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各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測する赤外線反射顕微鏡システム
『IR1300RL』は、顕微鏡本体にオリンパス製BX53を使用した 赤外線顕微鏡です。 高解像度赤外線CMOSカメラとイメージエンハンサソフトにより、 各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測できます。 また、独自のイメージエンハンサソフトにより、張り合わせウエハーの アライメントマークずれ計測が可能です。 【特長】 ■各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測 ■顕微鏡本体にBX53オリンパス製を使用 ■X軸、Y軸、Z軸は手動動作タイプ ■アライメントマークずれ計測が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超低温・強磁場STMのハイエンドモデル！ 国内外で活用され、表面物理の先端研究に貢献しています。
市販品で最も低い到達温度と強磁場を実現した、表面科学研究の最前線で活躍する高性能STMです。研究目的に合わせて必要な試料前処理システムを構築することができます。超伝導や低温物理研究の最前線に必須の研究設備です。
USM1300型をコンパクトにした極低温強磁場対応SPMのミドルエンドモデル新登場！
全高が低く、操作性とコストパフォーマンスに優れた新型極低温強磁場対応SPMシステムです。AFM測定もオプションにて対応可能です。
コンプレッションセルのスタンダード
■ 厚みのある試料を均一に薄く潰すことが可能なダイヤモンドセルです ■ 試料を薄くすることにより、FTIRの顕微測定の際に飽和の無いスペクトルを得ることが可能となります ■ サンプリングの際にアクシスプロを用いれば、ダイヤモンドセルの中心の狙った位置に対象物を置くことが容易です ■ プレスし薄片化された対象物を顕微IR用透過窓板へ受渡したい場合は、アクシスプロを用いれば可能となります。 ※ 詳しくは以下関連リンク先からお問合せください。
電界イオン顕微鏡装置（FIM）
●特徴 電解イオン顧微鏡（FIM：Field Ion Microscope）は鋭く尖った金属針先端の表面原子像を容易に観察できる投影型の顕微鏡で1951年にペンシルバニア州立大学のErwin E. Mueller教授により発明されました。本装置は、超高真空の環境の中で、試料としてセットした金属tip（探針）の電圧を除々に大きくしていくことで、スクリ−ンにFIM像を出現させ、針状の試料表面原子の凹凸を100万倍程度に拡大した像を肉眼で観察できるイオン検出形表面分析装置です。 同時にtipに電圧が印加されることで先端部分の表面に付着している不純物を取り除くクリーニング効果が得られます。 さらにtipに印加する電圧を大きくすることで電界蒸発を行わせ、原子を個々にはぎ取り、先端原子の数を調整できるなど高度な実験が可能です。こうした本装置の優れた特性は、金属の原子レベルでの観察はもとより、先端の鋭い金属tipが不可欠な走査型トンネル顕微境のtip評価用として使われるなど幅広い用途に生かされ、多くの研究所、大学の研究室などで採用されています。
物理分析を行う装置を揃え、立会い分析も可能な受託分析サービスを行っています
主な装置は「HR-TEM」「Ｑ-pole型SIMS」「μESCA」「RAMAN」など。ミクロ・ナノレベルの表面分析におけるノウハウの蓄積があり、信頼性の高いデータを短期間で提供することができます。また未知試料の分析についてもアドバイスします。 【微少領域形態観察 透過電子顕微鏡（HR-TEM）】 ○高速電子線を薄く加工された試料に照射し、透過および散乱する電子の結像により拡大像や結晶構造の情報を提供する手法。 ○薄膜の構造、結晶性の評価に適している。また高分解能観察により結晶構造の観察が可能。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
Heガス充填、UHVなど多彩な試料環境！放射光ビームラインとのハード・ソフト連携が可能
『STXM』は、コンパクトかつリジットな設計の放射光用走査型 透過X線顕微鏡です。 透過、蛍光、電子収量など検出器の組み合わせ計測。 ゾーンプレートを使用し高空間分解能20～100nmを誇ります。 当社は、使いやすいデータ取得ソフトなどお客様のご要望に応じて カスタマイズ開発いたします。 【特長】 ■ゾーンプレートを使用し高空間分解能 ■5nm以下の位置安定性 ■コンパクトかつリジットな設計 ■検出器の組み合わせ計測 ■使いやすいデータ取得ソフト ■放射光ビームラインとのハード・ソフト連携 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウエハ表面に可視でAFフォーカス！赤外顕微鏡でパターン寸法を画像測定
