重量物非接触搬送装置「フロートチャックSA-５C(SAN)型」は気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることにより、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 　　

• ウエハー
• プレス金型

注記：これはレンズと対じする作動面に凹・凸レンズの2種の曲率面を形成することにより可能になりました（特許Pend.）。 ●保持安定性に優れ、高効率、衝撃に強い”ベルヌーイチャック”である。「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は新方式「気体垂直噴流方式」を採用しております。垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 ●負圧発生効率は従来比2倍 　空気噴出方向に角度を持たせ、クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が効率良く行われる。衝撃にも対抗でき、高速搬送も可能となる。 　空気噴流が垂直にレンズに当たらない構造のため、極薄レンズを損傷したり、処理された表面を傷つけたり、ストレスを生じさせたりすることはない。 　 　　　　　　　　　 　　　　　　　 　　　　　　　　　　

• その他半導体
• その他半導体製造装置
• その他理化学機器

作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバークラフト）の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。

• ウエハ加工/研磨装置
• ウエハー
• 分離装置

新機能：周囲のチップを噴出気体により吹き飛ばすことなく非接触でつかみ移載します。 　ソ－ラ－リサ－チ研究所では、□5ｍｍウエハ～の微小ワークのチップ用ベルヌーイチャック「非接触クリーンチャック」を開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触状態にてチャックし、所定の場所に搬送します。 　　　　　 　新機構として吸着パッドの周囲に排気路を変更する回路を設けており、排気方向を変更します。そのため排気が周囲のチップを吹き飛ばすことはありません。 　したがってクリーンルームにて仕様可能です。 ◎特徴　 1.　周囲のチップを吹き飛ばさない。 2.　周囲に排気を噴出しない。 3.　クリーンルームにて使用可能。 4．チップに傷、汚れを付着させない 5．チップにパッド跡をつけない。 ◎適応 ウエハ　ウエハチップ　微小レンズ　微小ワーク 　 　　　 　

• ウエハー
• CVD装置
• ウエハ加工/研磨装置

非接触搬送装置「フロートチャックLNA-S型」は、気体を空気を噴出することにより、セラミックグリーンシートを非接触にて懸垂保持し、搬送します。 　非接触搬送装置「フロートチャックLNA-S型」は、ノズルより噴出する高速空気流が直接ワークに衝突しない機構のノズルを装着し、高速の噴出空気流により120μm厚さの薄い、脆いグリーンシートの破損、損傷を防いぐ機構になっております。、　 　また「フロートチャックLNA-S型」は使用空気量が少なく、効率が良い。　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ◎特徴　 　１．セラミックグリーンシートを非接触にて 　　　搬送・ハンドリングする。 　２．スルーホール、穴あき基板も搬送可能 　３．120μm厚さの薄いセラミックグリーンシートを損傷・破損しない 　４．セラミックグリーンシートを撓まさずに搬送可能 　５．空気消費量が少ない。 　６．環境をよごさない。

• その他搬送機械
• 基板加工機
• 空圧機器

LCOS個片基板用非接触ピンセット（特許）は、手動作によるON/OFF操作により気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて吸引保持し、トレーに移載します。反転、傾斜させることも可能です。また高性能フィルタを装着していますので、超クリーンルーム内での使用も可能です。ウエハ、ガラス基板、レンズ、光学フィルム、スルホール基板等の薄い通気性のワークの搬送も可能です。

• ウエハー
• レンズ
• 専用IC

「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許） 新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」のハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）をハンドルを持つ手の操作により空気供給のＯＮ－ＯＦＦを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。 「6in・8inウエハ両用型非接触ピンセット」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、ウエハを非接触にて懸垂保持する機能を有しております。

• ウエハー
• エッチング装置
• 工業炉

　「微小物の非接触搬送装置」は、空気を基板に向かって噴出することにより、基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバークラフト）の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 ◎適応 １．微細ウエハチップ ２．微細レンズ ３．モールドレンズ用プリフォーム ４．高温ウエハ ５．水和工程の含水したソフトコンタクトレンズ ６．柔軟フィルム（バイオフィルム）

