エッチング装置の製品一覧
- 分類：エッチング装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
★☆★☆【MiniLab-026】R&D開発用 小型薄膜実験装置★☆★☆
モジュラー式コンポーネント・制御機器設計による豊富なバリエーション。様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3元）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大2、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、RFエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。 フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。 ◉ Φ2inchマグネトロンカソード（最大3元） ◉ 抵抗加熱蒸着源フィラメント、ルツボ、ボート式（最大4極 コントローラで自動切替） ◉ 有機蒸着セル：1cc or 5cc ◉ グローブボックス搭載可能（オプション 要仕様協議） ◉ その他オプション： 同時成膜、HiPIMS、自動成膜コントローラ、特注基板ホルダ、ロードロック、基板回転/加熱・冷却などオプション豊富。 ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。
フランスで設計・製造された業界最小、ウエハトレイのみ交換で2～12インチウエハ対応、Corial 300・500シリーズ
- エッチング装置
静電チャック、ピンチャック等の調達にお困り事があった方は必見！ 海外生産による高精度、高品質のセラミック部品をご提案します！
- エッチング装置
フッ素樹脂に導電性を付与したコーティングです。帯電を防止し、静電気によるトラブルを未然に防ぐことが出来ます。
- エッチング装置
汎用樹脂からポリイミド樹脂まで部品の受託加工は当社にお任せください！ 他材質とのアッセンブリー部品も当社で一貫対応致します。
- エッチング装置
【ベストウォッシング】は汚れを選びません。 自然にやさしい強力洗剤、用途を選ばない、まったく新しい高性能 洗剤です。
- レジスト装置
- エッチング装置
試作から量産まで可能。バリのない平滑な外縁のノーブリッジエッチングなど。薄板・大判加工、モリブデン加工もOK！基礎知識資料も進呈
- エッチング装置
半導体故障解析 歩留まり解析 リバースエンジニアリング マイクロディスプレイの故障解析
- エッチング装置
- その他半導体製造装置
高純度のカーボン素材でパーティクルがなく、気体を透過しません。しかも軽量で、適度な硬さもあるため耐摩耗性も良好です。
- エッチング装置
新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜のエッチングに対応。大面積化も容易な新型エッチング装置.
- エッチング装置
- アッシング装置
- プラズマ表面処理装置
ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイプエッチング装置。 半導体製造装置部品・材料にも対応
- エッチング装置
- プラズマ表面処理装置
