CVD装置の製品一覧

大阪空気機械製T型トラップの代替品・油回転・水封式真空ポンプの保護装置

• 真空ポンプ

《数千個/月の量産OK》ロボットで塗装を行うので再現性と安定した品質を実現！コストダウンのご提案も可能。

• アルミニウム

液漏れを早期に発見し事故を最小限に防止！油、有機溶剤検知器にＲｏＨＳおよびＣＥ対応のＯＤ－７が加わりました。

• CVD装置

Agnitron社にて独自開発された、高性能、高スループット先端化合物半導体向けMOCVD装置を提供します。

• CVD装置

最新の制御機能とデータロギング機能を有する、WindowsベースのSCADAパッケージMOCVD装置制御ソフトウエアです。

• CVD装置

Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-situ温度モニターは高精度、高安定である温度モニターです。

• CVD装置

完全に再生(リファブ)され、アップグレードされたレガシーMOCVD装置を最良のサービス、サポートと共に提供します。

• CVD装置

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精度に測定するIn-situモニター。

• CVD装置

高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ、構造材。窒化物の単結晶成長からウェハプロセスまで対応。

• CVD装置

なぜ断熱材『シルサーム』を導入するのか？そのメリットを解説します。

• CVD装置
• 工業炉
• アニール炉

高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発

• CVD装置
• その他半導体製造装置

「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を保有しています！

• CVD装置

高い汎用性を備えたシンプルな構造！独自のプラズマ制御方式を採用しています

• CVD装置

広範な膜特性の制御可能！大幅なパーティクル低減および生産性を向上します

• CVD装置

プラズマ処理で撥水コーティング。低温処理で樹脂フィルムに対応。サンプルテストで開発サポート。コンパクトタイププラズマ表面処理装置

• プラズマ表面処理装置
• CVD装置

ガスを化学反応させることで緻密な薄膜を形成！低温加工も可能です。

• ウエハー
• CVD装置
• 加工受託

アルミ切削／アルミ加工／アルミ機械加工

• CVD装置
• スパッタリング装置
• コーター

砂型鋳造、金型鋳造、金型鋳造、ダイカスト鋳造、石膏鋳造など、あらゆる鋳物品加工を対応いたします。最大900×900×1000ｍｍ

• ステッパー
• 半導体検査/試験装置
• CVD装置

穴あきセラミック基板・ＦＰＣ基板を穴の位置に関係なく非接触にて移載可能。

• 基板加工機
• CVD装置
• その他半導体

旋盤加工／アルミ加工／精密部品加工

• CVD装置
• スパッタリング装置
• アニール炉

金属加工/大阪/ステンレス

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• エッチング装置

A5056加工品・単品・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• アッシング装置
• 半導体検査/試験装置

CNC旋盤加工・アルミ精密切削・半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• イオン注入装置

A5056／旋盤加工／アルミ加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

アルミ切削／A5052／旋盤加工／大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置

プラズマCVD装置

• CVD装置

これまでの加工実績をベースに行ったGaNのトレンチ加工をご紹介します

• CVD装置

GaNマイクロLEDメサ加工の結果、GaNマイクロLEDメサ加工中の発光分光データなどを掲載！

• CVD装置

プラズマCVD装置

• CVD装置

ブレードダイシングとプラズマダイシングの比較などを掲載しています

• CVD装置

シリコンのノンボッシュプロセスの新しいデータを掲載しています

• CVD装置

Aqua Plasmaの効果として、ESCAによる表面の深さ分析結果などを掲載しています

• CVD装置

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップしています！

• CVD装置
• その他

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップしています！

• CVD装置
• その他

・標準サイズの製品が多数・Easy installation 簡単設置 ・精密焼結拡散接合 （ 同時焼結 ） ・高い流量

• CVD装置

アルミ加工　アルマイト処理　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• 蒸着装置

ステンレス加工　フライス加工　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

横の許容は+0.2/0-0mm、厚さの許容は+/-0.05mm！電子グレードCVDについてご紹介します

• CVD装置
• その他

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップしています！

• CVD装置
• その他

側面粗さRaは、研磨済み、Ra＜5nm！光学グレード単結晶をご紹介します

• CVD装置
• その他

0.25mmと0.50mmの厚みをラインアップ！多結晶メカニカルのご紹介です

• CVD装置
• その他

1,000W/mKから2,000W/mK以上までの熱伝導率を設計！多結晶サーマルをご紹介します

• CVD装置
• その他

商業的使用に好適！非常に安定性があり、予測可能な特性と挙動を持っています

• CVD装置
• その他

横の許容範囲は+0.1/0-0mm！単結晶メカニカルをご紹介します

• CVD装置
• その他

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

• スパッタリング装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

真空チャンバーを製作いたします

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

アルミ五軸加工　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 加熱装置

大阪　切削量産　旋盤加工・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

アルミ精密部品　旋盤加工　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• 半導体検査/試験装置

アルミ精密加工　大阪　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

五面五軸加工　半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• エッチング装置

アルミ半導体装置部品加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

半導体製造装置の旋盤加工品　A5052　丸【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

半導体製造装置の精密部品　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

半導体製造装置　フライス加工　アルミ精密部品　 【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• その他半導体製造装置

高純度を要求される半導体製造工程でのイオン注入には多数のカーボンが使用されます。その高純度カーボンのご紹介です。

• ファインセラミックス
• イオン注入装置
• CVD装置

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposition）装置　 ナノスケールの粒子を成膜できます。

• リチウムイオン電池
• CVD装置
• その他表面処理装置

3種類の堆積装置をラインアップ！用途に合わせてお選びください

• CVD装置

50CCから60L容量までのALDやMOCVD用途、SUS製カスタマイズ容器

• CVD装置
• その他半導体製造装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置