシステム】ALMA望遠鏡の副反射鏡

ALMA天文台の50基のアンテナに採用!低気圧、最大50度の温度差、強風、埃、雨、海抜5000メートルという過酷な環境条件に適合

ピーアイ・ジャパン株式会社が取り扱う製品を応用した事例をご紹介します。 ALMA天文台の50基のアンテナは、当社の「高精度ヘキサポッド」を使用。 アタカマ砂漠の過酷な環境条件の下、電波望遠鏡の副反射鏡を高精度に 位置合わせするため採用されました。 低気圧、最大50度の温度差、強風、埃、雨、海抜5000メートルという過酷な 環境条件に適合。数ミリメートルまで高い精度で副反射鏡の位置を調節できます。 【事例】 <ALMA望遠鏡配列用50のヘキサポッドシステム> ■高精度精度ヘキサポッドを使用 ■アタカマ砂漠の過酷な環境条件の下、電波望遠鏡の副反射鏡を高精度に  位置合わせするため採用 ■サブミクロン秒角の分解能で位置決めが可能 ■過酷な環境条件に適合し、高剛性で頑丈なジョイントをALMA向け  ヘキサポッド用に開発 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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最大1kgの重力補正 ボイスコイルフォーカスステージ V-308

最小動作10nmで、最大7mm移動、1kgまでの無電源保持 微細観察を支える高精度Z軸

V-308はボイスコイル直動とクロスローラーガイドを組み合わせたZ軸フォーカスステージです。 最小インクリメント10 nm、調整可能な7 mmストロークにより、光学系の焦点位置をナノレベルで最適化できます。 大口径レンズや長作動距離レンズを使用する多光子・深部組織イメージングで高い信頼性を提供します。 クロスローラーガイドの高剛性構造と10 nm分解能エンコーダが、7 mm全域で滑らかなナノポジショニングを保証。 詳細は PDF をダウンロード、またはお問い合わせください。

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  • アクチュエーター
  • ソレノイド・アクチュエータ

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最大800µm長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2

サブナノの分解能をもち、最大800 µm動作、高速・高精度PIFOC(R)フォーカススキャナ

P-725.xCDE2 はフレクシャガイド構造と PICMA(R) ピエゾを採用した対物レンズ用フォーカススキャナです。 静電容量センサーが サブナノメートル分解能と0.02 % リニアリティを実現し、100 / 400 / 800 µm の長ストロークでも高精度を維持します。 摩耗部ゼロ・潤滑剤不要で長寿命。共焦点・多光子顕微鏡や半導体検査の Z ステップ高速化に貢献します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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最大8度のボイスコイル駆動TipTiltミラーステージ

衛星通信・ビーム安定化などのアプリケーションに最適な大角度駆動が可能なステージです。

※ビームの偏向角度 最大 8° ※共通の回転中心を持つ直交する2つのチップ/チルト軸 ※パラレルキネマティクスによる両軸の同一動特性 ※コンパクトなデザイン ※フレクシャーによる高耐久性と無摩擦 ※リニアエンコーダによる位置測定 Tip/tilt 動作レンジ: ± 35 (± 2°) mrad 最小移動動作量: < 1 μrad 再現性: < 2 μrad リファレンス精度: ≤ 50 μrad リニアリティ: < 0.2 % ステップ応答: < 20 ms(荷重等による) ミラー最大直径:1インチ 最大荷重:20g OEM供給用につき、複数台~数百台などカスタマイズもご相談ください。

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  • ソレノイド・アクチュエータ
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A-63xシリーズ 高精度エアベアリング回転ステージ

薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。

エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度&わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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A-688型 エアベアリング大開口回転ステージ

薄型で最大260mmの開口を持つ高精度エアベアリング回転ステージ。一般的なメカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません

エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度&わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ・大開口:260mm、厚さ:113mmの薄型タイプ ・インクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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新製品!薄型エアベアリング Z Tip/Tilt ステージ

1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージをリリース!

