ピーアイ・ジャパンの製品ラインアップ

精密測定分野では、わずかな位置ずれや角度誤差が測定結果に大きく影響します。特に微細構造の評価や透過光を用いた計測では、ナノレベルの分解能と高い安定性、さらに十分な開口径が求められます。 P-518／P-528シリーズは、Z軸ストローク100µm／200µmとチップチルト制御を組み合わせた高精度ピエゾステージです。66mmの大開口設計により透過光計測にも対応し、高いリニアリティと再現性を実現。精密測定やアライメント工程における信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体検査・評価装置 ・フォトニクス／光学計測 ・顕微鏡・干渉計システム ・高精度アライメント用途 【導入の効果】 ・ナノレベルでの高精度Z・角度調整 ・66mm開口による透過光計測対応 ・高い直線性と安定性による測定信頼性向上

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顕微鏡走査では、試料や対物レンズのわずかな位置ずれや傾きが、画像の解像度やコントラストに大きく影響します。特に高倍率観察や微細構造解析では、ナノメートルレベルのZ制御と角度補正、そして高い安定性が不可欠です。 P-518／P-528シリーズは、Z軸100µm／200µmストロークとチップチルト制御を組み合わせた高精度ピエゾステージです。66mmの大開口設計により透過観察にも対応。高いリニアリティと再現性により、ブレや歪みを抑えた高品質な画像取得を実現し、顕微鏡システムの性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・共焦点顕微鏡 ・蛍光顕微鏡 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM） ・細胞・ライブセル観察 ・材料／微細構造解析 【導入の効果】 ・ナノレベルの高精度Z走査 ・チップチルト補正による像の安定化 ・透過観察に対応する66mm開口 ・高分解能画像取得と再現性向上 ・研究開発効率の向上

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光学系の調整において、光軸のわずかなズレは分解能や測定精度に大きく影響します。特に干渉計や高分解能顕微鏡、精密アライメント用途では、ナノレベルでのZ制御とチップ・チルト調整が不可欠です。 P-518／P-528シリーズは、Z軸100µm／200µmストロークとチップチルト1mrad／2mradの高精度制御を実現。66mmの大開口設計により、透過光アプリケーションにも最適です。高剛性フレクシャガイド構造により安定した再現性を確保し、光学調整作業の精度向上と効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・顕微鏡の対物レンズ・サンプル調整 ・光ファイバーアライメント ・干渉計・波面計測システム ・半導体検査装置 【導入の効果】 ・ナノレベルのZ・角度調整 ・透過光光学系への柔軟な対応 ・安定した光軸維持による測定精度向上 ・調整時間短縮による作業効率改善

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P-5x8シリーズは、チップチルト付きピエゾナノステージ P-518.TCD とロングストローク版 P-528.TCD/ZCD を同一プラットフォームで展開します。 高信頼性PICMAピエゾセラミックス、フレクシャーガイド、パラレルキネマティクスと静電容量式センサで システム分解能 0.8 nm、リニアリティエラ― 0.03 %を実現。 66 × 66 mm の大開口が干渉計測や透過光アプリに適し、耐荷重50Nをもち、半導体検査・フォトニクス、顕微鏡、高精度アライメントに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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P-752は、最大35 µmのストロークと最大0.1 nm分解能を備えた高精度ピエゾナノポジショニングステージです。フレクシャガイド構造と高分解能キャパシティブセンサ（クローズドループ仕様）により、ヒステリシスの影響を抑えた高い再現性と安定性を実現します。 細胞レベルの観察や微細サンプルの操作など、ナノメートル精度が求められるバイオテクノロジー分野において、信頼性の高い位置決め性能を提供します。 【活用シーン】 ・蛍光顕微鏡・共焦点顕微鏡での精密フォーカシング ・細胞・オルガノイドのナノスケール位置制御 ・マイクロマニピュレーション ・バイオセンサー評価・ナノレベルアライメント 【導入の効果】 ・最大0.1 nm分解能による高精度位置決め ・クローズドループ制御による高い再現性と安定性 ・コンパクト設計による顕微鏡・分析装置への組込み適合性 ・高速応答による測定効率の向上

