顕微鏡対物レンズ⽤の⾼速ピエゾ駆動ナノフォーカスデバイス。 100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能です。 【ポイント】 ・対物レンズをサブナノメートルの分解能でスキャンおよび位置決め ・ストローク～100μm、ミリセカンドレベルのセットリング時間 ・モーター駆動のZステージをはるかにしのぐ高速応答と長寿命 ・パラレル制御の高精度フレクシャガイドによる優れたフォーカス安定性 ・位置センサーの選択：静電容量によるダイレクト計測（高性能）または歪みゲージ（低コスト） ・Metamorph(TM)画像ソフトに対応 ・PICMA（TM）ピエゾアクチュエータによる長寿命を実現 ・クイックロックアダプターによる操作性の向上 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、高分解能が求められる 今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい 大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。 【特徴】 ・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング／スキャニング ・共振周波数1120Hz（210g負荷時560Hz） ・標準セットリング時間約6ms ・ストローク100μm ・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現 ・分解能～0.3nm ・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

PIFOC(R) P-737高速垂直位置決めシステムは、 顕微鏡検査のためのXYステージで使用するように設計されています。 【特徴】 ○高さ方向の高速ピエゾ動作：ストローク～250μm 　（500μmまでカスタマイズ可能） ○ナノメートル分解能 ○大きなセンター開口部によって標本押さえに対応 ○手動またはモーター駆動のXY OEMステージに機械的に適合 ○ミリセカンドレンジの応答時間 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

P-753 LISA（リニアステージアクチュエータ）高速ナノポジショナーは リニアアクチュエータ、およびステージの両方としてご使用頂けます。 【特徴】 ○汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ ○分解能0.05nm、高速応答 ○静電容量センサーによる高リニアリティ ○摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○真空対応および非磁性バージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

極めて精密なP-752シリーズ高速ナノポジショニングステージは、 最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、 直進性が非常に高いことが大きな特徴です。 【特徴】 ○分解能0.1nm、高速応答 ○ストローク～35μm ○静電容量センサーによる高リニアリティ ○フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ○ストローク50～1800μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、Z、XYZバージョン ○真空対応バージョンも用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、 XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大4mradの範囲での位置決めが可能です。 【特徴】 ○2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ） ○ストローク～200μm ○サブナノメートルの分解能 ○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○センター開口部 66 x 66mm ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

P-734高ダイナミックXYピエゾナノポジショニングステージは、 サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、 100 x 100μmのリニアストロークを実現します。 【特徴】 ○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御 ○パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御 ○ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部 ○静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積44 x 44mm ○ストローク～120 x 120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、ZおよびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。 【特徴】 ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○動作軸：XYZ軸 〇ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○比類のないスキャニング平坦度 ○高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能 ○センター開口部66 x 66mm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

P-611.Zステージは、設置面積がわずかに44 x 44mm、 クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積はわずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

P-5x8シリーズ、Z/チップ/チルトナノポジショナー／スキャナは、 オープンフレームの高分解能ピエゾ駆動ステージで、 最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。 【特徴】 ○1軸および3軸バージョン ○クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現 　（オープンループは～240μm/2.4mrad） ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○センター開口部66 x 66mm ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、 サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ○垂直ストローク：50～400μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、Z、XYZバージョン ○真空対応バージョンも用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

S-330ピエゾチップ／チルトプラットフォームは高速でコンパクトな チップ／チルトユニットであり、2つの直交軸を中心とした トッププラットフォームの角度の動きを正確に実現します。 【特徴】 ○分解能～20nrad、優れた位置安定性 ○光ビームの偏向～20mrad（＞1°） ○パラレル制御設計によるダイナミクス、安定性、およびリニアリティの向上 ○同一平面回転軸と固定ピボットポイントが分極回転を回避 ○サブミリセカンドの応答 ○直径最大50mmのミラー用 ○リニアリティ向上のためのクローズドループバージョン ○優れた温度安定性 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

PIMag リニアモーターコントローラ『C-413』は、 PIMag ボイスコイル駆動のためのデジタルモーションコントローラです。 1モーターチャンネル、2センサーチャンネルで、 V-275およびV-275リニアアクチュエータに対応可能です。 モーター電流、速度、位置、位置誤差など移動データを 記録するデーターレコーダーなど、幅広いサポート機能が搭載されています。 また、PIMag リニアモーターコントローラには、 最大平均電流消費3Aタイプの「C-891」もございます。 【特長】 ■力×2、位置×2センサーの最大4センサーチャンネル ■構成やコマンド送信のためにTCP/IPまたはUSBインターフェイス採用 　（バージョンによる） ■コマンド送信用リアルタイムSPIインターフェイス（バージョンによる） ■オプションのアナログ入出力 ■保持電流の自動ゼロ機能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『N-331』は、最大5kgの荷重を正確かつナノメートルで正確に 位置決めできるウォーキングドライブです。 プッシュプルフォース(active)最大50N、 ホールディングフォース(passive)最大60Nの機械特性。 顕微鏡をはじめ、フォトニクス、オートメーションなどにご使用いただけます。 【特長】 ■PICMA技術による堅牢なウォーキングドライブ ■可変ランナー長さ：25mm～100mm ■最大5kgの荷重を正確かつナノメートルで正確に位置決め ■最大2kgの好適な減結合荷重 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『P-611.3/P-616』は、すぐれた分解能と高速応答ができる NanoCubeU(R)XYZ軸ピエゾステージです。 コスト効率の高いメカニクス／エレクトロニクスシステム構造。 歪みゲージセンサー付きの「P-611.3S」をはじめ、 「P-611.3SF」や「P-616.3C」などをラインアップしています。 【特長】 ■最大100×100×100μmのトラベルレンジ ■きわめてコンパクトで軽量 ■すぐれた分解能と高速応答 ■高速3軸スキャニング ■摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『S-335』は、小型パッケージながら、大きな偏向角が可能な 高速チップ・チルトピエゾミラーステージです。 独立駆動の2ペアのピエゾアクチュエータにより、幅広い温度範囲に渡り、 ダイナミクスと位置の安定性を実現。 また、内蔵されている高分解能のフルブリッジ歪みゲージセンサ(SGS)が、 絶対位置制御、すぐれた再現性を可能にします。 【特長】 ■チップ／チルト角35mrad、光偏向角70mrad(～4°) ■歪みセンサによる高リニアリティ ■ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数 ■パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上 ■小型パッケージながら、大きな偏向角が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。