PI社は、エアベリング位置決め製品を拡充しています! パラレルキネマティック方式設計による 「A-523型:エアベアリング Z軸、チップ/チルトの3軸駆動ステージ」をリリースしました。 薄型設計で3軸の超高精度位置決めを実現 摩擦のないモーションプラットフォーム 最高の性能、品質、寿命を提供 【特徴】 ・トラベルレンジ: Z軸±2.5 mm、θX, θY軸 ±1° ・耐荷重:8 kg ・プラットフォーム:直径 250 mm ・高さ:60 mm ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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300mm高速XYエアベアリングプラナースキャナ A-311

エア浮上×リニアモータで摩耗ゼロ。最大速度2m/s、センサー分解能1nm

PIglide IS A-311は、ステージ駆動面を空気で浮上させるエアベアリング式XYプラナースキャナーです。 積み重ね型より薄いフラット構造で装置設計をコンパクト化しながら、300 mm×400 mmの広い走査範囲と1 nmセンサー分解能で動作。 摩擦ゼロのリニアモータ駆動は最大2 m/sの高速応答、147 N可搬能力によりレーザー加工や半導体ウェハ検査のタクト短縮に貢献します。 発塵レス構造でクリーンルーム対応、豊富なコントローラ/APIがXY同期やエリアスキャンの統合を容易にします。 詳細は PDF をダウンロード、またはお問い合わせください。

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高速Tip/Tiltピエゾステージ S-331

動作角:±5 mrad (光学各10 mrad)、10 kHzの共振周波数により、ダイナミック&高分解能&高速動作

高速ビームステアリング向け2軸 Tip/Tiltプラットフォーム。 パラレルキネマティック設計と歪みゲージ位置センサにより、フィードバック制御を行い、高速かつ高精度な位置決めとダイナミクス動作実現します。 レーザービーム・画像安定化・衛星光通信など、高ダイナミクスが必須のアプリケーションに最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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132 mm幅薄型高速リニアモーターステージ V-857

132mm幅、最大速度5 m/s、0.1 µm最小動作量のリニアモータステージ

・幅132 mm、高さ94mmのコンパクト筐体 ・動作量:400mm、800mmの2タイプ ・コアレスリニアモータ駆動で、最大速度:5000mm/s ・インクリメンタルとアブソリュートエンコーダータイプ:最小動作量は0.1µm ・耐荷重は1000Nあり、”V-857.TTx”モーションプラットフォームを用いて固定 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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800mm動作量のリニアモーターステージ V-855

0.1 µmの最小インクリメンタルモーションで、無負荷時の最大速度4000mm/秒、最大加速度50 m/s²、耐荷重600N

磁気ダイレクトドライブを採用したV-855は、600Nを支えるクロスローラーガイドとアイアンレス3相リニアモータを組み合わせ、振動レスで滑らかな高速搬送を実現します。 200 / 400 / 800 mmの3ストロークから選択でき、アブソリュートエンコーダモデルは原点出し不要で稼働率を向上。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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ACS社製モータステージ用モーションコントロールシステム

産業機械、半導体設備など、高精度に多軸モーションコントロールを必要とするお客様に最適

・高精度 最大64ch多軸同期モーション ・高度で高速なサーボ制御アルゴリズム ・EtherCATベースのユニバーサルサーボドライブ設計 ・レーザーアプリケーションに適したトリガー機能

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F-712.PM1型 光学パワーメーター

・20KHzの信号帯域幅 ・ハイダイナミクスレンジ ・周波数レンジ:400-1550nm ・入力電流レンジ:~1mA

この光パワーメータは、光信号を高分解能かつ極めて高帯域幅の電圧信号に変換することが可能です。 ファイバ入力の代替として、外部からの電流入力も可能で、フォトダイオードを接続し、ダイオード電流を変換することができます。 光パワーメータの波長範囲が広いため、切り替えなしで可視と赤外の両方エリアで作業が可能です。 この製品は、私たちのヘキサポッドやピエゾを用いた光学アライメントシステムに最適です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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  • センサ
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小型デジタルピエゾコントローラ E-709.1C1L