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• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

計測・評価分野における校正および微小位置決めでは、ナノメートルレベルの分解能と高い位置再現性が求められます。 P-752は、最大35 µmのストロークと最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾフレクシャステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作と高い真直度を実現します。 これにより、精密測定機器の校正や評価工程において、安定した微小位置決めをサポートします。 【活用シーン】 ・精密測定機器の校正・性能評価 ・光学系のアライメントおよび位置補正 ・センサー評価・材料試験における微小変位制御 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・安定した微小変位制御による測定精度の安定化

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• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

ナノテクノロジー分野における構造作製や評価では、ナノメートルレベルの位置決め分解能と高い再現性が求められます。P-752は、最大35 µmのストロークと最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾフレクシャステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作と高い真直度を実現します。ナノスケールでの位置決め制御が求められる研究開発用途において、安定した微小変位制御を提供します。 【活用シーン】 ・ナノ構造作製における微小位置決め ・走査型プローブ顕微鏡（SPM）のサンプル／プローブ位置制御 ・微細加工プロセスにおける精密アライメント ・ナノ材料評価・表面解析 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・微小変位制御の安定化

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• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

P-752は、2電極型の静電容量式センサを内蔵したフレクシャガイド構造により、摩擦ゼロで、優れた真直度（Pitch, yaw error ±１μrad）をもち、Openloop分解能は0.1nmという優れた1軸ナノポジショニングステージです。 また内蔵の静電容量センサーは、実可動部分を非接触でサブナノレベルで実測するため、より高いリニアリティとヒステリシス補正し、長期安定性を実現させます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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• ソレノイド・アクチュエータ

P-611 シリーズはサイズが44mmの小型ナノポジショナステージです。 ・XY、XZ軸　各 120 µmの動作量 ・Openloop分解能：0.2nm ・ひずみゲージフィードバックセンサーも対応（分解能2nm） ・耐荷重15N ・Z軸のみ（P-611.Zx）、XYZ軸（P-611.3x）のモデルも用意 用途：干渉計測、顕微鏡、ナノポジショニング、バイオテクノロジー、マニピュレータ、フォトニクス、ファイバーポジショニング、半導体技術。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• 圧電デバイス
• アクチュエーター
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S-330ピエゾチップ／チルトプラットフォームは高速でコンパクトな チップ／チルトユニットであり、2つの直交軸を中心とした トッププラットフォームの角度の動きを正確に実現します。 【特徴】 ○分解能～20nrad、優れた位置安定性 ○光ビームの偏向～20mrad（＞1°） ○パラレル制御設計によるダイナミクス、安定性、およびリニアリティの向上 ○同一平面回転軸と固定ピボットポイントが分極回転を回避 ○サブミリセカンドの応答 ○直径最大50mmのミラー用 ○リニアリティ向上のためのクローズドループバージョン ○優れた温度安定性 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• レーザ部品

P-734はパラレルキネマティクス構造によるXY軸ナノポジショニングステージです。 高精度フレクシャーガイドと静電容量式センサにより、0.3 nmシステム分解能と0.03 %リニアリティを実現。 動作量は100 µm×100 µmで、耐荷重は20N。 56 mm×56 mmの大開口により、光学顕微鏡などにも最適。 半導体マスク位置決め、走査型顕微鏡、表面粗さ計測など“平面度×高速”が求められる装置に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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• 圧電デバイス
• エンコーダー

P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• エンコーダー

N-111は、PI独自のNEXLINEウォーキング技術を採用した組込み向けナノ位置決めアクチュエータです。 ・動作量：10 mm ・推力：50 N ・保持力：70 N（パッシブ無通電ロック） ・システム分解能：5nm　インクリメンタルリニアスケール ・オープンループ分解能：0.025nm ・速度：最大 1 mm/s（モードによる） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• アクチュエーター
• リニアモータ
• 圧電デバイス

