ノダRFテクノロジーズの製品・サービス一覧

地上デジタル放送や携帯電話などに使用されておりますが、プラズマ用途では 　未知の領域で、大注目の周波数です。 ※上記以外でも様々な、周波数及び出力に対応しております。 一例　NR1N915M-01 出力周波数 915MHz±0.05% 定格出力 1000W 最大入力電源 ３KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10%　3Φ 出力安定度 設定出力の±2%以内 冷却方式 水冷方式(3l/min)密閉構造 RF 出力コネクタ EIA7/8

• その他電源

13.56MHzは、産業、科学、医療の目的に使われるべく、確保された周波数帯です。 現在最も使用されている周波数帯域で、Suica等も13.56MHzが使われています。 　※上記以外でも様々な、周波数及び出力に対応しております。 一例　NR5N-ＸＸ 出力周波数 13.56MHz±0.05％ 定格出力 5000W 最大入力電源 9KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10%　 3Φ 出力安定度 設定出力の±2%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 （7l/min）30℃以下 RF 出力コネクタ HN型

• その他電源

一例　NL5N400K-ＸＸ 出力周波数 400KHz±0.05％ 定格出力 5000W 最大入力電源 15KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V±10%　 3Φ 出力安定度 設定出力の±2%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 （8l/min）30℃以下 RF 出力コネクタ HN型

• その他電源

一例　NL15N100K-XX 出力周波数 100kHz±0.01％ 定格出力 15kW 最大入力電源 40KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力電源 入力AC200V 3Φ 出力安定度 設定出力の±1%以内 冷却方式 水冷空冷併用方式 （22l/min）30℃以下>

• その他電源

特徴 マッチングボックスが不要でコンパクト設計、低コスト化を実現 電子制御で稼働部がなく、メンテナンスフリー 超高速マッチングを実現 ■ NR1S13M-01 出力電力範囲 0～1200W(内部キャリブレーション機能使用時) 最大定格1000W 定格最大出力 1000W(50Ω負荷)連続 出力方法 連続出力 出力インピーダンス 50±2Ω RF出力コネクタ HN-R 出力調整範囲 0～1200W連続可変(設定は1W刻み) 定格出力電力1000W 出力周波数 13.56MHｚ 周波数安定度 ±0.01%(10～40℃)水晶発振 周波数可変範囲 13.2MHｚ～15.0MHｚ(Fマッチ動作時に限る) 冷却方式 強制空冷　背面吹出し 外形寸法 W430×D640×H174 重量 約29kg

• その他電源

型式 NM1A-XX 周波数 13.56MHz 通過電力 1kW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動切り替え 入力コネクタ HNコネクタ 出 力 ブスバー 冷 却 水冷/空冷併用 整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内 外部アナログI/O 0～10.0V 外部シリアル通信 RS232C/422/Device Net 電 源 AC84V～220V/DC24V（80VA)

• その他電源

型式 NM1A13-54M-XX 周波数 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz 54.24MHz 通過電力 1kW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動切り替え 入力コネクタ HNコネクタ 出 力 ブスバー 冷 却 水冷/空冷併用 整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内 外部アナログI/O 0～10.0V 外部シリアル通信 RS232C/422/Device Net 電 源 AC84V～220V/DC24V（80VA)

• その他電源

型式 NM3AD-XX 周波数 13.56MHz 通過電力 3KW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動切り替え 入力コネクタ HNコネクタ 出 力 ブスバー 冷 却 水冷/空冷併用 整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内 外部アナログI/O 0～10.0V 外部シリアル通信 RS232C/422/Device Net 電 源 AC84V～220V/DC24V（80VA)

• その他電源

周波数　13.56MHz～27.12MHzの任意の周波数 冷却方式 強制冷却 外形寸法 参考外形　W140×D155×H110mm

• その他電源

出力　5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版) 周波数　13.56MHz～27.12MHz 周波数 13.56MHｚ～27.12MHｚの任意の周波数 定格出力 5W～100W 入力 AC100V 1Φ　もしくはDC入力 冷却方式 強制冷却 外形寸法 参考外形　W140×D180×H110mm

• その他電源

仕様 NXE-18 入出力接続コネクタ HN-R 最大使用電力 1kV 真空リレー 最大 30A(連続)／15kVdc×2 個使用 耐圧試験 DC1000V メガーテスト実施 ステータス接点定格 DC24V 3A 以下／AC220V 3A 以下 温度異常接点定格 温度異常接点定格 DC／AC110V 0.3A 以下 (55℃以上で接点オープン)