24 bit DAC×20 kHzサンプリングレート、アナログ制御も対応1軸ピエゾコントローラ

E-709.1C1L型コントローラは、静電容量式センサーを備えたピエゾベースの1chナノポジショニングシステムです。 ・出力電圧 -30~ 130 V ・ダイナミックアプリケーション向けに最適化されたアンプとセンサ ・デジタルリニアリゼーション ・インターフェース:USB・SPI・RS-232、0~+10 Vアナログ入力制御 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

  • コントローラ
  • サーボ
  • アンプ

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ピエゾベースの対物フォーカスドライブシリーズ

2光子(3光子)蛍光顕微鏡・デジタルスライドスキャン・ウェーハ検査に最適なピエゾステージ。≤18μm~7mmまでのトラベルレンジ

ピエゾを用いたレバー増幅型の垂直軸は、約20年前からこの課題に対する 標準的なソリューションとして証明されています。 PIのコンパクトな対物ポジショナーの幅広いポートフォリオは、 このたび完全に再設計されました。 より高い動特性、800 ミクロンまでの移動範囲、そして使いやすさの向上を目指しました。 その結果、これまで以上に強力な製品群となり、ほぼすべてのアプリケーションに最適なソリューションを提供できるようになりました。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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高速・6自由度フォトニクスアライメント F-713.Hxx

アライメント時間の99%削減する、PIの高速光学アライメントソリューション

ヘキサポッド6軸モーターステージと、XYZ軸ピエゾステージを組み合わせた高速・高精度フォトニクスアライメントシステム。 SiPhウェーハ、フォトニックデバイス、PIC、および光ファイバーに最適化されたスキャン/アライメントルーチン、強力な配列アライメントアルゴリズムで、高速・高精度、かつ同時アライメントを可能にします。 ヘキサポッドは、6軸をDCサーボモータ駆動で動作、サブミクロン位置決めが可能。また様々なデバイスに合わせて、任意に回転中心の設定が可能です。 XYZ軸ピエゾステージは、ナノレベル位置決めが可能で、高い共振周波数で高速応答・スキャンを可能にします。 WindowsおよびLinux上のC#、Python、LabVIEW、MATLABなどの一般的な言語のサポートを含む、迅速なプロセス開発のための広範で深いソフトウェアサポート。

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多軸対応汎用 高精度1軸リニアステージ L-836

60 mm幅・最大動作量200 mm、オプションで折返し駆動タイプ、保持ブレーキタイプ

動作量は、25〜200 mmまで6種をラインアップ ・2相ステッピングモーター駆動で、精密ボールねじ、循環ボールベアリング内蔵 ・最大速度:80mm/s ・最小動作量:0.3µm~、再現性:2µm~ ・耐荷重:150N ・折り畳み駆動タイプは、設置面積を削減 ・垂直動作用に保持ブレーキ付モデル ・リニアエンコーダ(オプション) ・XY軸、XYZ軸などにも拡張可能 レーザー加工、試験・検査、電子機器製造、光ケーブル製造、光学アセンブリ、シリコンフォトニクスなどに最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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高耐荷重リニアステージ『L/V-412,L/V-417』

最大トラベルレンジは813mm!循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可

『L/V-412,L/V-417』は、エンコーダの高解像度により、 性能ごとのトラッキングが向上するPIMag 高耐荷重リニアステージです。 トラッキングエラーが少なくなり、整定時間が短縮。 最大限の柔軟性のために、インクリメンタルエンコーダと アブソリュートエンコーダを選択することができます。 【特長】 ■最大トラベルレンジ:813mm ■定格フォース:87N ■インクリメンタル/アブソリュートエンコーダ選択可能 ■循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可 ■カバーストラップ採用により、パーティクルを防塵可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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150mm開口高精度XYステージ V-738

