【測定仕様】 ■測定対象 　・新素材、機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど) 　・導電性薄膜関連(メタル、ITOなど) 　・化合物半導体関連(GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど) 　・その他(※お問い合わせください) ■測定サイズ：～A4サイズ程度(W300 x D210mm) ■測定範囲：50μ～1m Ω/sq ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他計測・記録・測定器

【測定仕様】 ■測定対象：半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど） ■測定サイズ：お問い合わせください ■測定範囲 　・1～10E+9(Ω) [拡がり抵抗] 　・印加電圧：10(mV)検出電流：10(pA)～10(mA) ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 半導体・IC
• その他 計測・測定機器

【測定仕様】 ■測定対象 　・半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど） ■測定サイズ 　・レーザー光照射が可能なサイズのサンプルなら判定可能 ■測定範囲 　・PN 判定可能なサンプル抵抗率範囲 ： 0.02～5,000Ω･cm程度 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 半導体・IC
• その他 計測・測定機器

【測定仕様】 ■測定対象 　・半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど） 　・シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル 　・化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど） ■測定サイズ 　・3～8インチ ■測定範囲 　・Thickness: 200 –1200μm 　・Bow : +/-350μm 　・Warp: 350μm ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• その他 計測・測定機器
• 半導体・IC

【測定仕様】 ■測定対象 　・新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、 　　銀ナノワイヤーなど） 　・導電性薄膜関連（メタル、ITOなど） ■測定サイズ：ご相談下さい ■測定範囲：10~1000Ωsq（標準レンジタイプ） 　・測定レンジは、1m～2000Ω/sqから選択設定可能です。 　・測定下限～上限までが100倍以内の範囲でレンジをご指定ください。 　・対応フィルム搬送速度：最大250mm/秒 　・測定間隔：0.1～1.0秒/1点　※0.1秒単位で設定可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 半導体・IC
• その他 計測・測定機器

【測定仕様】 ■測定対象：フィルム、ガラス、紙材など 　測定レンジ内であれば、原則として、どんなサンプルでも測定可能です。 　・薄膜材（ITO, TCOなど) 　・Low-E-Glass 　・カーボンナノチューブ、グラフェン材 　・金属材（ナノワイヤ、グリッド、メッシュ） 　・その他 ■測定サイズ：サイズ、厚さによらず測定可能 　（各プローブの測定スポットサイズ以上のもの） 〔測定スポット〕 　・非破壊式プローブ（渦電流式）：Φ25mm 　・接触式プローブ（4探針式）：9mm ■測定範囲 ・非破壊式プローブ（渦電流法）：0.5～200Ω/sq ・接触式プローブ（4探針法）：0.1～4000Ω/sq ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 半導体・IC
• その他 計測・測定機器

【測定仕様】 ■測定対象 　・半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど） 　・新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、 　　銀ナノワイヤーなど） 　・導電性薄膜関連（メタル、ITOなど） 　・シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル 　・化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど） 　・その他（※お問い合わせください） ■測定サイズ：～8インチ、または～156×156mm ■測定範囲 　・抵抗率：1m～200Ω/cm（全プローブタイプの合計範囲/厚さ500μmの 　　場合） 　・シート抵抗：10m～3kΩ/sq（全プローブタイプの合計範囲） ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 半導体・IC
• その他 計測・測定機器

【ラインアップ】 ■RT-70V/RG-7C ■RT-70V/RG-5 ■RT-70V/RG-7S ■RT-70V/TS-7D ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 半導体・IC
• その他 計測・測定機器

【測定仕様】 ■測定対象 　・半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど） 　・新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、 　　銀ナノワイヤーなど） 　・導電性薄膜関連（メタル、ITOなど） 　・シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル 　・化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど） 　・その他（※お問い合わせください） ■測定サイズ：2～8インチ（オプション：12インチ） ■測定範囲 　・抵抗率：1m～200Ω・cm（全プローブタイプの合計範囲/厚さ500μmの 　　場合） 　・シート抵抗：10m～3kΩ/sq（全プローブタイプの合計範囲） ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 半導体・IC
• その他 計測・測定機器

