手動直動ステージ XYZ軸リニアボールガイド（SS）ステージ
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XYZ軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
ステージ(xyz軸) - メーカー・企業と製品の一覧 | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年01月14日～2026年02月10日
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ステージの製品一覧
1～30 件を表示 ／ 全 42 件
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カスタムXYZステージ SXYZ-300
BESTなステージを製作いたします！
材料研究・開発・評価など貴社の加熱プロセスへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品です。 駆動方式は使用により選定可能です。治具、機器取り付け用孔カスタムにも対応しております。 各軸ともにロック機構で、固定用足/アングルなどもカスタム対応いたします。 Z軸駆動は、スライド方式により、精密なZ軸調整とステージの薄型をはかっています。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
XYZ軸ピエゾステージ 100×100×100 µm P-616
各40mmサイズで、XYZ軸100µm動作のコンパクトXYZピエゾステージ
P-616 は、パラレルキネマティクスを採用した XYZ ピエゾナノポジショナです。 高信頼性PICMAピエゾセラミックス、フレクシャーガイド、静電容量センサを各軸に内蔵した、再現性10nm、0.4 nm システム再現性を提供します。 ファイバーの位置決めとアライメント、顕微鏡、ナノ位置決め、フォトニクス、マイクロマニピュレーションなどに最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。 【特長】 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
XYZステージ XYZシリーズ
XYZステージ XYZシリーズ
3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機 その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能 クロスローラベアリングによる精密移動 ○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と 組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：アリオス株式会社
- 価格：応相談
6軸調整「XYZθαβ軸 精密ステージ」※6自由度を調整！
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・”6軸”は、3次元空間で剛体が取りうる6自由度のことを指します。 ・XYZ軸の並進移動、各軸を中心とする回転自由度（3自由度 αβθ）の合せて6軸の位置決め調整が正確にできます。 ・α軸、β軸は同じ回転中心をもつため、この性質を利用したセッティングにすることで調整が容易になります。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、6軸の分割・組合せにより、1軸～5軸の製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
- 企業：ツクモ工学株式会社 本社工場
- 価格：10万円 ~ 50万円
ガントリ型 4軸ステージ
ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 低く抑えることができ、高速での移動でも テーブルの揺れがなく等速性に優れる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社ウイング
- 価格：応相談
3軸調整「XYZ軸 精密ステージ」 ※光学用位置決めステージ！
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【型番】 XC4-25CM, XC4-25SM, XC4-40CM, XC4-40SM, XC4-60CM, XC4-60SM 【製品紹介】 ・XYZ軸の移動により3軸の位置決め調整が正確にできます。 ・移動ガイドにすり合わせ式（25CN, 25SM, 40CM, 40SM）、V溝レールとクロスローラ（60CM, 60SM）を採用しており、スムーズに微動調整ができます。 ・CM, SMは、微動調整のマイクロメータヘッドの取付位置が、それぞれ各辺の中央（センタ）, 横（サイド）にあることを示します。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、1軸～5軸の精密ステージ製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