動作量は102×102 mmで、リニアモータとリニアエンコーダで、最小動作0.02µm、最大速度500 mm/sを実現

PI Magリニアモータ駆動のV-738は、光学式インクリメンタルエンコーダによりシステム分解能1 nm XY方向それぞれ102 mmのストロークで、最大速度500 mm/s コアレスのため速度リップルが小さく、低速域でも滑らかな動作 150 mm四方の開口により、レーザ光学ヘッドや検査カメラを内部に配置でき、装置の省スペース化に貢献 動作直交度:±97 µrad、真直度±2 µmの動作精度と、100 Nの耐荷重 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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PIMag リニアステージ『V-408』

アイロンコア3相リニアモータ!駆動力を摩擦プラットフォームに伝達するコンパクト設計のPIMag リニアステージ

『V-408』は、3相の磁気ダイレクトドライブはドライブトレイン内で 機械部品を使用しないため、駆動力を摩擦プラットフォームに 伝達するPIMag リニアステージです。 クロスローラーガイドにより、ボールガイドのボールの点接触ではなく 強化ローラーが線で接触するようになっています。 これにより剛性が著しく増すとともに必要なプリロードが抑えられているため、 摩擦が低減しスムーズな動作が可能。クロスローラーガイドには、 ガイド精度が高く耐荷重が大きいという特長もあります。 【特長】 ■アイロンコア3相リニアモータ ■高耐荷重のクロスローラガイド ■最小インクリメンタルモーション 20nm ■双方向繰り返し性 ±0.1μm ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ『U-780』

0.1μmの分解能!熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。最大135mm×85mmのトラベルレンジ

『U-780』は、静止時にセルフロックし、低ノイズな PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージです。 熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。 10μm/sから120mm/sまでとダイナミックレンジが広く、 ジョイスティックとソフトウェアによる理想的な操作です。 【特長】 ■高い水準の安定性 ■0.1μmの分解能 ■最大135mm×85mmのトラベルレンジ ■倒立顕微鏡に適したタレットの自由回転 ■適合するZサンプルスキャナーあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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超音波モータ駆動のXY軸小型リニアステージ U-723

サイズ42x42x21mm、22 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持

U-723はPILINE超音波ピエゾモータを採用した42x42 mm×高さ21 mmのXY軸小型リニアステージです。 小型ながら、22 mmXY軸の動作量、最大速度200mm/s。 内蔵インクリメンタルリニアエンコーダーでセンサー分解能10nm、最小動作量0.1µm、双方向再現性 ±0.2µmを実現。 電源OFF時には、2Nのセルフロック保持力で位置を保持。 アプリケーション例は、マイクロマニピュレーション、オートメーション、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルポジショニング、限られたスペースでの動作。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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高さ14 mmの薄型ピエゾモータ駆動高速回転ステージ U-651

高さ14 mmの薄型、φ36 mmの開口、停止時はセルフロック

PILine(R)超音波ピエゾモータを採用した『U-651』は、わずか14 mmの高さで、>360 °の回転動作するステージです。 最大速度540 °/sで、0.3 N·mトルク、光学角度エンコーダで、12 µradの最小動作を実現。 φ36 mmの開口で、レーザ光路や配線を通すことも可能。セルフロック機構が通電ゼロでも位置保持。 クロスローラーベアリングで耐荷重は20N。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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超音波モータ駆動の小型回転ステージ U-628

サイズ50x50x19mm、無限の回転量、最大速度720°/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持