• その他半導体製造装置
• その他搬送機械
• CVD装置

非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」は気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加せることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させ ました。 高効率で気体消費量の少ない非接触搬送装置のベルヌーイチャックです ◎特徴 １．耐熱1000℃可能 ２．使用温度環境に応じた材料を使用します。 　　PTFE. ・PEEK・アルミニュウム・SUS316他・石英 　　酸性・アルカリ性・腐食ガスに考慮 ◎対象ワーク １．高温ウエハ ２．ガラスモールドレンズ・プリフォーム ３．化合物半導体ウエハ ４．ガラス基板

• 蒸着装置
• ウエハー
• その他産業用ロボット

高温化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）をベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」（特許）に気体供給のＯＮ－ＯＦＦ操作を行い、化合物半導体ウエハは(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）ＩｎＰウエハはを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います。 ベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」は、気体を噴出させることによりウエハとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および気体流のクッション効果により正圧にすることにより、ＩｎＰウエハを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。

• CVD装置
• プラズマ表面処理装置
• 加熱装置

「O-リンググリッパー」は、　空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用とにより、リング状体を懸垂保持し搬送します。

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• パーツフィーダー
• 空圧工具

大幅な高負荷・低空気消費量を実現 ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズは新しく気体垂直噴流方式（VGFS)を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 上記の効率の良い負圧発生および昇圧作用を有するため、ナンバーワンの高負荷・低空気消費量を実現しています。 （Ａ）「フロートチャックSAC型」シリーズの性能は、同種類の非接触搬送装置である （Ｂ）旋回流方式」および （Ｃ）従来型ベルヌーイチャックに比して、同じ供給空気量であれば、 ２～６倍と格段の懸垂力を発揮しています。 気体垂直噴流方式「フロートチャックSAC型」シリーズの開発により空気消費量が大なることで懸案であった「第１０世代液晶大型ガラス基板」その他の大型、大重量ワークの非接触搬送を可能 にしています。

• その他半導体製造装置
• その他機械要素
• 搬送・ハンドリングロボット

　非接触搬送装置「フロートチャックSA-C(SAN)型」は、ワークに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバークラフト）の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 　　

• その他半導体
• CVD装置
• 液晶ディスプレイ

高温化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）をベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」（特許）に気体供給のＯＮ－ＯＦＦ操作を行い、化合物半導体ウエハは(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）ＩｎＰウエハはを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います。 ベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」は、気体を噴出させることによりウエハとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および気体流のクッション効果により正圧にすることにより、ＩｎＰウエハを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。

• 蒸着装置
• その他理化学機器
• ウエハー

　　　　　　　　　　　 1.排気回収機構：ＳｉＣウエハ・基板用　クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWASｉＣ型」は、保持するウエハ に対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびサファイア基板と接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が効率良く行われてます。　　作動面とサファイア基板との間隙を通過した排出空気は、周囲を取り巻くフードにより補足され、排気口より吸引され所定の場所に排出される。そのため高速空気噴流がクリーンルーム内に流入することが少なく、ゴミの排出、塵の巻き上げることがありません 　 ◎適応 　・ＳｉＣ基板 　・サファイアウエハ 　・ヒ化ガリウムウエハ（GaAs) 　　　

• その他半導体製造装置
• 空圧機器
• ウエハ加工/研磨装置

「異なった曲率レンズのレンズに対応するレンズベルヌーイチャック」ク」は、　空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用とにより、「異なった曲率レンズのレンズに対応するレンズベルヌーイチャック」は種種の曲率の凹、凸レンズを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持し搬送します。 また「異なった曲率レンズのレンズに対応するレンズベルヌーイチャック」には、クッション室の形状および噴射気体流に生じるコアンダー効果により一機種ベルヌーイチャックにて曲率の異なるレンズを非接触状態にてレンズを把持し搬送することができます。 　このためレンズ曲率により機種を取り替える必要がなく、生産性が格段の向上し、設備価格の提言が可能になります。 ◎特徴 　１．レンズ・球の表面に接触せずに懸垂保持できる。 　２．傷、汚れを付着させない。 　３．一機種で広い範囲の曲率のレンズに対応可能。 　　　レンズ・球　非接触搬送装置　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　

