その他半導体製造装置の製品一覧
- 分類：その他半導体製造装置
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用途はアイデア次第！ 重い物が 楽に 軽く 回せる 小型旋回ベアリング「楽っかる(らっかる)」！
- 金属軸受・ベアリング
モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8インチまでの対応も提供可能。
- その他半導体製造装置
- ウエハ加工/研磨装置
拡張ステージの駆動にエアシリンダーを採用。シンプル構成により、メンテナンスフリーを実現。
- その他半導体製造装置
- ウエハ加工/研磨装置
オペレータの作業を低減、生産効率を向上することができる、オートカット機能搭載のウェハー拡張装置
- その他半導体製造装置
- ウエハ加工/研磨装置
マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去
- その他洗浄機
- フォトマスク
- その他半導体製造装置
最大8インチまでのセミオート式テーブルトップタイプ・ウェハーマウンター
- ウエハ加工/研磨装置
- その他半導体製造装置
- マウンター
プリセットされた貼付け条件で気泡なしにオートラミネーション
- ウエハ加工/研磨装置
- その他半導体製造装置
- マウンター
プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置
- ウエハ加工/研磨装置
- その他半導体製造装置
- マウンター
研究開発を始め、セミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択が可能
- その他半導体製造装置
- ウエハ加工/研磨装置
- マウンター
ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を行なう事が可能
- その他半導体製造装置
- ウエハ加工/研磨装置
- 紫外線照射装置
簡易洗浄ユニットは、最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニットです。
- その他半導体製造装置
- フォトマスク
- その他洗浄機
スモールサイズからラージサイズまで、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実施！
- その他半導体製造装置
- フォトマスク
- その他洗浄機
【大手メーカーで全自動フォトマスク洗浄装置の導入が増加しています！】
"マスク洗浄といえばテクノビジョン" を合言葉にこれからも業界一、世界一を 目指して参ります。 台湾、中国、日本でLEDの生産が活発になり、それに伴いフォトマスク洗浄装置の受注が大手メーカーより相次いでいます。 テクノビジョンでは従来から培ってきたスクラブ洗浄術に加え、新たに薬液洗浄技術の開発に取り組んでまいりました。 ◆スクラブ洗浄：主にパーティクルの除去 ◆薬液洗浄：マスクに付着したレジストを除去 LED生産においては素子パターンのデザインルールL/Sが、サブミクロン領域には至っていないため、露光プロセスにはプロキシミティーまたはコンタクトアライナーが使用されます。 このため、マスク汚染に対してはレジスト除去とパーティクル除去機能をもった 洗浄装置が必要となります。 某大手LEDメーカーではマスク洗浄が月間5000枚以上に達し、有害薬液などの保護対策が必要とされています。 テクノビジョンの全自動マスク洗浄装置は、このような量産工場で対応できる、 安全かつ環境にやさしい唯一のコンパクト、スモールフットプリント洗浄装置です。 ◆詳しくはお問い合わせください。
LED光源で長寿命！ 波長 365nmの紫外線（UV）を照射
- 紫外線照射装置
- その他半導体製造装置
- ウエハ加工/研磨装置
SEMICON TAIWAN 2012（9/5~9/7） 出展決定
省電力・長寿命を実現した次世代技術のLED光源によるUV硬化装置の全自動タイプモデル（UVC-300A）が、弊社代理店様のご協力により、いよいよ海外展示会への初出展となります！ 国内での実績と反響にお応えするためにも、海外に向けた発信をしなければならないという意味で、2012年9月に開催されます“セミコン台湾2012”にて展示いたします。 出展期間中、実際に装置を稼働させますので、サンプルをご持参頂ければその場でテスト実施可能！ 弊社LED光源UV照射技術の実力をどうぞ会場でご確認下さい！
高圧水銀灯やメタルハライド光源と比較しても十分な硬化性能（硬化状態、硬化スピード）を発揮します
- その他半導体製造装置
- ウエハ加工/研磨装置
- 紫外線照射装置
SEMICON TAIWAN 2012（9/5~9/7） 出展決定
省電力・長寿命を実現した次世代技術のLED光源によるUV硬化装置の全自動タイプモデル（UVC-300A）が、弊社代理店様のご協力により、いよいよ海外展示会への初出展となります！ 国内での実績と反響にお応えするためにも、海外に向けた発信をしなければならないという意味で、2012年9月に開催されます“セミコン台湾2012”にて展示いたします。 出展期間中、実際に装置を稼働させますので、サンプルをご持参頂ければその場でテスト実施可能！ 弊社LED光源UV照射技術の実力をどうぞ会場でご確認下さい！
ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした洗浄装置。
- その他洗浄機
- ウエハ加工/研磨装置
- その他半導体製造装置