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の 『自動赤外顕微鏡』を取扱っています。 当製品は、8”貼り合わせウエハの表面に可視でAFフォーカスして 赤外顕微鏡でSi内部パターンのパターン寸法を画像測定します。 2カセット、エッジグリップチャック、エッジアライナを搭載しています。 【特長】 ■対象ウエハ 8” ■2カセット ■位置決め精度±1μm ■軸ズレ測定±0.5μm ■線幅測定 0.2μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ビデオ顕微鏡
C-マウントアダプター付の鏡筒部で 360度回転可能な、ビデオ顕微鏡 【特徴】 ○鏡筒部 ・C-マウントアダプター付360度回転可 ・4穴手動式レボルバー付 ・結像レンズ1X内臓 ・同軸落射照明マウント付(光源：オプション) ○合焦部 ・一軸式手動粗微動ハンドル(移動量:50mm/粗動1回転:3.8mm/微動1回転:0.1mm) ○対物レンズ ・LDMシリーズ長作動無限遠補正光学系(同焦点:95mm/像側焦点:200mm設計) ○スタンド ・ポール式スタンド、平ステージ又は メカニカルステージ、オプションで選択可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
非破壊にて観察が可能！内部状態、密着性状態の不具合検出に威力を発揮！
当社が取り扱う、超音波顕微鏡『SAM(Scanning Acoustic Microscope)』を ご紹介いたします。 半導体パッケージ、基板、電子部品等の内部状態、密着性状態の 不具合検出に大変威力を発揮します。 非破壊にて観察が可能で、試料に入射された超音波の反射波より、 剥離等の検出ができます。 【仕様(抜粋)】 ■パルサーレシーバー：500MHz ■観察手法：反射法/透過法 両観察手法に対応 ■音響レンズ/反射法：15 25 30 50 80 100 230MHz ■音響レンズ/透過法：15 25 30 50 100MHz ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
異なる複数の層の深さを同時スキャン可能！水温度コントロールユニット内蔵
クオルテックでは、超音波顕微鏡『Gen6』を導入いたしました。 従来機に比較し、機能・性能が大幅に向上。 Poly Gate機能を搭載しており、異なる複数の層の深さを同時スキャン できるほか、最大100層の計測が可能です。 また、トランスデューサー周波数が230MHz→400MHzへアップしました。 【特長】 ■Poly Gate機能搭載 ■最大100層の計測が可能 ■最大走査範囲が60％拡大（面積比） ■トランスデューサー周波数がアップ（230MHz→400MHz） ■水温度コントロールユニット内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ワイヤレス操作を実現！コードが邪魔で顕微鏡を使いづらかった環境でも活躍
『3R-WM601WIFI』は、顕微鏡が捉えた映像をWiFi機能付きのタブレットや スマートフォンに映し出すワイヤレスデジタル顕微鏡です。 撮影したデータもそのまま機器内に保存可能。 また、ワイヤレス・有線の両方に対応しているため、使用する無線に 制限がある環境では有線で使用するなど、使用環境に合わせて 接続方法を選択できます。 【専用アプリの特長】 ■2画面表示で比較できる ■同じ画像内で続けて計測が可能 ■計測した値をほかの画像でも使用できる ■補正結果の保存ができる ■スケール表示が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光学顕微鏡 透過型位相シフトレーザー干渉顕微鏡
従来の光学顕微鏡の上位に位置する新しい形式の顕微鏡で屈折率分布や厚さの構造を高速かつ定量的に計測し、3次元的に可視化できます。 【特徴】 ○レーザー干渉法を応用して、サンプルの屈折率、高さを非接触で計測することができる。 ○高速…計測時間は数秒 ○高精度…位相差計測精度 ±(1/150) λ 、屈折率差計測精度 ±0.0001 、高さ計測精度 ±0.2μm ○空間分解能…光学顕微鏡と同等 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
柔軟な拡張性を備える研究開発用FT-IR顕微鏡。QCL 赤外レーザーによるイメージング機能を1つの装置に組み込むことが可能です。
HYPERION II は、赤外顕微鏡における技術革新です。赤外イメージングを回折限界に到達させ、顕微 ATR における基準を作りました。さらには透過・反射・ATR のすべての測定モードにおいて FT-IR 顕微鏡と赤外レーザーイメージング顕微鏡機能 (ILIM) の両方を 1 台で実現する、世界初のシステムです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
これまでの双眼実体顕微鏡と比較して廉価にもかかわらず高性能を実現！他社製双眼実体顕微鏡の約半額でご提供できます。
ルーチンワーク検査に必要な機能を備えたコンパクトな実体顕微鏡です。クリアな画像と幅広いズームを提供します。高いフラットネストと深い焦点深度を実現した独自の光学系で幅広い検査ニーズに対応します。装置組込みにも最適で、作業性に優れたコンパクトボディが誕生しました。
