手動直動ステージ XYZ軸リニアボールガイド（SS）ステージ
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XYZ軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
- 企業：駿河精機株式会社
- 価格：応相談
ステージ(xyz軸) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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ステージの製品一覧
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カスタムXYZステージ SXYZ-300
BESTなステージを製作いたします！
材料研究・開発・評価など貴社の加熱プロセスへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品です。 駆動方式は使用により選定可能です。治具、機器取り付け用孔カスタムにも対応しております。 各軸ともにロック機構で、固定用足/アングルなどもカスタム対応いたします。 Z軸駆動は、スライド方式により、精密なZ軸調整とステージの薄型をはかっています。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
XYZ軸ピエゾステージ 100×100×100 µm P-616
各40mmサイズで、XYZ軸100µm動作のコンパクトXYZピエゾステージ
P-616 は、パラレルキネマティクスを採用した XYZ ピエゾナノポジショナです。 高信頼性PICMAピエゾセラミックス、フレクシャーガイド、静電容量センサを各軸に内蔵した、再現性10nm、0.4 nm システム再現性を提供します。 ファイバーの位置決めとアライメント、顕微鏡、ナノ位置決め、フォトニクス、マイクロマニピュレーションなどに最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。 【特長】 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
XYZステージ XYZシリーズ
XYZステージ XYZシリーズ
3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機 その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能 クロスローラベアリングによる精密移動 ○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と 組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：アリオス株式会社
- 価格：応相談
6軸調整「XYZθαβ軸 精密ステージ」※6自由度を調整！
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・”6軸”は、3次元空間で剛体が取りうる6自由度のことを指します。 ・XYZ軸の並進移動、各軸を中心とする回転自由度（3自由度 αβθ）の合せて6軸の位置決め調整が正確にできます。 ・α軸、β軸は同じ回転中心をもつため、この性質を利用したセッティングにすることで調整が容易になります。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、6軸の分割・組合せにより、1軸～5軸の製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
- 企業：ツクモ工学株式会社 本社工場
- 価格：10万円 ~ 50万円
ガントリ型 4軸ステージ
ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 低く抑えることができ、高速での移動でも テーブルの揺れがなく等速性に優れる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社ウイング
- 価格：応相談
3軸調整「XYZ軸 精密ステージ」 ※光学用位置決めステージ！
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【型番】 XC4-25CM, XC4-25SM, XC4-40CM, XC4-40SM, XC4-60CM, XC4-60SM 【製品紹介】 ・XYZ軸の移動により3軸の位置決め調整が正確にできます。 ・移動ガイドにすり合わせ式（25CN, 25SM, 40CM, 40SM）、V溝レールとクロスローラ（60CM, 60SM）を採用しており、スムーズに微動調整ができます。 ・CM, SMは、微動調整のマイクロメータヘッドの取付位置が、それぞれ各辺の中央（センタ）, 横（サイド）にあることを示します。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、1軸～5軸の精密ステージ製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
- 企業：ツクモ工学株式会社 本社工場
- 価格：10万円 ~ 50万円
XY・XZ軸 小型ナノポジショナーステージ P-611
44 mm角の面積で、120 µm動作量、0.2 nm分解能をもつXY軸・XZ軸ステージ
P-611 シリーズはサイズが44mmの小型ナノポジショナステージです。 ・XY、XZ軸 各 120 µmの動作量 ・Openloop分解能：0.2nm ・ひずみゲージフィードバックセンサーも対応（分解能2nm） ・耐荷重15N ・Z軸のみ（P-611.Zx）、XYZ軸（P-611.3x）のモデルも用意 用途：干渉計測、顕微鏡、ナノポジショニング、バイオテクノロジー、マニピュレータ、フォトニクス、ファイバーポジショニング、半導体技術。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