- 企業：ツクモ工学株式会社 本社工場
- 価格：10万円 ~ 50万円
開口50 mmマルチ軸ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能
P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 50 × 50mmの開口で透過光も可能。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
小型３軸ステージ ※□40板横にXYZ軸ステージを取付けた構成！
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
小型の３軸位置決めステージで手のひらに収まるほどの大きさ（ステージ部分の最大外形：(65)×(65)×(65)mm）です。 ３軸の位置決めステージを□40ベース（□40×7t）の側面に接続した構成です。 写真中央に見える治具（20×10×8mmの部品）を３軸で移動できます。 □40ベース上にセットしたサンプルに対し、当て治具を利用してプローブなどで位置出しや測定などに使用した例です。 □40スペーサに、希望の取付穴（キリ穴とザグリの組み合わせ）を設けることで、ステージ製品などと組み合わせてお使いいただけます。 リンク先は、カスタマイズの事例集です。
- 企業：ツクモ工学株式会社 本社工場
- 価格：10万円 ~ 50万円
ナノ・マイクロ回転ステージ UMP1000Rシリーズ
大気中・真空中・低温環境での試料やプローブの回転動作・角度微調整に対応
コンパクト設計により様々な走査型電子顕微鏡(SEM)、集束イオンビーム装置(FIB)等に組み込むことが可能です。(詳細はご相談になります) 回転角度が検出可能な機種もオプション設定しております 。 当社製XYZ 3軸ナノマニピュレータ/プローバのZステージを取り付けることにより、XYZ＋R(回転)の4軸ステージ対応が可能です 。 Windows PCを用いた簡単操作を実現しました。
小型で25mmまでの動作量：リニアステージ M-11x型
サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ
【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ：5～25mm ■最小移動量：0.2µm ■耐荷重：30N ■サイズ：60×62×20mm～ ■XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa） 【コンパクトなリニアステージ、多用途】 ■ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです ■開口部は10 mm Øです ■XYセットアップをアダプタープレートなしで直接マウントできます 【位置計測】 ■DCギヤモーター搭載の別タイプ：モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載 ■非接触ホール効果基準点スイッチとリミットスイッチ 【駆動】 ■2相ステッパーモーターまたはクローズドループDCギヤモーター ■バックラッシュ補正のリードネジやボールネジ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
【XYZステージ】大型端末検査用ステージ/QPS-102
リモコン、携帯端末、タブレット、の検査に最適です！機器に搭載された、スイッチ等の耐久試験に！
『大型端末検査用ステージ/QPS-102』は、各種携帯端末のスイッチ、表示部の点灯・消灯などの耐久試験を自動で行うXYZ３軸ステージです。 大型の端末や製品の検査用に、お客様のご希望のサイズのステージをご用意いたします。 また、動作、機能試験として、お客様がご希望される任意の測定ファンクションを追加可能です。 USBインターフェース(又はGP-IBインターフェース)を内蔵したコントローラ部と、様々なファンクションの測定器を接続する事で、各種計測システムのプローバーとしてもご利用頂けます。 また、各種計測機能をプラグイン・ユニット化し、コントローラ部に組み込む事も可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社クアトロプラン
- 価格：応相談
【XYZステージ】携帯端末検査ステージ/QPS-101
タッチ・パネルや携帯端末、スイッチの耐久性試験に最適です。検査装置、計測装置の自動プロービング用に！
『携帯端末検査ステージ/QPS-101』は、各種携帯端末のスイッチ、表示部の点灯・消灯などの耐久試験を自動で行うXYZ３軸ステージです。 予め設定したプログラムで、携帯端末のスイッチのOn/Offをマトリクスに行い、機能の動作状態、各種スイッチの耐久試験、機能試験を自動的に行います。 データは制御用PCにCSVファイルとしてハードディスクに保存されますので、試験データ管理も容易です。 携帯電話、スマートフォン、タブレット等、様々な携帯端末にご使用頂けます。 また、機器に搭載されたスイッチの耐久試験、機能の計測試験にもご利用頂けます。 さらに小型化し、繰り返し位置精度を上げ、小型精密製品を検査することも可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社クアトロプラン
