工業炉の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

センサ

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

その他半導体
加工受託
ウエハー

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サブゼロ処理・冷やしバメ用　金属冷却装置【クールマイスター】

日本酸素株式会社

【サブゼロ・冷やしバメ装置】手軽に金属表面硬度を向上！焼入れ後の寸法狂いを低減！低温焼戻しまで一気通貫対応可能！

その他機械要素
冷却装置
工業炉

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H₂還元雰囲気熱処理の炉選定｜安全対策・H₂濃度管理に対応

H₂濃度・希釈ガス・安全対策から炉仕様を整理

工業炉

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NH₃・窒化雰囲気焼成の炉選定｜窒化処理・発生ガス評価に対応

NH₃供給・発生ガス・窒化処理に適した炉構成を整理

工業炉

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加湿雰囲気での焼成評価｜水蒸気反応・熱分解挙動の確認に対応

Wetter・気化器による加湿焼成条件を整理

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研究開発用電気炉の選び方｜試作・条件探索・少量焼成に対応

試作・条件探索に必要な電気炉仕様をチェック

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材料開発の焼成条件探索｜小型炉で試作評価から設備設計まで対応

条件未確定の段階から、焼成テストと設備仕様化を支援

工業炉

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少量サンプルの焼成テスト｜研究開発・試作段階の条件探索に対応

研究開発・試作段階の焼成条件探索に対応

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焼成・熱処理・脱脂・還元の違い｜目的別に電気炉を選定

焼成・熱処理・脱脂・還元に適した電気炉を整理

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真空雰囲気焼成の炉選定｜脱ガス・酸化抑制・高純度処理に対応

真空度・処理目的に応じて適した電気炉を選定

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設備導入前の焼成テスト｜条件探索・安全性・量産展開を確認

設備仕様を決める前に、少量サンプルで反応性を確認

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電気炉導入前チェックリスト｜仕様検討で確認すべき10項目

電気炉導入前に確認すべき条件を10項目で整理

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雰囲気炉の選び方｜炉種別比較表付き

最高温度だけで選んでいませんか？炉種選定の比較資料

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マルチ雰囲気炉｜液体原料を気化導入する熱CVDコーティング炉

気化器＋マルチ雰囲気炉で、狭隙・内面・凹部への熱CVDコーティングを検討

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小型塩素炉｜塩素・塩化水素ガスを安全に扱う試験炉

負圧運転・耐食設計・スクラバー連動で、Cl2/HCl処理を小型炉で安全に検討

工業炉

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小型塩素炉｜都市鉱山から有価金属を乾式分離・回収

温度・塩素分圧・圧力を制御し、Au・Cu・Sn・Fe・Niなどを塩化揮発で選択分離

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小型塩素炉｜Cl2・HCl雰囲気での高温腐食評価に対応

Cl2・HClを含む高温腐食環境で、材料選定・寿命評価・腐食解析に対応

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小型塩素炉｜CNT・黒鉛・カーボンブラックの高純度化に対応

CNT・黒鉛・カーボンブラック中の金属不純物を、Cl2/HClでドライ除去

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小型塩素炉｜セラミックス粉の金属不純物を乾式除去

SiO2・Al2O3・Si3N4粉末中の金属不純物を、母材を残して選択除去

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小型塩素炉｜MOCVD治具・石英ボートの付着物除去に対応

GaN・AlN・Si系付着物をCl2/HClで塩化揮発し、治具をドライ洗浄

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小型塩素炉｜金属塩化物の選択揮発による不純物分離

Cl2・HClで金属不純物を塩化物化し、母材を残して選択分離

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マルチ雰囲気炉｜セラミックス焼結・緻密化条件の再現性向上

露点・酸素濃度を管理し、セラミックス焼結・緻密化条件を再現性よく評価

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マルチ雰囲気炉｜化学反応・反応性ガス処理・排ガス評価向け

反応性ガス・排ガス処理まで含め、化学反応プロセスの条件検討をサポート

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マルチ雰囲気炉｜環境浄化材料の焼成・排ガス評価向け

真空・Air・NH3などの雰囲気制御で、環境浄化材料の焼成と排ガス評価をサポート

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メタル炉｜半導体部品の気密封止・ろう付け・高真空熱処理向け

