更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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断面加工や分析および観察の前処理などイオンミリング加工、クライオ加工の各種事例をご紹介します
当事例集では、分析と観察に関する『前処理』における事例についてご紹介します。 「イオンミリング法（CP加工）の紹介」、「イオンミリングによる微小部断面加工」、「イオン液体を用いたSEM観察前処理」など目的、手法、試料と結果を含めた分析および観察の前処理事例を多数掲載。 他にも、各種材料の断面解析や、試料概要、断面観察結果などご紹介しております。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■イオンミリング法（CP加工）の紹介 ■イオンミリングによる微小部断面加工 ■イオン液体を用いたSEM観察前処理 ■冷却（クライオ）イオンミリング断面加工 また、前処理にはノウハウがあります。 掲載されていない事例もありますのでぜひお気軽にお問い合わせ下さい。
圧電材料/磁性材料対応のドライエッチング装置をご紹介！
日立ハイテクでは『イオンミリング装置』を取り扱っております。 小径の電極で大面積の加工が可能な「拡散ビーム型ミリング装置」と、 実験開発向けに特化した「R＆D用小型ミリング装置」をラインアップ。 当社の豊富な経験からお客様を開発からサポート致します。 【特長】 ＜拡散ビーム型ミリング装置＞ ■小径の電極で大面積の加工が可能 ■φ100mmウェハ×6枚を全数同時処理可能 ■自公転型ウェハホルダーにより良好な面内均一性を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
金色は約10μm、薄金色は約7μm、銀色は12〜13μm程度！表断面観察事例をご紹介
当社にて、食器として販売されているアルマイト製品、金色、薄金色、 銀色の3種類について表面及び断面より調査した事例をご紹介します。 アルマイト被膜をイオンミリングにより断⾯を作製し、厚みを 計測した結果、金色は約10μm、薄金色は約7μm、銀色は 12〜13μm程度であることがわかりました。 また、金色の色の濃さ(金色と薄金色の差)は膜厚の差異であることが 確認されました。 【事例概要】 ■表面拡大観察：表面"形状"の違い ■断面拡大観察：膜厚計則と最表面の形状観察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
おもちゃの車のタイヤを使い断面加工方法について検討を行った事例をご紹介！
プルバックカーのタイヤの接着部について、手法別に断面を作製し 観察した事例をご紹介いたします。 作製した断面のSEM観察を実施するとゴム内部に存在しているフィラーが 確認されました。液体窒素による割断や機械研磨では大小のフィラーの 分散状態や接着界面の様子が明瞭でないことがわかりました。 なお、冷却(クライオ)イオンミリングによって作製された断面ではゴム内に 含まれるフィラーの分散状態やプラスチック基材との接着界面の様子を明瞭に 観察することができます。 【断面作製手法】 ■液体窒素割断(-196℃) ■機械研磨 ■クライオCP(-150℃) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
イオンミリングにより、高倍率SEM観察などのための、微細かつ高精度な断面試料を広範囲に作製！
「ワイド断面ミリング」では、アルゴンイオンビームを照射し、スパッタリング 現象を利用することで、機械研磨では難しかった高分子や金属、複合材料など、 さまざまな試料を無応力で加工できます。 応力をかけないため、より歪みがなく、試料の結晶構造を壊さずに、 積層形状、結晶状態、異物断面、微細な剥離確認の分析が広範囲に可能。 ワイドエリア断面ミリングホルダを使用することにより、最大8mm幅まで 広げることができ、広領域が必要なBGA・CSPなど電子部品の加工が可能です。 【設備紹介(抜粋)】 ■メーカ：日立ハイテク ■型番：ArBlade5000 ■所有台数：2台 ■イオン加速電圧：3～8kV ■ミリングスピード：1000μm/h(加速電圧：8kV,試料：Siエッジ距離：100μm) ■ミリング範囲：1mm～8mm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
試料を樹脂に埋めず水を使用しないことで、水分に弱い試料でも断面作製できます！
