ウエハ加工/研磨装置の製品一覧
- 分類:ウエハ加工/研磨装置
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大阪空気機械製T型トラップの代替品・油回転・水封式真空ポンプの保護装置
- 真空ポンプ
《数千個/月の量産OK》ロボットで塗装を行うので再現性と安定した品質を実現!コストダウンのご提案も可能。
- アルミニウム
銅・鉄(ハイテン)・アルミ銅・マグネシウムなどの金属材料対応OK!凸凹形状をはじめとした様々な形をご要望に合わせてお応えします。
- その他工作機械
- ウエハ加工/研磨装置
【半導体業界必見】チップ確認をより正確に!高精度の研磨技術で集積回路を傷付けずに検査可能!
- ウエハ加工/研磨装置
セラミックから金属・ガラス・単結晶など、幅広い素材に対応!当社の加工技術をご紹介
- セラミックス
- その他金属材料
- ウエハ加工/研磨装置
【技術情報】CMP研磨パッドの溝加工 2
前回、研磨パッド表面の溝加工によってスラリーの拡散が変わることをご説明しました。 溝によるスラリーの拡散効果を可視的に検証した事例をご紹介します。 半導体用などでデファクトスタンダートとなっている研磨パッド「IC1000」に異なる溝加工を6種類サンプルとして準備。 ・Circular Groove(同心円溝) ・Perforated Groove(貫通穴溝) ・Radial Groove(放射溝) ・Spiral Groove(螺旋溝) ・XY Groove(XY溝) ・Acr Groove(円弧溝) 青色に着色した液体を同条件下で滴下すると、溝加工によって液体の拡散が異なることがよく分かります。同心円溝や螺旋溝はスラリーの保持性が高く、放射溝や円弧溝はスラリーの排出性が優れることが確認できます。 このように同じ研磨パッドでも溝加工によってスラリーの拡散が異なり、ウェーハなどワークに介入するスラリーの作用に影響しますので、溝加工の選定は大変重要です。 当社ではお客様でのプロセス条件やターゲットを考慮して、溝加工の選定のお手伝いもさせて頂きますので、ぜひご相談下さい。
【削る前が決め手】仕様確認、工法の提案、工程及び治具設計、工具の選定、プログラム作成、加工シュミレーションにも力を入れています
- ウエハ加工/研磨装置
- ステッパー
- 半導体検査/試験装置
最大φ1000mm、深さ600mmまでの掘り込みが可能です。精度だけでなく美観にもこだわりを持って製品をご提供します
- ステッパー
- 半導体検査/試験装置
- ウエハ加工/研磨装置
高い加工品質、非常に短いセットアップ時間、優れた生産性を達成!
- その他加工機械
- その他工作機械
- ウエハ加工/研磨装置
ウエハと貼り付け盤(セラミックプレート)のボンディング工程の為に、設計開発された装置です。
- ウエハ加工/研磨装置
- その他研磨材
- 基板加工機
ウエハと貼り付け盤(セラミックプレート)のボンディング工程の為に、設計開発された装置です。
- ウエハ加工/研磨装置
- その他研磨材
- 基板加工機
内蔵メモリーで120フレーム保存が可能!機能選択やヤゲン位置調整が簡単に操作できます
- 砥石
- ウエハ加工/研磨装置
- その他加工機械
省スペース!電源不要、消耗部品は2種類のみ!コストを抑えることが可能です
- ウエハ加工/研磨装置
- その他加工機械
キズのない鏡面仕上げ!専用メディアで、Ra<0.005μmを実現します
- ウエハ加工/研磨装置
- その他加工機械
あらゆる材質のワークでも速く、きれいな仕上がりを実現! 安定した加工が可能なホーニングマシン
- ウエハ加工/研磨装置
- その他工作機械
- その他加工機械
加工精度は部分的に0.02~0.05の実現!また、NC旋盤6台・ロボット3台を保有。NC旋盤加工のことならご相談ください!
- 旋盤
- ウエハ加工/研磨装置
- 加工受託
超短時間研磨を実現!水平型遠心バレルと縦型遠心バレルをご用意しております
- ウエハ加工/研磨装置
- その他研磨材
- その他加工機械
基板の形状・面精度、強度がアップ!後工程での破損・荒れも防ぎ、歩留まり改善!
- 機械・設備据付/解体/移設
- ウエハ加工/研磨装置
耐水研磨紙、研磨ベルト・研磨ディスクなど、多数収録!幅広い研磨ニーズに対応!
- 手研磨・ヤスリ
- ウエハ加工/研磨装置
- その他研磨材
加工石材の上下高さ及び横巾の寸法は、対角2点設定方式にて容易にできる全自動側面研磨機
- その他機械要素
- ウエハ加工/研磨装置
- その他加工機械
充電式でコンパクト!作業性抜群で磨きに差が出るポリッシャーをご紹介します!
- 電動工具
- 手研磨・ヤスリ
- ウエハ加工/研磨装置
こんなふうに磨きたい。外径研磨や内径研磨、端面研磨などお気軽にご相談ください
- ウエハ加工/研磨装置
- 表面処理受託サービス
- 加工受託
砥石研磨に代わる!SCM415のマシニング用ツールホルダーを加工した事例をご紹介
- ウエハ加工/研磨装置
- 表面処理受託サービス
- 加工受託
砥石研磨に代わる!測定結果がRa0.035μmとなったスーパーフィニッシャーによる加工事例をご紹介
- ウエハ加工/研磨装置
- 表面処理受託サービス
- 加工受託