• ウエハー
• 空圧機器
• その他機械要素

ソーラーリサーチ研究所の「非接触チャック」は垂直気体噴流方式を採用しており、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバークラフト）の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。

• ウエハー
• 空圧機器
• その他機械要素

水和工程の含水したソフトコンタクトレンズを人手で掴む「含水したコンタクトレンズ用ピンセット」は、空気を噴出することによりエゼクタ効果・ベルヌーイ効果・コアンダー効果による負圧の発生によるレンズの吸引把持と圧力室式エアクション効果による正圧の発生によるレンズの離反のバランスにより把持接触力を弱めてコンタクトレンズを把持し移載します。 また脱着する際には搬送装置内部を昇圧させ脱着します。従って吸引操作および脱着操作には機械的な操作はありません。 全ての操作を空気流の作用により行っております。柔軟なコンタクトレンズに損傷を与えることなく搬送します。従って薄くて軟弱なコンタクトレンズに損傷を与えることなく搬送することが可能です。 水和工程の含水したレンズの把持・移載も可能です。

• その他搬送機械
• 樹脂器具・容器
• その他理化学機器

「ソフトコンタクトレンズ移載装置」は、空気を噴出することによりエゼクタ効果・ベルヌーイ効果・コアンダー効果による負圧の発生によるレンズの吸引把持と圧力室式エアクション効果による正圧の発生によるレンズの離反のバランスにより把持接触力を弱めてコンタクトレンズを把持し搬送します。 また脱着する際には搬送装置内部を昇圧させ脱着します。従って吸引操作および脱着操作には機械的な操作はありません。 全ての操作を空気流の作用により行っております。柔軟なコンタクトレンズに損傷を与えることなく搬送します。従って薄くて軟弱なコンタクトレンズに損傷を与えることなく搬送することが可能です。 水和工程の含水したレンズの搬送も可能です。 ◎特徴 １．コンタクトレンズの吸引把持・脱着を空気流により行う。 ２．水和工程の含水したコンタクトレンズのピックアップ･脱着が可能。 ３．真空吸着でないからレンズを変形・損傷させない。 ４．機械的な押し剥がしによる脱着機構でないからレンズを変形・損傷させない。

• その他搬送機械
• コンベヤ
• 搬送・ハンドリングロボット

ソーラーリサーチ研究所が発明・開発したベルヌーイチャック「フロートチャック」は、 １．負圧発生機構には 　　a.エゼクタ効果 　　ｂ．ベルヌーイ効果 　　ｃ．コアンダー効果 ２．正圧発生機構には 　　a．ホバークラフト効果 　　b.．基体流クッション効果 を有しております。 　上記　効果を効率よく発揮するように製作されております。 　そのため　気体消費量が少なく効率よく稼働します。

• ウエハー
• その他半導体製造装置
• ウエハー

「脆弱フィルム搬送装置」は、気体流の負圧発生機能としてエゼクタ効果およびベルヌーイ効果、正圧発生機能として圧力室型エアクッション効果および気対流のクッション効果を有しています。　この機能を生じさせることによりフィルムを懸垂保持させます。 　噴出気体流は直接フィルムと平行にながれ、底面と底面に設けた支持板との間隙を通り排出します。その間に基体中央に形成されているクッション室は負圧を発生し フィルムは吸引され支持板に保持されます。 フィルムには噴出気体は衝突しない機構になっております。 クッション室に生じる負圧はクッション室全面にわたりほぼ均一になっております。

• ウエハー
• アクチュエーター
• ガラス

非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」理論計算式 本計算式は（有）ソーラーリサーチ研究所で開発した非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ-Ｃ型」（特許）の理論計算式である。 「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」の概要を以下に示します。また、仮定として（１）部材との隙間は「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」のパッド半径に比べ非常に小さいとする。従って、流れは一次元流れで近似できるとする。(２)ノズルOから噴出された噴流はクッション室壁面に当るか若しくは滑らかにAB面に流れる。その場合､A近傍や噴流の衝突点C近傍では渦を含む２次流れが生じると推定される。しかしながら､この解析ではこれらの影響は無視する。(３)噴流やパッド内の流れの圧縮性は無視する。