- 価格：応相談
ピエゾステージ 「MI-100シリーズ」
小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です
高耐荷重 Zステージ SZ200
レイアウトに合わせたステージの制作が可能！
【特徴】 ○カスタムXYZ 3軸ステージ ○レイアウトに合わせたステージを製作致します。 ○Z軸 ストロークカスタム対応 ○コンパクトなスライド軸方式により、薄型のZステージ構成 ○高耐荷重 （１０～３０ｋｇ） タイプ ○OEM対応可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
ピエゾステージ 「MA-140シリーズ」
多軸構成が可能なピエゾステージ
小型で多軸構成が可能な、1軸ピエゾステージで、X軸・Z軸をご用意しています。 複数の製品を組合せることでXYZ軸など多軸の構成もできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。
ズームレンズ位置決め用５軸ステージ ※ユニークな研究を応援します
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
真空機器内の観察対象物を見るために、ズームレンズの細かい姿勢・位置決め調整するための手動５軸位置決めステージです。 XYZ軸の他、傾斜角度とズームレンズの遠近調整が可能です。
- 企業：ツクモ工学株式会社 本社工場
- 価格：10万円 ~ 50万円
0.1nm分解能 ナノポジショナ P-620.1/629.1
1軸50〜1800 µmのストロークのタイプ、静電容量センサーで高分解能動作
PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
自動ステージ『クロスローラガイド』
コンパクトで高精度！筐体にアルミを使用し軽量化
『クロスローラガイド』は本体材質にアルミを用い、軽量・コンパクト・高精度 な自動ステージです。 V溝レールとクロスローラによる線接触の為、高い剛性が得られます。 作動すべりがほとんどなく、低摩擦で微小送りにも適しています。 「KXCシリーズ」はセンサがステージ筐体に埋め込まれている為、 テーブル面からのでっぱりが少なく左右勝手を気にせずご使用いただけます。 「KXシリーズ」は薄型筐体でありながらも高剛性があります。 最大耐荷重25kgまで対応しております。 【特長】 ■軽量 ■コンパクト ■高精度 ■水平面Zくさび方式 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：駿河精機株式会社
- 価格：応相談
44mmで120µm動作の小型Z軸ピエゾステージ P-611.Z
44 mm×44 mm の筐体で 120 µm 動作の Z 軸ピエゾナノステージ
Z軸の動作で、ひずみゲージを搭載するモデルは、ヒステリシスとドリフトを高精度に補正します。 Closed Loopタイプは、2nm分解能で、0.1％のリニアリティを実現。 摩耗ゼロのフレクシャガイドは、摩擦、摩耗、バックラッシュがなくナノレベルで動作します。 また、Ｘ軸、ＸＹ軸、ＸＺ軸、ＸＹＺ軸バージョンのステージもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
自動ステージ『PGシリーズ』
案内ガイド一体構造で薄型を実現！豊富なバリエーションをご用意
『PGシリーズ』はX軸リニアボールガイド「PG413」や「PG513」など 案内ガイド一体構造で薄型を実現した自動ステージです。 テーブルサイズ、センサオプションなど豊富なバリエーションを ご用意しています。 使用条件に応じて最適な機構の製品、ご使用方法をご案内いたしますので お気軽にご相談ください。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：駿河精機株式会社
- 価格：応相談
【7つの応用事例】ヘキサポッド6軸位置決めシステム
積み重ね多軸ステージとの比較解説・7つの応用事例・ヘキサポッドの簡易比較表
PI社のヘキサポッド6軸ステージは、40年以上前から、ピエゾステージ同様に独自開発・自主生産をしており、ピエゾ位置決め製品と同様にヘキサポッドでもマーケットリーダーです。 ＜ヘキサポッドの特徴＞ ・回転中心を任意位置に簡単設定 ・パラレル駆動で累積誤差がない ・コンパクトで高剛性で高安定性 ・設置向きが任意でも可能 など ※製品につきましてはカタログや弊社HPをご参考にしてください。 ヘキサポッドの動画もございます。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
HIWIN【標準型/カスタム版 リニアモーターステージ】
■位置決めステージ相談はHIWINへ■クロス型・ガントリー型からエアベアリングなど、単軸～多軸位置決めステージを提供します
単軸ステージを組合せたXY2軸ステージやガントリー型、XYZ直交座標ロボット、さらには高精度エアベアリングステージなど、各種標準型のほか、ニーズに合わせたカスタム提案をいたします。 すべて自社製のキーコンポーネント（リニアモーター・リニアガイド・ボールねじ・DDモーター・サーボモーターやドライバー）を用いており、高性能・コストパフォーマンスの良さでユーザーの競争力を高めるお手伝いをいたします。 ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