フォトニクス分野では、光学素子や光ファイバーの位置決めにおいて、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたコンパクトなリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。光学アライメントや微小位置補正用途において、安定したナノポジショニングを提供します。 【活用シーン】 ・光ファイバーアライメント ・光ファイバーアライメント ・光学素子の微調整・位置補正 ・レーザービーム経路の精密位置決め ・フォトニックデバイス評価 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

精密測定分野では、校正や微小位置補正において、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。測定器の校正工程や微小変位制御用途において、安定したナノポジショニングを提供します。 【活用シーン】 ・精密測定機器の校正 ・センサー評価における微小位置調整 ・変位・位置計測系の基準移動 ・光学式測定システムの微調整 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・微小変位制御の安定化 ・コンパクト設計による装置組込み適性

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• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

バイオテクノロジー分野における細胞観察やマイクロマニピュレーションでは、微小変位を安定して制御できる位置決めステージが求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたコンパクトなリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。顕微鏡システムへの組込みや、微小サンプルの位置調整用途において、ナノメートルレベルの位置決めをサポートします。 【活用シーン】 ・顕微鏡下でのサンプル微調整 ・細胞観察時のフォーカス・位置補正 ・マイクロマニピュレーション用途 ・バイオサンプルの精密位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性

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ナノテクノロジー分野では、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性を備えた位置決め機構が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。ナノスケールでのサンプル位置調整や微小変位制御を必要とする研究開発用途に適しています。 【活用シーン】 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM）の位置制御 ・ナノリソグラフィーにおける微小位置調整 ・微細加工プロセスの精密アライメント ・ナノ材料評価・表面解析 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性 ・安定した微小変位制御

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

顕微鏡用途では、試料や光学系をナノメートルレベルで安定して位置決めできるステージが求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。顕微鏡システムにおける試料の微小走査や位置補正用途に適しています。 【活用シーン】 ・顕微鏡による試料の微小走査 ・フォーカス位置の微調整 ・高分解能観察時の位置補正 マイクロ・ナノスケールでの位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性 ・安定した微小変位制御

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

光学系の調整では、光軸や光学素子の位置を微小量で安定して制御できることが求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。顕微鏡、レーザー光学系、干渉計などにおける微小位置補正やアライメント用途に適しています。 【活用シーン】 ・光学顕微鏡の対物レンズ位置調整 ・レーザービームの微調整 ・光ファイバーアライメント ・分光器のスリット位置調整 ・干渉計のミラー位置補正 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性 ・微小位置補正の安定化

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

P-753 は、15〜38 µmの移動量を0.1 nm分解能で制御する1軸ピエゾナノポジショニングステージです。 実可動部を実測する、2電極型静電容量センサーとフレクシャガイドによる摩擦ゼロ構造により、ナノメートル動作と、数 msecでの位置決めを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

顕微鏡を用いた研究分野では、高速かつ高精度なフォーカシングが観察結果の品質や取得データの再現性に大きく影響します。特に、共焦点顕微鏡や蛍光顕微鏡による3DイメージングやZスタック取得では、ナノメートル分解能での高速Z位置決めが求められます。P-737 PIFOC Zステージは、対物レンズを直接駆動するピエゾフレクシャー構造を採用し、高速応答かつ高精度なZ軸制御を実現します。コンパクト設計のため既存の顕微鏡システムにも統合しやすく、研究用途における高度なフォーカシング要求に対応します。 【活用シーン】 ・共焦点顕微鏡による3Dイメージング ・蛍光顕微鏡のZスタック取得 ・ライブセルイメージング ・ナノスケール構造の観察 【導入の効果】 ・高速Zスキャンによる測定時間短縮 ・ナノメートル分解能の高精度フォーカシング ・再現性の高いイメージング ・顕微鏡システムへの容易な統合