• 空圧機器
• 半導体検査/試験装置

「５０μm厚　超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」の非接触吸引機構は、空気を噴出させることにより、超薄型ガラスを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 0.05mm厚　超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」は、空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。 　気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気流は直角方向に変流され、直接超薄型ガラスに衝突し、極薄ガラスを破損することはありません。　従って超薄型ガラスに高圧噴出空気による局所応力を与えることはありません。　このため薄いワーク、脆いワークも破損することはありません。

• ステッパー

ガラスモールドレンズのプレス成形金型への挿入・取り出しを非接触にて行う 「ガラスモールドレンズ非接触挿入・取り出し装置」です。 気体を噴出することにより、エゼクタ作用およびベルヌーイ作用による負圧発生機構および圧力室式エアクッション作用および気体流のクッション作用による正圧発生機構を併せ持っており（特許）、ガラスモールドレンズを非接触にて上記３工程を行います。 １．ケースより取り出し位置決め冶具に移裁する工程 ２．位置決めされたプリフォームをプレス金型に挿入する工程 ３．成形されたガラスモールドレンズをプレス金型より取り出す工程

• その他搬送機械

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が効率良く行われてます。 　　作動面とウエハとの間隙を通過した排出空気は、周囲を取り巻くフードにより補足され、排気口より吸引され所定の場所に排出される。そのため高速空気噴流がクリーンルーム内に流入することが少なく、ゴミの排出、塵の巻き上げることがありません ２．位置決め機構：「フロートチャックWAS型」に装着しているガイドは、保持ウエハの外周可触部に接触するガイド底端部の形状が保持ウエハの自由移動を規制する機構になっているため、ウエハを非接触にて保持しているのに拘わらず位置決めが可能であります。

• その他半導体製造装置

　クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、基体中央部にクッション室をり具えており、その中央に設けたノズルより縦旋回に気体を噴出することにより効率よく、エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ワークを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、搬送、反転、傾斜することが可能です。 　クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、ノズルより噴出した排気を吸引捕捉する排気回収機構が設けられていますので排気のクリーンルームへの流出を防げます。 　そのためクリーンルーム内のウエハ、ガラス基板の非接触搬送に用いることが可能です。

• アクチュエーター
• ウエハー

積層された通気性シート、フィルム、不織布、紙を非接触搬送装置「フロートチャック」にて１枚ずつ高速にて供給する

• 基板加工機

微小ウエハチップ（１mm〜20mm角）、微小レンズを気体を噴出することにより非接触にて吸引保持し搬送するロボットハンド。

• その他半導体製造装置
• その他理化学機器

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１枚ずつ送り出し、精度良く積層する装置である。本装置のフィルムと対処する箇所では非接触搬送装置「フロートチャック」を用いているため、キズ、汚れ、ストレス、静電気の付着がありません。

• その他産業用ロボット
• その他半導体製造装置
• その他機械要素

「非接触射出成形取り出し機」は、空気を噴出することにより高速空気旋回流の粘性作用によるエゼクタ効果により内部空間に負圧を生じさせ、この負圧によりワークを吸引するとともに、圧力室型クッション効果による反発作用によりワークを非接触にて吸引保持する。 　この非接触射出成形取り出し機を取り出しロボットにハンドとしてして装着することにより、ワークを非接触にて把持し、取り出すことが可能である。

• 射出成形機
• 空圧機器

フィルム、プリント基板、スルホール基板、紙、不織布、柔軟シート、通気性シートを気体を噴出することにより保持、搬送するチャック。

• その他搬送機械
• 基板加工機
• その他機械要素

ウエハ、チップ、レンズ、太陽電池基板、ガラス基板をピンセットのようにハンドルに付いたバルブを手の操作により空気供給のＯＮ−ＯＦＦを行い。ウエハを非接触にてつかむ。 「ベルヌーイピンセット」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を無接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。

• その他理化学機器
• 半導体検査/試験装置
• 画像処理機器

気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は増加し、負荷発生効率は向上する。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特にＬＣＤ用第８世代大型ガラス基板（2200mmｘ2200mm）に採用されている。

