☆★☆【nanoETCH】ソフトエッチング装置☆★☆
<30W低出力制御によるダメージレスエッチング
出力制御精度10mWで、繊細なエッチング処理を実現。
2010 年に「炭素新素材グラフェンに関する革新的実験」でノーベル物理学賞受賞マンチェスター大学グラフェン研究チームとの共同開発技術
【特徴】
• 2D(遷移金属カルゴゲナイド, グラフェン)エッチング、表面改質クリーニング
• PMMA, PPA等のレジスト除去
• 転写後のテープ残渣除去
• h-BNエッチング(*『フッ化ガス供給モジュール』オプション, SF6ガス系統要)
• SiO2エッチング(*『フッ化ガス供給モジュール』オプション, CHF3ガス系統要)
• テフロン基板などのダメージを受けやすい基板での表面改質、エッチング
仕様】
◉ 対応基板:〜Φ6inch
◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動シーケンス
◉ APC自動圧力コントロール
◉ Arガス1系統(標準) + N2, O2 最大3系統まで増設
◉ USB端子付 Windows PCに接続し、自動エッチングレシピ作成・保存。PCでデータロギング

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関連資料
関連リンク
◉ グラフェン・TMDC 2Dアプリケーション
◉ グラフェンエッチング除去
◉ PPA・PPMA等のレジスト除去
◉ テフロン基板などのダメージレスエッチング
グラフェン, レジストパターンのエッチング
PPAエッチング除去
h-BNエッチング




