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

ライフサイエンスおよびバイオテクノロジー分野において、顕微鏡観察時の安定したフォーカシングは、取得データの再現性や解析精度に大きく影響します。特にライブセルイメージングや3D観察では、高速かつ高分解能なZ方向制御が求められます。 P-737 PIFOC Zステージは、対物レンズを直接駆動するピエゾフレクシャー機構を採用し、ナノメートル分解能での高速Z位置決めを実現します。型式により十分なストロークを確保でき、Zスタック取得や長時間観察にも対応可能です。コンパクト設計のため、既存の顕微鏡システムへの組込みも容易です。 【活用シーン】 ・ライブセルイメージング ・共焦点顕微鏡による3D観察 ・細胞培養・組織観察 【導入の効果】 ・高速Zスキャンによる測定時間の短縮 ・ナノメートル分解能による精密フォーカシング ・再現性の高いイメージング ・顕微鏡システムへの容易な統合

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

PIFOC(R) P-737高速垂直位置決めシステムは、 顕微鏡検査のためのXYステージで使用するように設計されています。 【特徴】 ○高さ方向の高速ピエゾ動作：ストローク～250μm 　（500μmまでカスタマイズ可能） ○ナノメートル分解能 ○大きなセンター開口部によって標本押さえに対応 ○手動またはモーター駆動のXY OEMステージに機械的に適合 ○ミリセカンドレンジの応答時間 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

Z軸の動作で、ひずみゲージを搭載するモデルは、ヒステリシスとドリフトを高精度に補正します。 Closed Loopタイプは、2nm分解能で、0.1％のリニアリティを実現。 摩耗ゼロのフレクシャガイドは、摩擦、摩耗、バックラッシュがなくナノレベルで動作します。 また、Ｘ軸、ＸＹ軸、ＸＺ軸、ＸＹＺ軸バージョンのステージもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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PICA(TM) Thruアクチュエータは、ピエゾ空洞積層型アクチュエータです。 センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備えています。 【特徴】 ○透過光アプリケーションまたは機械的与圧に適したセンター開口部 ○10-9サイクルを超えても高信頼性を維持 ○最大断面直径：56mm ○多様な形状を用意 ○サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能 ○真空および非磁性対応バージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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P-235は、1000V駆動の高電圧型ピエゾアクチュエータで、オプションで真空対応、防水対応も可能です。 ストロークは、15µm～最大180µmタイプで、30,000NのPush力と3,500NのPull力を持ち、内部に歪みゲージセンサー内蔵し、クローズドループ制御にでナノレベル位置決めを可能にします。 用途例は、アクティブ振動吸収、アダプティブメカニクス、光学・計測技術・干渉計、スイッチ、レーザーチューニングなど ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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P-216は、1000V駆動の高電圧型ピエゾアクチュエータで、オプションで真空対応も可能です。 ストロークは、15µm～最大180µmタイプで、4500NのPush力と500NのPull力を持ち、内部に歪みゲージセンサー内蔵し、クローズドループ制御にでナノレベル位置決めを可能にします。 用途例 ・アクティブ振動吸収 ・アダプティブメカニクス ・光学・計測技術・干渉計 ・スイッチ ・レーザーチューニングなど ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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製造業の分野では、高荷重・高精度・高速応答が求められます。最大90 µmのストロークとサブナノメートル分解能により、微細位置決めや高精度制御が必要な工程で安定した動作を実現します。また、PICMAピエゾ素子を採用することで、長寿命かつ信頼性の高い性能を提供します。これにより、製品品質の向上やプロセスの効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造工程での精密位置決め ・光ファイバやレーザー光学系の高精度アライメント ・MEMS・微細デバイス製造での微小動作制御 ・高精度組み立て・検査装置の駆動部 【導入の効果】 ・サブナノメートル精度による高精度位置決め ・高荷重対応（最大押力3000 N / 引張力700 N）による頑健な動作 ・マイクロ秒応答による高速制御 ・長寿命で信頼性の高い駆動特性