• その他半導体製造装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

車内装用不織布を空気流にて把持し搬送する「不織布(マット）搬送装置」 車の天井材、マット、内装用不織布を１枚ずつ把持し、成形機・プレス機に搬送します。空気を噴出することにより不織布との間隙に応じて負圧あるいは正圧を発生する発生する非接触搬送装置「フロートチャックＫＦ型」（特許）により不織布を把持し搬送します。 　非接触搬送装置「フロートチャックＫＦ型」は、真空吸着では不可能な通気性ワーク、薄い、柔軟ワーク、凹凸のあるワーク、脆いワークなど損傷することなく、把持し搬送が可能です。

• その他産業用ロボット
• その他機械要素
• 車体系部品

フィルム・アモルファス太陽電池・紙・グリーンシート・不織布等の柔軟物・通気性・発泡体・軟弱体を把持、チャックし搬送します。ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持し、搬送、積層、ハンドリングします

• その他搬送機械
• その他半導体製造装置
• その他包装機械

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応

• その他搬送機械
• その他半導体製造装置
• その他機械要素

段積みされたプリント基板、スルーホール基板、ＦＰＣ、フィルム、セラミック基板を穴の位置、基板の大きさに関係なく１枚ずつ非接触にて搬送。基板に向かって気体を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、基板を非接触保持し搬送します。穴あき基板、フィルム基板、セラミック基板の基板の大きさ、穴の位置に関係なく吸着可能。段積み基板を１枚ずつ吸引搬送可能

• 基板加工機
• CVD装置
• その他半導体

送られてきたフィルムを非接触にて、精度よく揃えて集積する。偏向板・ＦＰＣ・フィルム薄いワーク、柔軟なワークを汚れの付着・損傷させることなく、高速にて確実に精度よく集積いたします。

• その他搬送機械

「プリント基板吸着器」は、プリント基板、スルーホール基板、ＦＰＣ、セラミック基板を穴の位置に関係なく吸着、搬送します。基板の大きさ、穴に位置による吸着具の段取り替えの必要はありません。 「プリント基板吸着器」は、空気を噴出することによる負圧発生機能により基板を非接触の状態にて懸垂保持し、搬送します。従って基板に傷、汚れを付着させません。

• 基板加工機

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。

• その他半導体製造装置

「非接触キャリヤー用ロボットハンド」は、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハのローダ、アンローダに最適です。このハンドには排気回収装置が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。

• その他産業用ロボット
• その他半導体製造装置
• 空圧機器

太陽電池基板、液晶基板、ウエハにフィルムに張り合わせる工程、不織布を単板に張り合わせる工程他、積層された柔軟性フィルムあるいは通気性のシートを精度良く基材に張り合わせる「フィルム張り合わせ装置」です。 本装置は、シート積層部、位置合わせ移送部および張り合わせ部により構成されています。 　積層部および張り付け部においては、柔軟な薄いフィルムあるいは通気性のシートをキズ、汚れ、損傷を与えることなく懸垂保持可能な非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を採用しております。

• その他加工機械

送られてきた偏向板・シート・フィルム・紙・不織布を非接触にて、精度よく揃えて集積する装置です。 　非接触搬送装置「フロートチャック」にて構成される保持装置と、ワーク進行と同調して走行する「非接触支持走行装置」を採用しております。薄いワーク、柔軟なワークを汚れの付着・損傷させることなく、高速にて確実に精度よく集積いたします。

• その他半導体製造装置

TAIKOウエハ、極薄いウエハ（２０μm以下）化合物半導体ウエハを曲げ、反りを生じさせることなく、ストレスを生じさせることなく、キズ、汚れを付着させることなく非接触にて懸垂搬送する。クッション室内にて気体を垂直方向に噴出することにより生じるベルヌーイ効果およびエゼクタ効果による負圧発生により非接触状態にてウエハを懸垂保持する。

• その他半導体製造装置
• ウエハー
• 半導体検査/試験装置

アモルファス太陽電池、偏光板、導光板、フィルム、紙、シートを非接触にて送り出し、搬送、積層する装置。空気を噴出することにより非接触にてフィルムを搬送する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を採用している。

• その他産業用ロボット
• 半導体検査/試験装置
• その他機械要素