マルチコーター 「FEコーター」
高機能フィルム向けの高度にして繊細な薄膜塗工を実現するマルチコーターです。
コンパクトにまとめられた3つの塗工ヘッド、美しいサインカーブを描く非接触乾燥炉、きれいな膜上がり端面を実現するCOAST CONTROLS社製EPC(Edge Position Control)を搭載。
- 企業:株式会社マツボー
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年04月02日~2025年04月29日
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高機能フィルム向けの高度にして繊細な薄膜塗工を実現するマルチコーターです。
コンパクトにまとめられた3つの塗工ヘッド、美しいサインカーブを描く非接触乾燥炉、きれいな膜上がり端面を実現するCOAST CONTROLS社製EPC(Edge Position Control)を搭載。
少量・ラボ用に最適!バスケット&タンクの切替が簡単なディップスピンコーター
「DS300」は、量産品のベースコート、ボルト、ナット類の防錆・着色に 最適なディップスピンコーターです。 少量・ラボ用として最適で、バスケット&タンクの切替が簡単なため、 品種切替が容易に行えます。 また、オプションにて防爆対応(サーボ除く)も可能となっておりますので、 お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■バスケット&タンクの切替が簡単 ■品種切替が容易 ■少量・ラボ用として最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
液溜まりや密着しやすい商品に最適!
『IDS』は、塗液侵漬後にバスケットを回転させ、部品の凹部から 余分な塗料を除去し、液溜まりや密着しやすい商品への対応が可能な ディップスピンコーターです。 塗料タンクはコンベアにて自動搬入出が可能。 部品処理量は製品1~15kg程度で、1回につき4~6分で仕上がります。 また、排気ファンは中型排気ファンを搭載し、オプションにて 防爆対応(サーボ除く)をお選びいただくことが可能となっております。 【特長】 ■液溜まりや密着しやすい商品への対応が可能 ■連続運転対応 ■エアー式自動チャック方式 ■中型排気ファン搭載 ■オプションにて防爆対応可能(サーボ除く) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
45年以上のロングセラーモデル 手軽に電極膜作製ができるデスクトップタイプ コンパクトDCスパッタ
45年以上に渡るロングセラーモデル 小さなボディながらも、電極用薄膜作製から電子顕微鏡(SEM)用試料作製まで対応。 オフィスのデスクに置かれていても違和感のないデザインとコンパクトさ!! 【特徴】 〇スモール&コンパクト 〇ベルジャーを持ち上げる必要のない前面ドア開閉方式 ⇒ サンプルのセット/取出しが楽に行なえます。 〇間欠スパッタ機能を標準搭載 〇多彩なオプションをご用意:シャッター付前面ドア/アルミ製前面ドア/ピラニー真空計取付ポート付前面ドア etc.
SEM用試料作製に適した全自動イオンコーター
QUICK AUTO COATER SC-701ATは、真空排気からコーティング(エッチング)、大気解放までを自動で行なう全自動タイプのコーターです。 【特徴】 ○膜厚制御連動方式により、個人差の少ないコーティングが可能(良再現性)。 ○コーティング/エッチングモード搭載 〇デバイスの電極膜付けにも使用可能
イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチックスパッタコーター
軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター 【特徴】 ○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 ○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献 ○排気 → コーティング → 大気開放までフルオート ○電極用のスパッタ薄膜が手軽にコーティングできます
Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター!
QUICK COATER SC-701HMC IIは、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックモデルです。 ソフトウェア制御で高精度コントロールが可能。各種金属の薄膜作製を手軽に行なえます。 【特徴】 〇プログラマブルスパッタコーター 〇フルオート/マニュアルの2タイプの操作 〇シャッター標準装備
大型サンプルの全面コーティングに最適なイオンコーターです。4~8インチまでの各モデルを用意しております。
QUICK COATER SC-708シリーズは、SEM観察または分析用大型試料のチャージアップ防止用として、また、一度に多くのサンプルの成膜処理を行ないたい場合に最適なスパッタコーターです。 【特徴】 〇サンプルサイズや数量に応じて、4、5、6、7、8と1インチ単位で選択が可能です。 〇コーティングモード/エッチングモード搭載 〇スパッタ薄膜作製はもちろん、マイクロチャネル流路形成時のPDMS表面処理にも対応
SEM用試料の前処理用として最適!シリーズ最小のコンパクトコーターです。
「SC-701MkII」は、シリーズ最小のコンパクトコーターです。 デバイスの電極膜付けにも使用可能で、シンプル&イージーオペレーションです。 イオンダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載。 試料ブロックを用いて簡単にT-S間距離を変更できます。 SEM用試料の前処理用として最適です。 【特長】 ○シリーズ最小のコンパクトコーター ○低価格/小型軽量タイプ ○熱ダメージ防止用間欠コート機能付 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ターゲットは3種類同時に装着可能!多層膜を作製することが可能です。
マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 【特長】 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付けられる構造 ○抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能 →排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続 詳しくはお問い合わせください。
塗料顔料の塗膜作成用に!膜厚に合わせたサイズ多種あり!
・塗料、顔料等の一定厚の塗膜を作製する製品です。 ・試験板に試料を帯状に広げ、回転させずに手前に均等な速さで引きます。 ・紙、フィルム、金属箔等の比較的たわみ易い材料や広い面積に塗布するのに適しています。 <参考規格>JIS-K5101、(5400) ※仕様は予告なく変更する可能性がございます。 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【カタログダウンロードについて】 下記関連リンクまたはお問い合わせからカタログ請求をお願いいたします。 ※単品カタログがない製品については総合カタログを請求ください。
G2~G6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター
多種多様なフォトマスクサイズ対応。 幅広い膜形成に対応し、膜厚均一性と安定性に優れ、高い歩留まりを実現したインナーカップ方式の自動マスクスピンコーターです。
業界初!レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ 基板:Max250mm□
業界初!レンタル専用スピンコーター 受託加工(成膜・塗工)も対応可能 対応基板サイズ(MAX):250mm□・300mmウエハ 対象ワーク:ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間:15日間~1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓上タイプ
精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R&D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応:15日~1年間以上
【装置仕様】 ・ 基板サイズ :φ4~250mm□基板 ・ 基板の受渡し方法 :人手によるセット/リセット ・ 装置重量 :約48Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 :φ500mm ・ カップ材質 :SUS+ミガキ#400 ・ カップ処理 :オプション テフロンコーティング (カップ&インナーカップ内面) ・ 基板固定方法:真空吸着方式 ・ テーブル : オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ: ACサーボモータ ・ 回転数 : MAX6000rpm (基板サイズ、厚みによる) ・ 回転精度 : ±2rpm ・ 回転表示 : タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 : タッチパネルにて設定
塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度:数cp~10 000cp 基板サイズ:G8サイズ ※塗布実験可能
【装置特徴】 対象基板:G8サイズ 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度:数cp~10000cp ・膜厚:1~100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 【テスト実験設備】 ・クリーンブース(クリーンルーム内に設置) ・スリットコーター 400×500mm ・卓上スピンコーター Φ500シリーズ (インナーカップ方式対応可能) ・卓上スピンコーター Φ300シリーズ ・ホットプレート ・膜厚測定器