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ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。
マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 【特長】 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付けられる構造 ○抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能 →排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続 詳しくはお問い合わせください。
塗料顔料の塗膜作成用に！膜厚に合わせたサイズ多種あり！
・塗料、顔料等の一定厚の塗膜を作製する製品です。 ・試験板に試料を帯状に広げ、回転させずに手前に均等な速さで引きます。 ・紙、フィルム、金属箔等の比較的たわみ易い材料や広い面積に塗布するのに適しています。 ＜参考規格＞JIS-K5101、(5400) ※仕様は予告なく変更する可能性がございます。 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【カタログダウンロードについて】 下記関連リンクまたはお問い合わせからカタログ請求をお願いいたします。 ※単品カタログがない製品については総合カタログを請求ください。
Ｇ２～Ｇ6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター
多種多様なフォトマスクサイズ対応。 幅広い膜形成に対応し、膜厚均一性と安定性に優れ、高い歩留まりを実現したインナーカップ方式の自動マスクスピンコーターです。
業界初！レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ 基板：Max250mm□
業界初！レンタル専用スピンコーター 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：250mm□・300mmウエハ 対象ワーク：ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間：15日間～1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓上タイプ
精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上
【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ4～２5０mm□基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約48Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル ： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX６０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定
塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度：数cp～10,000cp 基板サイズ：G8サイズ ※塗布実験可能
【装置特徴】 対象基板：G8サイズ 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ・粘度：数cp～10000cp ・膜厚：1～100μm 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶 【テスト実験設備】 ・クリーンブース（クリーンルーム内に設置） ・スリットコーター 400×500mm ・卓上スピンコーター Φ500シリーズ （インナーカップ方式対応可能） ・卓上スピンコーター Φ300シリーズ ・ホットプレート ・膜厚測定器
実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ：200mm□ ・レンタル期間：6ヶ月（MAX） ※薄膜から高粘度まで
レンタル専用スリットコーター！ 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：200mm□×0.4～1.1mmt 対象ワーク：ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間：１ヶ月～6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統 ・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター ・テーブル駆動：リニアモーター 【主要用途・実例】 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶
省液塗工を実現！１回の塗工で最少5ccを実現 軽量化卓上コンパクトタイプ 本体50kg
１．機械サイズがコンパクトで軽量 ２．塗工液の粘度幅が広い 1cps～100,000cps ３．膜厚範囲 1μ～1.5mmt ４．ロールtoロールタイプ、自動機など カスタマイズ仕様に対応 ５．ストライプ塗工（最小塗工幅2mmまで） ６．ダイリップの自動洗浄ユニット ７．２層３層同時塗工ダイ製作可能 ８．Wet on Wet塗工が可能
業界初！小型コーター 回転数MAX8,000rpm！
1.小型・軽量 W180×D210×H200mm 約3.5Kg 2.主軸回転数 Max8000rpm 3.ワーク寸法 １インチ・2インチ・50mm□ 4.ワーク固定 内蔵真空ポンプによる真空吸引 5.ユーティリティー AC１００V 2.0A コンセント
ドラム断面形状を従来の円形から多角形にすることにより、メンテナンス性を高めたドラム式コーティング装置です。
ドラムコーター『DMC－H型』は、投入口から入った原料を、高分子シート貼りの傾斜した回転ドラム内をセルフクリーニングしつつ、投入量に適応した回転運動をしながら出口方向に移動していきます。 【特長】 ■多角形ドラムで内部付着を軽減 ■ドラム内面が平面なので、付着物を簡単にかき取ることが出来る ■回転ドラムを傾斜設置し、強制送り機構を持たない ■ドラム内面を高分子シートでライニングしてあるので、メンテナンスが容易 ■ドラム回転は、インバーターで制御。原料物性や流量に適した回転数が設定可能 ■精密添加ノズルは、２流体特殊ノズルを使用し安定した糖蜜や油脂の微細粒添加が可能 また、回転運動しながら移動している原材料は、互いに混合と表面糖蜜の移動を繰り返し均一にコーティングされて排出します。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDF資料をダウンロードしてご覧ください。
プロの塗工が誰でも簡単に再現可能！摺動性能アップのためリニューアルを実施しました。
★卓上コーターは弊社の製品名です★ 卓上コーター『TC-3S型』は誰でも同一条件・同一結果が得られる平版塗工機。 摺動性能向上のため内部構造をリニューアルしてより精度の高い塗工機になりました。 試作品の品質向上や、同一条件の塗工が求められる現場に好適です。 リチウムイオン等の二次電池等を主に、電極材やデバイスなど試作時にも多く使用されています。 【卓上コーター『TC-3S型』の特徴】 ■誰でも簡単に職人技を再現可能 ■ガイドレール採用で摺動性能大幅アップ ■低速での安定塗工を実現 ■試作・研究などに好適 ■ガラス台を採用し、丸洗いが可能 ■用途に合わせた特注製作にも対応 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
A-Barは寿命が長く、洗浄性が非常に高いバーコーターです
A-Bar（ワイヤーレスバーコーター）はワイヤーが巻かれていないことが最大の利点で、洗浄性が高く目詰まりしにくい形状のため寿命が長いバーコーターです。 ワイヤーバーからの買い替えの際にご検討いただき、効果をお試しください。 【特徴】 ◆ワイヤー内の目詰まりが無い ◆洗浄性が良い ◆目詰まりが無いため寿命が長くなる。 ◆ワイヤーが切れてしまう事例が無い
塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行えます！
『最先端コーターＨＩＴ-IIIＳ』は、塗布成膜を従来よりも圧倒的な効率で行える装置。 塗布材料を従来のスプレー方式の１／２、スピン方式の１／３０以下に削減可能です。 また、常圧環境で成膜を行えるので、真空環境設備を整える必要がありません。 トータルコストの圧縮に貢献できる最先端コーターです。 【特長】 ■塗布材料や真空設備のコストを大幅削減 ■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤を使用可能 ■粒径の大きい固形物が混合されている材料も使用可能 ■排気、廃液処理が最小限のシステムで対応可能 ※詳しくは「ダウンロード」より製品カタログをご覧下さい。
レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能！メンテ性にも気配りをしております
当社で取扱う小型レジストコータのご紹介です。 ガラス基板にレジストコート材をスピンナーにより塗布処理。 チャンバー内気流制御、メンテ性にも気配りをしており、 レジストコート剤の粘度に応じた、好適加速度選択が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、スピン洗浄装置、スピンコーター、半導体製造装置、レジスト塗布装置、塗布装置、塗布ムラ、低価格、フォトリソ工程、枚葉基板洗浄機、枚葉スピン洗浄機、表明処理、ウエハ洗浄装置
試料の上面、側面などや、複雑な試料にも奥深く均一にコーティング可能！
試料表面の導電被膜形成処理として、金属オスミウム（Os）の極薄膜 コーティングを行います。 熱ダメージもなく、nm単位の膜厚を高い再現性で成膜可能。 また、試料表面に膜由来の形状が現れず、表面形状観察やEBSD測定への 前処理に用いることができます。 繊維構造を有するサンプルの表面観察では、オスミウムコートでは、複雑な 構造でもチャージアップなく観察できました。 【特長】 ■チャージアップのない極薄膜の形成 ■再現性の高い膜厚制御 ■粒状性のない膜 ■熱ダメージのない成膜 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