【測定仕様】 ■測定対象：半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど） ■測定サイズ：3～8インチ（または12インチ） ■測定範囲 　・抵抗率：100μ～1MΩ/cm 　・シート抵抗：1m～10MΩ/sq ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 半導体・IC
• その他 計測・測定機器

【取扱製品】 ■接触式　抵抗測定器 ■非接触式　抵抗測定 ■ライフタイム測定 ■PN測定 ■拡がり抵抗 ■4探針プローブヘッド ■フラットネス・厚さ測定 ■パワー半導体テストシステム ■ソーラーシミュレータ ■リニアスケール ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 半導体・IC
• その他 計測・測定機器

【掲載製品】 ○接触式：フルオートタイプ（全自動測定システム） ○非接触式：フルオートタイプ（全自動測定システム） ○接触式：セミオートタイプ（多点測定システム） ○非接触式：セミオートタイプ（多点測定システム） ○接触式：マニュアルタイプ（1点測定システム） ○非接触式：マニュアルタイプ（1点測定システム） ○ハンディタイプ ○インラインタイプ（非接触式） ○フラットネス測定器 ○PN判定器 ○ライフタイム測定器 ○TCR測定器／拡がり抵抗測定器 ○4探針プローブヘッド ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器

【面内直線上をスキャン測定可能な、非接触 抵抗率/厚さ測定器】 ◆抵抗率・厚さセンサーを搭載し、１度に２種類の測定データ表示可能なので、太陽電池シリコンウエハの測定に最適 ◆抵抗率・厚さ測定は１点測定の他に、面内直線上を測定し、グラフ表示可能な『スキャン測定モード』を搭載 ◆エアーフローティングステージにより、ウエハ取扱いが容易 ◆測定データ保存、パソコンへテキストファイル送信可能（RS-232C） ◆JOGダイヤルによる簡単な測定条件設定 ●対象ウエハサイズ：[円形ウエハ]3インチ〜8インチ、[角形ウエハ]50〜156mm(SQまたはPSQ)まで対応 （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【ロボット搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆シリコンウエハの抵抗・厚さ・P/Nタイプを非接触センサーで測定 ◆標準カセット数：7（ローダー/アンローダー合計、各カセット数は任意に設定可能） ●対象ウエハサイズ：12インチ（または、6インチ＆8インチ）

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【化合物GaAsエピ層、GaP、GaNなどの非接触シート抵抗多点測定器】 ◆最大4本のセンサーによるフルレンジ測定 ◆周辺6mmからの多点測定可能 ◆SPCソフトウェア（経時変化）機能 ◆最大217点のマッピングソフトウェア（オプション） ◆全自動搬送機構付システム対応（オプション） ●対象ウエハサイズ：2インチ〜6インチ（オプション：8インチ） （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【コンパクトで簡単操作の手動式非接触抵抗測定器】 ◆JOGダイヤルによる簡単な測定条件設定 ◆測定レンジにより、4タイプのセンサー（SuperHigh、 High、Middle、Low）から1タイプを選択 ◆省スペース・コンパクト設計 ◆センサー部分をハンディプローブにしたモデル（EC-80P）もございます ●対象ウエハサイズ：2インチ〜8インチ （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【半導体プロセス評価用に最適な自動薄膜シート抵抗測定器】 ◆４種類のプローブヘッドを装着可能なロータリー機能のため、測定サンプル毎のプローブ交換作業が不要 ◆デュアルモードにより、エッジ１mmまで高精度に測定 ◆高速測定による優れたコストメリット ◆薄膜３nmの測定実績 ◆FOUP標準装備（オプション：SMIF/AM3000）、GEM/SECS対応 （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【4探針測定器にロボットとアライメントユニットを搭載した全自動システム】 ◆厚さ測定、P/N判定、温度測定に対応可能（シリコンウエハ） ◆セルフテスト機能、校正機能、広範囲測定レンジ ◆厚さ・周辺位置・温度補正機能（抵抗率測定時） ◆シート抵抗・膜厚表示が可能（メタル膜測定時） ◆カセット数はご要望により、いくつでも対応可能 ◆通信ソフトウェア、SMIFまたはFOUP対応（オプション） ◆最大1,225点のマッピングソフトウェア（オプション） ●対象サイズ：3インチ〜8インチ（12インチバージョンもございます） （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【ガラスカセットエレベーターとガラス搬送機構を搭載した全自動システム】 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能 ◆ガラスマップ（サーチ）機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ●対象ガラス基板サイズ：MAX 1,500mm×1,850mm 　　　（2,100mm×2,400mm程度まで対応可能） （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【センサーに近づけるだけで瞬時に判定可能な非接触ＰＮ判定器】 ◆判定方式：光パルス照射による光起電力方式 ◆非接触方式のため、シリコンウエハにダメージを与えません ◆表面に酸化膜のあるウエハも判定可能 ◆光パルス照射のため、瞬時に判定可能 ◆ＰＮ判定可能な抵抗率範囲：0.1〜1,000Ω/cm 　　　　（ただし、ウエハの表面状態による） ◆自動ウエハ搬送装置に組み込み使用が可能（ＰＮ-80α） ●対象ウエハサイズ：2インチ〜12インチまで対応（厚さ3mm程度） （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【PC制御による簡単操作の非接触抵抗測定器】 ◆省スペースでパソコンによる簡単な操作・データ処理 ◆非接触の渦電流法なのでダメージを与えることなく測定が可能 ◆測定レンジにより、MiddleとHighの組み合わせセンサー交換式（オプションでLowセンサーもお選び頂けます） ◆温度補正機能（シリコンウエハ） ●対象ウエハサイズ：3インチ〜8インチ、または〜140mm角（オプション：2インチまたは12インチ対応、140mm以上の角型基板） （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい

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• その他計測・記録・測定器

【ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆抵抗・厚さ・PN判定を全て非接触測定 ◆標準カセット数：ローダーカセット×4、アンローダーカセット×6 （カセット数は変更対応可能です） ◆ガラスマップ（サーチ）機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ●対象ウエハサイズ：3インチ〜8インチ（3サイズまで）、または8インチ、12インチ （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【スピーディーな測定が可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式：整流電力方式 ◆ほとんどの試料（シリコンウエハ、バルク、インゴット）に対応 （表面が酸化している試料は判定不可能） ◆測定ステージに載せ、0.2mmの細い2本の探針部に軽く接触させるだけで、瞬時に測定が可能 ◆自動ウエハ搬送装置に組込使用が可能（PN-1S/B） ●対象ウエハサイズ：2インチ〜12インチまで対応 （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【X-Yプローブ軸移動によるセミオート測定システム（ローダー/アンローダーロボットとのドッキングより全自動システムになります）】 ◆FPD分野における世界標準機 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能 ◆ガラス昇降機能、センタリング機能 ◆CIM（ホスト）通信、2-D/3-Dマッピングソフトウェア ●対象ガラス基板サイズ：680mm×880mm 〜 2,200mm×2,500mm (2,880mm×3,080mmまで構想中） （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【コストパフォーマンスに優れた、多点測定４探針抵抗測定器】 ●測定時に外部環境の影響を受けにくいインターロック付きマニュアルステージシャッターを搭載（オプション：オートステージシャッター） ●ユーザーフレンドリー性の高いパソコン+専用ソフトウェアでの操作システム ●測定パターンプログラマブルのため、円型・角型測定可能 ●セルフテスト機能、シリコンウエハ測定用厚さ・周辺位置・温度補正機能 ●シート抵抗・メタル膜厚表示可能 ●円型：最大1,225点、角型：最大1,000点の2-Ｄ/3-Ｄマッピングソフトウェア（オプション） ●対象ウエハサイズ： 2インチ〜8インチ、〜156mm角 （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【広範囲な抵抗レンジで測定可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式：熱起電力方式（ホット＆コールドプローブ） ◆ペン型のプローブを当てるだけで判定が可能 ◆ほとんどの試料（シリコンウエハ、バルク、インゴット）に対応 （表面が酸化している試料は判定不可能） ◆温度計、アナログメーターを標準装備 ◆自動ウエハ搬送装置に組込使用が可能（PN-12β） ●対象ウエハサイズ：2インチ〜12インチまで対応 （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

【作業性を考慮した、ガラス基板測定用斜め置き測定ステージ】 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能 ◆シート抵抗・膜厚表示機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ■４探針測定タイプ（RT-3000/RG-1200S)もございます。 ●対象ガラス基板サイズ：680mm×880mm 〜 2,200mm×2,500mm（2,880mm×3,080mmまで構想中） （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器