U-628はPILINE超音波ピエゾモータを採用した50x50 mm×高さ19 mm、耐荷重 5Nの小型回転ステージです。 内蔵インクリメンタル角度センサーでセンサー分解能17μrad、最小動作量51μrad、双方向再現性 ±102μradを実現。 電源OFF時には、0.03 N・mのセルフロック保持力で位置を保持。 アプリケーション例は、マイクロマニピュレーション、オートメーション、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルポジショニング、限られたスペースでの動作。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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超音波モータ駆動の小型リニアステージ U-521

サイズ35x35x15mm、18 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持

U-521はPILINE超音波ピエゾモータを採用した35x35 mm×高さ15 mmの小型リニア動作ステージです。 小型ながら、18 mm動作量、最大速度200mm/s。 内蔵インクリメンタルリニアエンコーダーでセンサー分解能100nm、最小動作量0.3µm、双方向再現性0.4µmを実現。 電源OFF時には、2Nのセルフロック保持力で位置を保持。 アプリケーション例は、マイクロマニピュレーション、オートメーション、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルポジショニング、限られたスペースでの動作。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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~70mradのチップ/チルトピエゾプラットフォーム S-335

±5 mrad×3 ms収束、10 kHz共振――0.1 µrad分解能の高速ビームステア

0.7kHz (1インチミラー時)の共振周波数により、ダイナミックな動きと高速なステップ&セトリングを実現。 パラレルキネマティック設計:1つの共通のピボットポイントで、2軸直交プラットフォーム ミラーなし、1/2インチミラー、1インチミラータイプ。 画像安定化、レーザービーム制御、光学通信など高速・高精度偏向が求められるアプリケーションに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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XYZ軸ピエゾステージ 100×100×100 µm P-616

各40mmサイズで、XYZ軸100µm動作のコンパクトXYZピエゾステージ

P-616 は、パラレルキネマティクスを採用した XYZ ピエゾナノポジショナです。 高信頼性PICMAピエゾセラミックス、フレクシャーガイド、静電容量センサを各軸に内蔵した、再現性10nm、0.4 nm システム再現性を提供します。 ファイバーの位置決めとアライメント、顕微鏡、ナノ位置決め、フォトニクス、マイクロマニピュレーションなどに最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。 【特長】 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高推力PICMAWalkアクチュエータ N-331

最大速度12 mm/s、50 Nの駆動力、ナノ位置決め動作の組込みアクチュエータ

N-331 PICMAWalkは、ピエゾ素子のナノ分解能とステッピング動作を融合したウォーキングドライブ・リニアアクチュエータです。 動作量は、25mm、50mm、100mmタイプがあり、駆動力50N、保持力60Nをもちます。 PiezoWalk(R)ウォーキングドライブは、複数のピエゾアクチュエータが歩行運動を行い、ランナーの送り動作につながります。 アクチュエータの制御により、1ナノメートル未満の分解能で最小のステップおよびフォワードフィードモーションが可能になります。 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度な位置測定を行います。また、10⁻9 hPa真空対応アクチュエータも対応します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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  • ソレノイド・アクチュエータ

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PIMag リニアモータXY軸ステージ『L-731/V-731』

産医療産業、レーザー切断、走査などに!高精度位置決め可能なリニアモータステージ

『L-731/V-731』は、クロスローラーガイドケージのクリープを防ぐ PIMag(R)リニアモータXY軸ステージです。 高剛性が必用な環境下では「L-731」、速度安定性が重要な アプリケーションには「V-731」が好適です。 産医療産業、レーザー切断、走査、バイオテクノロジーなどにご使用いただけます。 【特長】 ■トラベルレンジ:205x205mm(8インチ) ■インクリメンタルリニアエンコーダ(分解能1nm) ■クロスローラーガイドケージのクリープを防ぐ ■高剛性が必用な環境下ではL-731が好適 ■速度安定性が重要なアプリケーションにはV-731が好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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小型リニアステージ『L-505』

