半導体製造装置の製品一覧

小型化により、現場での取り回しやすい環境づくりに寄与

• その他実装機械

アイソレーターをお持ちの方へ。高い薬品耐性と作業性を実現。低価格、短納期も実現可能なグローブボックス・アイソレーター用グローブ

• 作業用手袋

真空管での安定放電を実現

• プラズマ発生装置
• イオン注入装置
• 電源

熟練したリターン技術による、安定放電が可能な直流(充電）電源です。

• その他電源
• その他プロセス制御
• CVD装置

安定放電が可能な真空管を利用したパルス電源です。

• プラズマ発生装置
• イオン注入装置
• 電源

安定したパルス放電を実現

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• 電源

コインセルや円筒形セルなどの小型サイズ電池試験用充放電装置です

• 2次電池・バッテリー
• コーター

エッチング液は全て、ノウハウによる社内ブレンド！

• 加工受託
• エッチング装置

長年の積み重ねた切削加工技術のプロ集団です！

• その他切削工具
• ウエハ加工/研磨装置
• 加工受託

1000mm*1000mm*1000hの真空チャンハ゛ーです。材質SUS304 使用環境:真空　

• CVD装置

研削加工、切削加工、マシニング加工など、各種加工に対応しております。

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置
• マシニングセンタ

様々な部品の多品種・少量研磨に好適！用途に合わせてドラムと本機の組合せが可能

• ウエハ加工/研磨装置

経済性に優れた安全・簡便のTMバレル研磨機の他、多数の研磨機を掲載！

• ウエハ加工/研磨装置

研磨のプロ集団！1μmで同軸・同心・平行度出せます

• ウエハ加工/研磨装置
• 加工受託

ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を実現！成膜はプラズマCDV法、スパッタリング等のマルチプロセスも可能

• コーター

耐熱性が低い基板でもダメージなく、表面部だけを乾燥、焼成する光焼成装置！

• 乾燥機器
• その他表面処理装置
• アニール炉

お客様のパートナーとなり、様々な問題を解決、コスト削減を実現します。

• 携帯電話・PDA用組込みアプリ
• その他半導体製造装置

中サイズ(550mm以下)ワークに最適な中型ディップコーター

• コーター
• その他表面処理装置
• 加工受託

4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)

• コーター
• プリント基板
• その他表面処理装置

ディスク等の媒体材へのコーティングに最適

• 表面処理受託サービス
• コーター
• ファインセラミックス

小サイズ(300mm以下)ワークに最適な小型卓上型ディップコーター

• コーター
• その他表面処理装置
• その他塗装機械

試作品から量産品に至るまで、汎用旋盤およびNC自動機、マシニングセンターを併用することで切削成形品の加工を請け負っております。

• その他半導体製造装置
• 加工受託
• 製造受託

グレードによっては、プライマーとトップコートの間にミドルコートがあります。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、フッ素樹脂コーティング、フッ素樹脂ライニングを主軸に、さまざまな表面処理加工を専門に行っております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂の種類3　FEP (4フッ化エチレン6フッ化プロピレン共重合体)

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティング

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティングは、何度でも再コーティングが可能です。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

当社施工実績の一部をご紹介。フッ素コーティング施工事例2　各種工業製品

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

当社施工実績の一部をご紹介。フッ素コーティング施工事例1　食品製造製品

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティング以外で、すべての用途を満たすことができるでしょうか？

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、8A～25A等の細い配管内面に、フッ素樹脂コーティング及びフッ素樹脂ライニングが可能です。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

パイプが細い分、短時間で接着剤が詰まったり、短時間で腐食したりするのは解決できます！

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

ポリウレタンコーティングの施工基準

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂ライニングとは・・・・厚い膜。塗膜を重ねるなど。弊社では、400μ以上を、フッ素樹脂ライニングとしております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂の種類2　PFA (4フッ化エチレンパーフロロプロピルビニルエーテル)

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、フッ素樹脂コーティング、フッ素樹脂ライニングを主軸に、さまざまな表面処理加工を専門に行っております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

• ウエハー
• エッチング装置
• 工業炉

B層は基板との密着性が高く、デザインによっては更に密着性を増すことも可能

• フォトマスク
• 加工受託

米国産業機械用電気規格（NFPA79）日本語翻訳版発売中！サンプル版を無料ダウンロード！

• 技術書・参考書
• その他電子部品
• その他半導体製造装置

まだ見ぬ革新を、技術力でカタチにする。広がり続ける、技術提供の領域

• その他工作機械
• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置

FPC・スルーホール基板・フィルム・通気性不織布を傷を付けずに掴んで搬送する

• その他搬送機械
• その他半導体製造装置
• その他包装機械

省力化装置のことなら、当社におまかせ

• その他半導体製造装置
• その他半導体
• 製造受託

リチウムイオン　電解液　注液実験機　大型電池用

• その他加工機械
• その他理化学機器
• その他半導体製造装置

精密貼り合せ装置（半自動）

• その他加工機械
• その他理化学機器
• その他半導体製造装置

金属素材から、高速・精密金属板金加工完成品までお任せください！【ＨＰで工場案内ＶＲツアー開催中】

• 加工受託
• 加工治具
• ウエハ加工/研磨装置

５０μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット

• その他半導体製造装置
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• その他組立機械

半世紀にわたり各産業のいろいろな分野で利用して頂いております

• ウエハ加工/研磨装置

膜厚均一、自動車ボディカラーなど実績多数の成膜コーター

• コーター

柔軟性のある素材でできた軟らかいバフを高速回転させながら表面を磨きます。

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置
• その他表面処理装置

レジストの溶解量が多い(液寿命の増加)！ネオ現像液

• レジスト装置

スナイパーノズルは整流加工液を勢いよく加工点に送り込む高性能。新製品『レクチ』はワンタッチ取り付けができる省スペース設計

• ウエハ加工/研磨装置
• その他工作機械

10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能！カスタマイズ可能

• その他半導体製造装置

燃料電池の電極など実績多数の成膜コーター

• コーター

銅膜形成、レジスト、埋め込み、平坦化など実績多数の成膜コーター

• コーター

有機ELの高分子膜など実績多数の成膜コーター

• コーター