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めっきなどの膜中・界面の不純物をTOF-SIMSで評価できます。
成膜装置部品、ターゲット材、めっき液などからデバイス中に不純物が混入し、悪影響を与えるため、表面、膜中や界面の不純物の定性評価が重要です。TOF-SIMSでは下記3つの特徴から一度の測定で表面、膜中や界面に存在する未知の元素を高感度に評価することが可能です。 1. 金属元素の場合、一度の測定でm/z 1から800のイオンを同時に検出できること 2. 数ppmの検出感度が得られること(材料・各イオンにより変動) 3. スパッタガンを用いることで深さ方向の分布を評価できること
特定フロン(CFC/HCFC)や代替フロン(HFC)の定性分析が可能です。
フロンガスは化学的に極めて安定、かつ、人体への影響が小さいといった性質から、冷媒、発泡剤、半導体、及び、精密部品の洗浄剤など、様々な用途で活用されています。その一方で、オゾン層の破壊や地球温暖化につながる物質であるため、法律で規制されています。本事例では、GC/MSにてフロンガスを分析し、PFCの中でも極性が低く分離が難しいCF4の分離分析を行いました。GC/MSを用いることにより、特定フロンのCFC、HCFCや、代替フロンのHFC、PFCを定性的に分析することが可能です。
定性・半定量分析にて一度に多くの金属元素情報を取得することも可能！
弊団では、Siウエハ表面の金属汚染分析を承っております。 ICP-MSを用いたSiウエハ表面の金属汚染分析の目的には、Siウエハ自体の 汚染評価以外にも、半導体装置内の汚染評価、Siウエハ暴露による作業環境場の 評価などもあり、Siウエハ表面の分析は様々な目的で行われます。 ICP-MS分析ではSiウエハ表面の金属汚染量を高感度に取得でき、 さらに目的に応じて評価領域を指定することも可能です。 【測定法・加工法】 ■[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基板上へプリカーサ吸着時の活性化エネルギー、反応熱の情報が得られます！
弊団では、第一原理計算によるALD成膜におけるプリカーサ吸着 シミュレーションを行っております。 ALD(原子層堆積法)は気相の連続的な化学反応を利用した成膜技術。 膜厚の厳密なコントロールが可能なことや、低温プロセスでの運用、 付き回りの良さなどの理由から、微細加工が求められる半導体分野を 中心に広く用いられています。 一般に成膜速度が遅いALDにおいて、異なる基板間の成膜速度の差を 理解するためには基板上へのプリカーサ吸着メカニズムの解明が求められます。 【測定法・加工法】 ■計算科学・AI・データ解析 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
オイルによる汚染が疑われる場合に、オイル種を区別して発生源の推定が可能！
弊団では、石油製品の組成同定、分子量分布の評価、オイル種類の区別が 可能です。 オイル、グリース等の石油製品は様々な組成の炭化水素の混合物であり、 その定性分析にはGC/MS法が有効。ここでは、分子量分布の異なる 市販のオイルをソフトイオン化法で測定した事例を紹介します。 ハードイオン化法(EI法)に対して、ソフトイオン化法(FI法・FD法)では 分子イオンの検出が可能であり、オイル成分の組成評価に有効です。 特にFD法では揮発しにくい高分子量の成分を含むオイルの評価にも 適用することができます。 【測定法・加工法】 ■[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
表面処理による改質層や変質層の評価が可能！
TOF-SIMSは深さ方向分解能が良く、また結合状態に対応したフラグメントイオンが得られるため、 表面数nm付近の層構造の評価が可能です。 本資料では、スズ酸化物、酸化スズ水和物の各標準試料の測定から得られた フラグメントイオンの情報をもとに、スズ板表面の層構造を分析した事例を紹介します。 この技術を応用することで、表面処理による改質層や変質層の評価が可能です。
ウエハの汚染原因を推定することが可能です！
TOF-SIMSは、異物、付着物、汚れ、変色など、工程に起因する汚染の原因究明に非常に有効な手法です。 異物などの汚染から得られたマススペクトル情報を、汚染源候補の部品のマススペクトル情報と 比較することで、それら汚染源を推測することができます。 本資料では、Siウエハの異物とウエハ製造工程の中で使用する樹脂製チューブ4種を準備し、 そのマススペクトル情報を比較することで、異物がどの工程で使用する部品に 起因する汚染なのか評価しました。
オイルバックやグリースなど真空装置内の汚染原因を評価可能！
空間内の気体分子密度が低いという特徴を利用した真空装置は、 電子部品の製造工程における薄膜形成や表面分析など様々な用途で使用されます。 真空装置のチャンバーは閉ざされた空間のため、 微量の分子の存在が装置内の汚染を引き起こしやすく、汚染を抑制するために、 ポンプ・装置・試料など汚染源を特定する調査が必要です。 本資料では、真空装置内の汚染についてTOF-SIMSで調査した事例を紹介します。
超臨界流体クロマトグラフィーは移動相に超臨界CO2を用い、試料中に含まれている成分を分離し、質量検出器で検出する手法です。