断面試料作製において、機械研磨は広範囲を観察・分析する 有効な手法です。 しかしながら、樹脂に埋めて、水を使用しながらの研磨に なります。水分を嫌う試料は、断面作製が困難でした。 断面イオンミリング装置を用いることで、樹脂に埋めず、 水を使用しない断面試料の作製が可能です。 【特長】 ■厚みのある試料はハサミなどで切断し、断面ミリングで仕上げ加工を 行うことで、歪みのない断面構造を観察・分析が可能 ■厚みのない試料は、銅板に挟むことで強度を保ち、乾式研磨で粗研磨を 行い、断面ミリングで仕上げ加工を行うことで、歪みがなく断面構造を 観察・分析が可能 ■熱に弱い試料は、冷却断面ミリングを用いることで、断面試料作製が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
低ダメージの断面加工が可能な断面イオンミリングについてご紹介！
当社で行う「セラミック焼結体の断面観察」についてご紹介いたします。 多孔質な材料の断面観察において、研磨などの手法では加工による応力の 影響や研磨材の混入などのため、断面観察が鮮明ではありませんでした。 断面イオンミリングの適用により、低ダメージの断面加工が可能になり、 鮮明な断面観察および分析ができます。 【特長】 ■焼結孔の形状や内部の状態が、正確に観察できる ■元素分布が明瞭に観察できる ■低ダメージの断面加工が可能 ■鮮明な断面観察および分析ができる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
広範囲(約3mm幅)の複数パターンの断面形状を高精細で観察可能！
当社で行う「レジストパターンの断面形状観察」についてご紹介します。 複雑な3次元形状に形成されたレジストパターンのできばえ評価において、 熱に弱いレジストパターン試料を試料冷却機構と3軸イオン源を有する イオンミリング技術により、ダメージのない断面加工をすることで、 広範囲(約3mm幅)の複数パターンの断面形状を高精細で観察可能。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問合せください。 【特長】 ■3軸のイオン源を用いることで1軸のタイプよりも加工幅が広く、 複数のパターンの断面形状を確認できる ■冷却しながら加工することで、レジストにダメージを与えない ■形状の異なる方向から加工することにより、各々の断面形状を確認可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ゴム製品の断面作製や断面作製手法の比較について観察した結果をご紹介いたします！
ゴルフボールの表面コート層にて断面作製方法の比較を行い、 CP加工の熱の影響について観察を行った事例をご紹介いたします。 カバー層のさらに最外層に2層のコート層があり、このコート層で 断面作製手法の比較を実施。3つの手法により作製した断面のSEM観察を 行いました。 軟材料の断面作製には断面イオンミリング(CP)加工が有効ですが、 CP加工時に発生する加工熱の影響により物性が変化してしまうことが あります。そのような場合には、冷却により加工熱の影響を抑えた クライオCPによる断面作製が有効です。 【断面作製手法】 ■機械研磨 ■CP ■クライオCP(-50℃) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
断面イオンミリングによる低ダメージ加工についてご紹介！
当社で行う「多孔性軟質材料(紙)の断面観察」についてご紹介いたします。 多孔質でかつ軟質な物質で構成された紙などの材料を観察する場合、 一般的な断面作製方法の切断や研磨では、加工時の変形が大きく、 観察に適さない場合があります。 断面イオンミリングによる低ダメージ加工は、加工変形を最小限に できるため、断面観察による詳細な構造を把握することができます。 【特長】 ■セルロース繊維の積層構造や充填剤粒子の分散状態が明瞭に確認可能 ■空隙も鮮明に見える ■加工変形を最小限にできる ■断面観察による詳細な構造を把握できる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
イオンミリング法を用いることで、微細構造を壊さずに断面構造や元素の分布を確認可能！
当社で行う「アルマイトの微細構造観察」についてご紹介します。 市販のフレームにおけるアルミ材は、耐食性や耐摩耗性などを目的として、 表面に陽極酸化皮膜(アルマイト)を形成しています。 一般的な機械式研磨加工では、アルマイトの細孔形状が崩れてしまい、 その構造が確認できません。イオンミリング法(Ar＋イオンビーム)を用い 加工することで、微細構造を壊さずに断面構造や元素の分布を確認できます。 【EPMA分析による元素分布】 ■SEM観察により、アルマイトの微細構造が明瞭に観察可能 ■封孔処理により細孔がきれいに埋っていることが確認できる ■元素分析を併用することで、アルマイトの下層側には電解着色により 析出したと考えられるSn(スズ)の分布や硫酸浴(H2SO4)中のS残渣の 分布も確認できる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