自動ステージ『KXG/KXLシリーズ』
コンパクトで豊富なラインナップ！用途に合わせお選びいただけます
『KXG/KXLシリーズ』は駿河精機が取り扱っている自動ステージです。 「KXGシリーズ」は従来のリニアボールガイド、クロスローラガイドステージ よりコンパクトな仕上がり。 「KXLシリーズ」は30mm～300mmまでの豊富なラインナップから 用途に合わせてお選びいただけます。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：駿河精機株式会社
- 価格：応相談
インラインプロファイル測定にも使える 多目的3軸ステージ
3次元解析や欠陥マップ表示などが可能！目的に応じた専用測定プログラムを設計開発
インラインプロファイル測定用多目的3軸ステージを 使った測定装置のご紹介です。 インラインプロファイル測定器と組み合わせ、目的に 応じた専用測定プログラムを設計開発致します。 3次元解析や欠陥マップ表示などが可能です。 【制御方式】 ■専用コントローラ ・制御プログラムを利用せずに簡単操作 ■CC-Link ・PLCによる制御で専用機 ■RS-232C ・PCによる制御で専用機 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
画像検査用自動ステージ
電子基板、電子部品、精密エッチング、半導体ウェハなどの検査に好適！
当製品は、EasyInspector2/DeepSkyと組み合わせて使用可能な 画像検査用のXYZ軸ステージです。 電子部品や精密エッチングなど目視では確認しづらい細かな 検査等で使用可能。 多数の検査ポイントを効率的に設定でき、オートフォーカスにも 対応しています。 【特長】 ■多数の検査ポイントを効率よく設定できる ■検査開始前のアラインメント作業も簡単 ■オートフォーカス機能により、常に鮮明な画像で検査を実行 ■撮像した画像を保存可能。ポイントごとのOK/NGをCSVデータとして保存可能 ■検査の条件により様々な照明、カメラの取り付けが可能 ■XYZの調整幅が広い為、検査対象の幅が広がる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社スカイロジック
- 価格：応相談
高精度・高動特性を実現するパラレルキネマティクス P-733.2
再現性 ±1nm、XY軸100 µm＋Z軸10 µmストローク、50 mm開口で透過光にも最適
高信頼性のPICMAピエゾセラミック駆動、静電容量センサによるダイレクト計測を行うXYZ軸ナノポジショニングステージです。 XY軸動作量は、30ｘ30µｍと100 × 100 µmタイプで、Z軸は10 µmストロークになります。 開口 50 × 50 mmを持つため透過光アプリケーションにも最適。 高精度顕微鏡、マスク/ウェーハの位置決め、計測技術などに使われます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
Elliot Scientific 超小型手動ステージ
世界最小クラスの超小型マイクロポジショナーステージ
物理実験や光学システムでの直線移動用のシンプルなアジャスターを備えた超小型マイクロポジショナーです。 オプションとアクセサリーが豊富で、ポストマウント、ファイバーホルダー、低磁性、真空対応、ローレットノブアジャスター付きも可能。
- 企業：オーテックス株式会社
- 価格：応相談
多軸対応汎用 高精度1軸リニアステージ L-836
60 mm幅・最大動作量200 mm、オプションで折返し駆動タイプ、保持ブレーキタイプ
動作量は、25〜200 mmまで6種をラインアップ ・2相ステッピングモーター駆動で、精密ボールねじ、循環ボールベアリング内蔵 ・最大速度：80mm/s ・最小動作量：0.3µm～、再現性：2µm～ ・耐荷重：150N ・折り畳み駆動タイプは、設置面積を削減 ・垂直動作用に保持ブレーキ付モデル ・リニアエンコーダ（オプション） ・XY軸、XYZ軸などにも拡張可能 レーザー加工、試験・検査、電子機器製造、光ケーブル製造、光学アセンブリ、シリコンフォトニクスなどに最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
ファイメス社 アパチャー付き ＸＹステージ
ロングストローク、しかも高分解能（5nm,更に高分解能も特注で可）
アパチャー付き ＸＹステージのKDT105は、機械的及び電気的変更のカスタム対応が可能です。高真空対応やクリーンルーム仕様納品も可能。また、非磁性オプションが可能で、可動範囲設定リミットスイッチ付です。XYZ-３軸ステージはMP 84-LMとなります。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプションも可能です。また、KDT180-LMは、モータ数は1軸につき1個です。オプションで2個まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：翔栄システム株式会社
- 価格：応相談
