半導体製造装置の製品一覧

大阪空気機械製T型トラップの代替品・油回転・水封式真空ポンプの保護装置

• 真空ポンプ

《数千個/月の量産OK》ロボットで塗装を行うので再現性と安定した品質を実現！コストダウンのご提案も可能。

• アルミニウム

ガス配管コンポーネント保護用ガスケット付きメタルフィルター

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

高濾過精度

• CVD装置
• ステッパー
• ガスフィルタ

濾過精度

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• ガスフィルタ

業界トップレベルの耐ノイズ性能を誇ります。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

優れた温度特性を有する高精度センサー

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

コンパクトな構造・高精度にして低価格

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 丸型コネクタ

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

±0.25%の高精度圧力センサー

• 半導体検査/試験装置
• 丸型コネクタ

腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６０１シリーズ

• 半導体検査/試験装置
• 丸型コネクタ

腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６００シリーズ

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

接液部にテフロンを使用

• 半導体検査/試験装置
• その他
• 丸型コネクタ

優れた温度特性を有する表示器付高精度圧力センサー

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

歩留まりを大幅に向上

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

幅広い濾過精度に対応

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

全ての材質にハステロイを使用

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

高清浄度活性炭を内蔵

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

２００℃の高温でガスフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒーターです。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致しました。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

ご使用方法に合わせてコネクター種類をご選択いただけます。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• ケーブル

取付時間の短縮によるコスト低減につながります。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

小型・軽量でありながら３-３/４桁(３９９９)の表示ができ、上下限２接点の比較出力を標準装備しております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

視覚性の高い高輝度大型ＬＥＤを装備し、文字高 約２０ｍｍで表示致します。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

操作性の柔軟なジョグレバーによる設定が行えます。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

小型のＤＩＮサイズ［４８ｍｍ(Ｗ)×２４ｍｍ(Ｈ)×６６ｍｍ(Ｄ)］で、デジタルスケーリングが前面で操作可能です。

• CVD装置
• リレー
• 表示器

流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

安定した濾過性能

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

フォトファブリケーションを駆使！ファインパターンが形成可能！

• フォトマスク
• ミラー
• その他受託サービス

『想像から創造へ』オプトエレクトロニクス業界の技術開発に取組んでいます

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置

剥がす！洗う！乾燥する！がこれ1台！

• その他半導体製造装置

マニュアルテープマウンター　ウェハマウンターとウェハラミネーターを兼ねたテープ貼り機です。

• マウンター
• その他半導体製造装置

パット面の高平坦化を実現！

• ウエハ加工/研磨装置
• 砥石
• その他工作機械

PowerCIM SECS通信支援ツール

• テスタ
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

ＦＰＤのセルパネル欠陥に対し、ＩＴＯパターンをカットして修正可能。

• 電子ビーム描画装置
• レーザーマーカー
• その他加工機械

干渉対物レンズ

• 半導体検査/試験装置
• その他画像関連機器
• レンズ

ディスプレイ基板の検査に最適。マイクロスコープの搭載の検査装置。

• 半導体検査/試験装置
• 外観検査装置

最新ロボットを駆使したブラストで、作業効率は大きく変わる！

• その他工作機械
• ウエハ加工/研磨装置

多彩な機能をオールインワン！作業性抜群、強力パワーが魅力。

• その他工作機械
• ウエハ加工/研磨装置

手動及び自動シャッターは、純度の高いタンタルで製作！

• 蒸着装置

今までの露光装置とは生産性が違います！

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

今までの露光装置とは　ごみ対策が違います！

• 基板加工機
• その他半導体製造装置

クリーンルーム内で使用可能なクリーンペーパー(無塵紙)

• その他半導体製造装置
• その他機械要素
• 特殊ラベルなど

岩通計測機社製　IGBTやMOSFET・トランジスタ・ダイオードなど各種半導体の特性測定に最適な半導体カーブトレーサ！

• その他計測・記録・測定器
• 環境試験装置
• その他半導体製造装置

薬液供給ユニット

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置

薬液供給　調合ユニット

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置

改善成功事例　事例2　金属蒸着セル　KMDW-Cell

• 蒸着装置

スパッタリング装置

• スパッタリング装置
• 試験機器・装置
• その他実験器具・容器

TFTのインラインリペア装置です。

• その他半導体製造装置

ガラス、ITO越しのパターン修正に最適！

• その他半導体製造装置

全自動リペアにも対応！

• その他半導体製造装置

繰り返し精度＝20nm!!!

• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置

LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です！

• その他半導体製造装置
• ウエハ加工/研磨装置

各工程インテグレードで効率生産！！！

• その他半導体製造装置
• ウエハ加工/研磨装置

アライメント精度＝±1μｍ以下！！！

• その他半導体製造装置
• ウエハ加工/研磨装置