ナノ・マイクロ回転ステージ UMP1000Rシリーズ
大気中・真空中・低温環境での試料やプローブの回転動作・角度微調整に対応
コンパクト設計により様々な走査型電子顕微鏡(SEM)、集束イオンビーム装置(FIB)等に組み込むことが可能です。(詳細はご相談になります) 回転角度が検出可能な機種もオプション設定しております 。 当社製XYZ 3軸ナノマニピュレータ/プローバのZステージを取り付けることにより、XYZ＋R(回転)の4軸ステージ対応が可能です 。 Windows PCを用いた簡単操作を実現しました。
- 企業：株式会社ユニソク
- 価格：応相談
開口50 mmマルチ軸ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能
P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 50 × 50mmの開口で透過光も可能。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
小型３軸ステージ ※□40板横にXYZ軸ステージを取付けた構成！
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
小型の３軸位置決めステージで手のひらに収まるほどの大きさ（ステージ部分の最大外形：(65)×(65)×(65)mm）です。 ３軸の位置決めステージを□40ベース（□40×7t）の側面に接続した構成です。 写真中央に見える治具（20×10×8mmの部品）を３軸で移動できます。 □40ベース上にセットしたサンプルに対し、当て治具を利用してプローブなどで位置出しや測定などに使用した例です。 □40スペーサに、希望の取付穴（キリ穴とザグリの組み合わせ）を設けることで、ステージ製品などと組み合わせてお使いいただけます。 リンク先は、カスタマイズの事例集です。
- 企業：ツクモ工学株式会社 本社工場
- 価格：10万円 ~ 50万円
小型で25mmまでの動作量：リニアステージ M-11x型
サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ
【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ：5～25mm ■最小移動量：0.2µm ■耐荷重：30N ■サイズ：60×62×20mm～ ■XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa） 【コンパクトなリニアステージ、多用途】 ■ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです ■開口部は10 mm Øです ■XYセットアップをアダプタープレートなしで直接マウントできます 【位置計測】 ■DCギヤモーター搭載の別タイプ：モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載 ■非接触ホール効果基準点スイッチとリミットスイッチ 【駆動】 ■2相ステッパーモーターまたはクローズドループDCギヤモーター ■バックラッシュ補正のリードネジやボールネジ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
【XYZステージ】大型端末検査用ステージ/QPS-102
リモコン、携帯端末、タブレット、の検査に最適です！機器に搭載された、スイッチ等の耐久試験に！
『大型端末検査用ステージ/QPS-102』は、各種携帯端末のスイッチ、表示部の点灯・消灯などの耐久試験を自動で行うXYZ３軸ステージです。 大型の端末や製品の検査用に、お客様のご希望のサイズのステージをご用意いたします。 また、動作、機能試験として、お客様がご希望される任意の測定ファンクションを追加可能です。 USBインターフェース(又はGP-IBインターフェース)を内蔵したコントローラ部と、様々なファンクションの測定器を接続する事で、各種計測システムのプローバーとしてもご利用頂けます。 また、各種計測機能をプラグイン・ユニット化し、コントローラ部に組み込む事も可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社クアトロプラン
- 価格：応相談
【XYZステージ】携帯端末検査ステージ/QPS-101
タッチ・パネルや携帯端末、スイッチの耐久性試験に最適です。検査装置、計測装置の自動プロービング用に！
『携帯端末検査ステージ/QPS-101』は、各種携帯端末のスイッチ、表示部の点灯・消灯などの耐久試験を自動で行うXYZ３軸ステージです。 予め設定したプログラムで、携帯端末のスイッチのOn/Offをマトリクスに行い、機能の動作状態、各種スイッチの耐久試験、機能試験を自動的に行います。 データは制御用PCにCSVファイルとしてハードディスクに保存されますので、試験データ管理も容易です。 携帯電話、スマートフォン、タブレット等、様々な携帯端末にご使用頂けます。 また、機器に搭載されたスイッチの耐久試験、機能の計測試験にもご利用頂けます。 さらに小型化し、繰り返し位置精度を上げ、小型精密製品を検査することも可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社クアトロプラン
- 価格：応相談
ピエゾステージ 「MI-100シリーズ」
小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です
- 企業：株式会社メステック
- 価格：応相談