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光学システムにおけるレンズ位置の精密調整は、性能を左右する重要な要素です。特に高精度な位置決めが求められる用途では、わずかなズレが画像品質や測定精度に大きな影響を与える可能性があります。PICMA技術を採用したサブナノメートルクラスの分解能と高い力性能を備え、高速応答（µsオーダー）と高い信頼性により、レンズなどの精密位置制御を実現します。 【活用シーン】 ・顕微鏡用精密位置調整 ・光学測定装置のアラインメント ・レーザー光学系チューニング ・光通信・フォトニクス機器の微小位置決め（ナノポジショニング全般） 【導入の効果】 ・光学性能の向上：微小位置調整による最適焦点・高解像度化 ・高速・高精度位置決め：サブナノ調整とµs応答でプロセス改善 ・信頼性向上：PICMA技術による長寿命化と安定稼働 ・幅広い用途対応：微細調整から高荷重ポジショニングまで対応

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PICMA(R)多層スタックをプリロード付金属ケースに入れたP-844/P-845は、最大90 µmストロークをサブナノメートルで動作し、最大3000 Nの押力と700 Nの引力を可能にする高荷重ピエゾアクチュエータです。 P-845タイプは、歪みゲージセンサー（SGS）を内蔵し、ピエゾの動きを直接計測しフィードバックするため、ヒステリシスやドリフトを最小化にします。P-844はセンサーなしタイプ。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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半導体製造業界では、ウェーハやマスクの位置決めなど、極めて高い精度が求められます。微細加工技術の進歩に伴い、位置決めの精度は製品の品質を左右する重要な要素となっています。従来の技術では対応が難しい、サブナノレベルでの精密な位置決めが、歩留まり向上、製造プロセスの効率化に不可欠です。 【活用シーン】 ・ウェーハプロービング ・マスクアライメント ・半導体製造装置 【導入の効果】 ・サブナノメートルレベルの高精度な位置決め ・製造プロセスの効率化 ・歩留まりの向上

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精密測定業界では、測定器の正確な較正が求められます。特に、ナノレベルの精度が要求される場合、位置決めの微細なズレが測定結果に大きな影響を与える可能性があります。P-841は、サブナノメートルの分解能と最大90µmのストロークにより、高精度な位置決めを実現し、測定器の正確な較正を支援します。 【活用シーン】 ・精密測定器の較正 ・光学素子の位置調整 ・ナノテクノロジー研究 【導入の効果】 ・高精度な測定結果の実現 ・測定器の性能向上 ・研究開発の効率化

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• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

光学業界では、光ファイバーやレーザーなどの精密な調整が求められます。特に、微細な位置調整は、システムの性能を左右する重要な要素です。従来の調整方法では、調整に時間がかかったり、精度の限界がありました。P-841は、サブナノメートルの分解能とµs応答により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ファイバ・光学素子のアライメント ・レーザー波長チューニング 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによるシステム性能の向上 ・調整時間の短縮 ・実験の効率化

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ナノテクノロジー分野では、微細な構造の操作や位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に、原子レベルでの操作や、微小な距離の移動が必要となる場合、従来の技術では対応が難しいことがあります。P-841は、サブナノメートルの分解能と最大90 µmのストロークを提供し、これらの課題に対応します。これにより、ナノテクノロジー研究における実験の精度向上と効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・ファイバ・光学素子のアライメント ・レーザー波長チューニング ・ナノテク試験治具 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる実験の再現性向上 ・微細構造の正確な操作 ・実験時間の短縮 ・従来のポリマー絶縁アクチュエータと比較して最大10倍の寿命

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P-841はPICMA(R)積層スタックをプリロード付金属ケースに入れたピエゾアクチュエータです。 最大90 µmの変位をナノレベルで動作し、押力1000 N／引力50 Nを発揮。 変位レンジは15〜90 µmまでバリエーションを用意。 内部ピエゾのセラミック絶縁技術がリーク電流と水分侵入を抑え、長期連続駆動でも性能を維持します。 歪みゲージ位置センサ（SGS）付きのため、ヒステリシス、ドリフトを高精度に補正します。 ファイバ・光学素子のアライメント、レーザー波長チューニング、ナノテク試験治具など高剛性と高応答が求められる用途で威力を発揮します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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