高真空・高純度雰囲気で、半導体部品の気密封止と信頼性向上をサポート

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分析用サンプル前処理向けメタル炉｜高真空・高純度雰囲気対応

高真空・高純度雰囲気で、分析前サンプルの脱ガス・酸化防止・安定化をサポート

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研究開発向けメタル炉｜真空・還元雰囲気・高温熱処理対応

真空・還元雰囲気で、材料開発や高温熱処理をサポート

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メタル炉｜光学部品の封着・ろう付け・高純度雰囲気焼成向け

高純度雰囲気で、光学部品の封着・ろう付け・熱処理をサポート

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航空宇宙向け耐熱部品用カーボン炉｜最高3000℃・真空雰囲気対応

最高3000℃の高温焼成と低酸素雰囲気で、航空宇宙向け耐熱部品の開発・製造をサポート

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新材料開発用カーボン炉｜高温焼成・炭化・黒鉛化・雰囲気制御対応

最高3000℃の高温焼成と雰囲気制御で、新材料開発・試作評価をサポート

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セラミックス高密度化カーボン炉｜最高3000℃・不活性雰囲気対応

最高3000℃の高温焼成と低酸素雰囲気で、セラミックスの高密度化・焼結をサポート

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カーボン炉｜炭化・黒鉛化・高温焼成向け最高3000℃対応

最高3000℃の高温焼成に対応。炭化・黒鉛化・脱脂処理を低酸素雰囲気でサポート

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静電チャック・ESC向け雰囲気焼成炉

ESC・セラミックス部品の焼成条件出しに。N₂＋H₂還元雰囲気と露点制御で、焼成品質の再現性向上に貢献します。

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マルチ雰囲気炉｜有害ガス発生を伴う焼成・排ガス処理に対応

小スケールでは見えにくい排ガスリスクを、炉・排気・除害設計でスケールアップ対応

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小型塩素炉｜腐食性ガスを安全に扱うための設計・運用ポイント

Cl2・HClのリーク、腐食、除害リスクを抑える小型塩素炉の安全設計

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小型塩素炉｜湿式・磁選では難しい金属不純物除去に対応

湿式処理の廃液・乾燥工程を減らし、選択塩素化で金属不純物を除去

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小型塩素炉｜Cl2・HCl処理の現場課題と安全対策

Cl2・HClを使いたいが安全面が不安――そんな現場課題に応える小型塩素炉

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小型塩素炉｜選択塩素化・腐食性ガス雰囲気試験に対応

選択塩素化・治具洗浄・腐食性ガス評価に対応する小型ハロゲン炉

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小型カーボン炉｜酸化を抑えて3000℃級処理を実現

2,000〜3,000℃級の高温処理で、酸化・特性ブレを抑える小型カーボン炉

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小型カーボン炉｜なぜ極低酸素・3000℃級が可能なのか

残留酸素を抑えながら3000℃級へ。小型カーボン炉の構造と原理を解説

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小型カーボン炉｜3000℃級・低酸素雰囲気での用途例

黒鉛化・炭化・焼結・高温反応評価など、小型カーボン炉の用途を紹介

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小型カーボン炉｜3000℃級・低酸素雰囲気での主な用途

黒鉛化、炭化、焼結、結晶化など、小型カーボン炉で検討できる用途を紹介

工業炉

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電気炉ラインナップ｜作りにくい材料を試作から量産へ

低酸素・超高温・高純度・腐食性ガス・多雰囲気など、特殊焼成条件に対応

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小型カーボン炉｜低酸素×3000℃級を実現する設計構造

真空置換・高気密構造・グラファイト加熱で、低酸素と3000℃級処理を両立

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小型カーボン炉｜極低酸素・3000℃級の高温処理に対応

極低酸素×3000℃級で、黒鉛化・炭化・超高温焼成を安定処理

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マルチ雰囲気炉｜雰囲気焼成から熱CVDプロセスまで対応