• その他電源

1 つの基準位相信号に対し2 台のRF 電源、整合器の負荷電圧位相を制御するもので、各々位相をオープンループ（フィードフォワード制御）、クローズドループ（フィードバック制御）に選択して制御することが可能です。 ・オープンループ（フィードフォワード制御） 位相をRF電源側で測定しコントロールするものです。 一般的な位相シフターは、この方式を取っています。 ・クローズドループ（フィードバック制御） 位相をよりプラズマに近い箇所すなわち整合器出力端で測定しフィードバックするものです。 従来方式と比較し、より正確な位相のコントロールが可能です。 仕様 NXE－03B－2P ＡＣ入力 85～240V 50/60Hz 50VA 基準周波数 13.56MHｚ±0.005％ 位相制御範囲 0～359° 位相測定精度 ±5°全位相範囲にて 入力ダイナミックレンジ 最小入力レベル3dＢm 最大入力レベル23dＢm

• その他電源

【仕様】 ※NRFの高周波電源は、パルス機能を内蔵することも可能です。 周波数設定精度 AC85～264V 50／60Hz １φ 消費電力 20VA パルス立上り、立下り時間 100nsec 以下 周波数設定精度 ±5% 出力 TTL レベル（２出力 +１出力）３PORT ※+１出力は２出力に対して論理反転 内部操作 フロントパネルキースイッチによる 外部操作 RS232C シリアル通信による

• その他電源

・2周波電源 13.56MHz/27.12MHz 500W 1kW 2kW 5kW 27.12MHz/60MHz 3kW 2MHz/4MHz 1kW 2kW 400kHz/800kHz 500W ・3周波電源 27.12MHｚ/40.68MHz/54.24MHｚ 5kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 500W　3kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 20W ・4周波電源 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/54.24M 1kW

• その他電源

※周波数及び出力の組合せに関しましては、別途御相談下さい。 例) 広帯域電源 10MHz～100MHｚ 250Ｗ 60MHz～180MHz 300W 20MHｚ～70MHｚ 500Ｗ 13MHz～54MHz 600W 150KHz～15MHz 1kW 一例　型式 ：NM06M13M-54M-01　（広帯域ＲＦ電源）

• その他電源

独自の機構により、高周波電源の内部に整合器を内蔵した高周波電源を開発致しました。 従来の製品と比較し出力を500W→750Wにアップさせましたが、サイズはフルラックからハーフラックに収まるサイズにし、徹底したコンパクト化を図りました。

• その他電源

【13.56MHｚ　1ｋW/3kW/5kW（パルス）】 NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR1NP】【NR3NP】【NR5NP】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプにより、飛躍的に耐久性をUPさせました。 高効率アンプの弱点は、構造上、反射電力に弱いことでしたが、、NRFの高効率RF電源は、出力3kWに対して、実に600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます。 また、各種保護回路を設けており、NRFが自信をもってお勧めできる1台です。 ＝特長＝ ■コンパクト設計 ■高耐反射 ■高電力マージン ■ハンディーコンによる操作 ■安全設計 ■各種保護回路 ■高効率 カタログでは、特長の詳細情報や型式別の仕様がご覧頂けます。 　↓↓↓　詳しくはカタログをダウンロードして頂き、お気軽にお問い合わせください。　↓↓↓

• CVD装置

NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプにより、飛躍的に耐久性をUPさせました。 高効率アンプの弱点は、構造上、反射電力に弱いことでしたが、、NRFの高効率RF電源は、出力3kWに対して、実に600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます。 また、各種保護回路を設けており、NRFが自信をもってお勧めできる1台です。

• CVD装置

ＬＦ〜ＵＨＦ帯に至るまで幅広いラインナップと広帯域、パルス印加、重畳などの 一味違った付加価値製品を基にユーザーの声に応えてきたＲＦテクノロジーズ社が 取り扱う『デジタルマッチャー』のご案内です。 ---特徴--- *整合速度　プリセットから1sec以下→プリセットから0.5sec以下 *反射　1％以下→ほぼ0Ｗ *パワー依存性　0Ｗ付近では依存→パワー依存のない方式に *コントローラ　ハーフラックサイズ→ハンディータイプ（不付でも動作可） *プリセット　設定ボリューム（1点）→数値入力（複数点数記憶可能） *Ｏバランス　調整ボリューム→数値入力 *モータースピード　基板上ボリューム→数値入力 *初期化　記憶機能無し→いつでも初期値に *詳細は、お問い合わせ下さい。

• その他プロセス制御
• その他FA機器

空冷式の電源でありながら軽量コンパクトな設計（ハーフラックサイズ）を実現！ プラズマ用高周波電源（ＮＲ０３Ｎ−０１） ■□■特徴■□■ ■定格出力　NR03N-01：300W　NR05N-01：500W ■周波数　13.56MHz ■出力インピーダンス　50〜52Ω ■電源電圧　200V 3相 50/60Hz ■スプリアス　-40dB 以下 ■冷却方式　強制空冷 ■詳細は、お問い合わせ下さい。

• 電源