リミットスイッチ内蔵!DCステッピングモータ付きコンパクトリニアステージ

『L-505』は、DC/ステッピングモータ選択可能な小型リニアステージです。 リニアステージには、フランジモーターを備えた細長いタイプと、 ベルトドライブ(折り畳み式ドライブトレイン)を備えた幅広くコンパクトな タイプ2つのデザインバリエーションをご用意。 また、インクリメンタルエンコーダによる高精度位置測定が可能です。 【特長】 ■トラベルレンジ:13mmまたは26mm ■ギヤヘッドなしのステッピングモータあるいはDCサーボモータ選択可能 ■速度:15mm/s ■最大荷重:30N ■リファレンスポイント・リミットスイッチ内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高精度Zステージ『L-310』

工業、研究分野の精密ポジショニングに!高デューティサイクルのZステージ

『L-310』は、ボールネジとクロスローラーガイドにより、 高いガイド精度と剛性を実現する製品です。 高い安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースを使用。 また、真空対応バージョン可能非接触リミットスイッチと基準点スイッチを備え、 基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。 【特長】 ■高いガイド精度と剛性を実現 ■応力緩和アルミニウムベース使用 ■スムーズな動作と低摩擦で長寿命を実現 ■インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定 ■小インクリメンタルモーションと低速モーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高耐荷重リニアアクチュエータ『L-239型』

研究、光学アライメントなどの使用に!高分解能でハイパワーなリニアアクチュエータ

『L-239型』は、真空対応でカスタマイズ可能な高耐荷重リニアアクチュエータです。 センサー内蔵で、センサー分解能、設計分解能などの機能を搭載。 研究をはじめ、光学アライメント、オートメーションでの使用に適しています。 【特長】 ■高フィードフォース:300N ■トラベルレンジ:52mm ■速度~50mm/s ■真空対応(10-9hPa)カスタマイズ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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PIMag リニアモーターコントローラ『C-413』

PIMagボイスコイル駆動のためのデジタルモーションコントローラ。幅広いサポート機能が搭載

PIMag リニアモーターコントローラ『C-413』は、 PIMag ボイスコイル駆動のためのデジタルモーションコントローラです。 1モーターチャンネル、2センサーチャンネルで、 V-275およびV-275リニアアクチュエータに対応可能です。 モーター電流、速度、位置、位置誤差など移動データを 記録するデーターレコーダーなど、幅広いサポート機能が搭載されています。 また、PIMag リニアモーターコントローラには、 最大平均電流消費3Aタイプの「C-891」もございます。 【特長】 ■力×2、位置×2センサーの最大4センサーチャンネル ■構成やコマンド送信のためにTCP/IPまたはUSBインターフェイス採用  (バージョンによる) ■コマンド送信用リアルタイムSPIインターフェイス(バージョンによる) ■オプションのアナログ入出力 ■保持電流の自動ゼロ機能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • コントローラ

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PIglide 直動エアベアリングステージ『A-110』

スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ

『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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H-840 ヘキサポッドシステム

高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド

耐荷重: 30 kg トラベルレンジ:最高100 mm / 60° 再現性:±0.4 μm 最高速度:50mm/sec ピボットポイント(回転中心)の任意設定が可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

  • その他計測・記録・測定器

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ピーアイ・ジャパン株式会社 6軸ステージ

摩擦を抑えながら信頼性の高い動作を実現!マイクロ製造、医療技術、工具制御に使用可能!

ピーアイ・ジャパン株式会社では、6軸ステージを多数取り扱っています。 高速・高精度の小型ヘキサポッドの「H-811.I2」をはじめ、 高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド「H-840」、 高精度ファイバーアライメントシステム「F-712」などをラインアップ。 研究および工業用途、マイクロ製造、医療技術、工具制御に応用されています。 【特長】 〈小型ヘキサポッド「H-811.I2」〉 ■トラベルレンジ:±17mm/±21° ■負荷容量:5kg ■再現性:±0.06μm ■最大速度:20mm/s ■きわめて長寿命 ■真空対応バージョンあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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