■超臨界流体とは 臨界点以上の温度圧力下にあり、液体と気体の中間的な物性をもつ状態のことです（図1参照）。超臨界CO2は取り扱いが容易な点（7.4MPa,31℃）から、クロマトグラフィーの移動相として用いることが可能です。 ■超臨界CO2による抽出 SFC/MSの前段にSFE （SFE : Supercritical Fluid Extraction）を接続し、超臨界CO2を用いて試料中に含まれる成分の抽出を行います。抽出から分離・検出まで自動で行うことが可能なため、光、水、酸素に弱い成分の分析に有効です。
【技術資料無料プレゼント】原材料の品質管理をスマートに。
製品の製造現場において、品質管理は重要課題のひとつと言えます。 その目的は、製造工程でのトラブルを未然に防ぎ、最終製品に対して常に 一定レベルの品質を保証することにあります。 こうしたニーズに対して、赤外分光法は、スピード、操作性、信頼性、 どれを取っても好適な分析手法のひとつと言えます。 当資料では、当社のコンパクトFT-IR「ALPHA」と、付属の 「OPUS/QuickCompare」ソフトウェアに含まれるQuickCompare機能を 用いた、原材料の判別分析についてご紹介しています。 【掲載内容】 ■はじめに ■赤外スペクトルと品質管理 ■ALPHAによる品質管理 ■QuickCompare機能を用いた判別分析 ■まとめ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
不均一系試料に関する化学的評価を簡単かつ正確に行うことが可能です
『LUMOS II』は、顕微赤外分光やイメージング解析をより簡単に、 より迅速に、そして快適に進めることか可能です。 透過、反射、ATR（全反射吸収）、すべての測定モードにおいて 高い性能を発揮。 長作動距離の対物鏡によりアクセスが容易で、動作のすべてが 電動化された自動試料ステージも特長のひとつです。 【特長】 ■先進のFPAによる卓越したイメージング性能 ■高品位なスペクトルおよびイメージデータ ■高速イメージングおよび高速マッピング機能：広域を短時間でカバー ■透過、反射、ATR、すべての測定モードに対応するFTIRイメージング ■液体窒素なしでも高感度測定を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
微小物分析でお困りごとはございませんか？『LUMOS II』が解決いたします！
微小物分析でお困りごとはございませんか？ ・液体窒素の用意ができない、面倒だ 『LUMOS II』は【液体窒素不要】電子冷却式MCT検出器搭載のため、液体窒素は不要です。 ・初心者でも簡単に使える顕微IRが欲しい 『LUMOS II』は【完全自動化オペレーション】のため、初心者の方にもご利用いただけます。 他にも… ・もっと画像のキレイな顕微IRはないか ・高速イメージング機能を使用してみたい など 『LUMOS II』は、顕微赤外分光やイメージング解析をより簡単に、 より迅速に、そして快適に進めることか可能です。 長作動距離の対物鏡によりアクセスが容易で、動作のすべてが 電動化された自動試料ステージも特長のひとつです。 【特長】 ■液体窒素なしでも高感度測定を実現 ■先進のFPAによる卓越したイメージング性能 ■高品位なスペクトルおよびイメージデータ ■高速イメージングおよび高速マッピング機能：広域を短時間でカバー ■透過、反射、ATR、すべての測定モードに対応するFTIRイメージング
【高速イメージングおよび高速マッピング機能搭載】FTIRイメージングをこれまで以上に迅速・快適・正確に！
『LUMOS II』は、高速イメージング対応FPA検出器です。 初心者から上級者まで、分析スキルのレベルに関係なくどなたでも使えるガイド機能付きのため、 スキルのレベルに関係なくすべてのユーザーに迅速・快適・正確にご利用いただけます。 また、イメージングはすべての測定モードにおいて実行することができ、 錠剤、高分子材料、汚染物質の分散状態など、 不均一系試料に関する化学的評価を簡単かつ正確に行うことが可能です。 【特長】 ■高速イメージングおよび高速マッピング機能：広域を短時間でカバー ■先進のFPAによる卓越したイメージング性能 ■高品位なスペクトルおよびイメージデータ ■透過、反射、ATR、すべての測定モードに対応するFTIRイメージング ■液体窒素なしでも高感度測定を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低容量・高速置換ガスセル！校正不要でバックグラウンド測定無しで測定可能です
『MATRIX-MG5』は、RockSolid干渉計を搭載した広い測定濃度範囲の製品です。 校正は不要で、コンパクトかつ堅牢な筐体。バックグラウンド測定無しで 測定が可能です。 また、当製品のソフトウェア「OPUS GA」は、プロセスモニタリングに 最適化したユーザーインターフェースを装備し、プロセスガス計測結果を トレンドチャート画面で瞬時に把握、計測結果と吸収スペクトルとの相関を スペクトル画面で解析が可能です。 【特長】 ■RockSolid干渉計搭載 ■校正不要 ■バックグラウンド測定無しで測定可能 ■簡単操作およびメンテナンス ■広い測定濃度範囲 ■コンパクトかつ堅牢な筐体 ■低容量・高速置換ガスセル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
EU欧州連合における段階的自動車排出ガス規制「EURO6」測定試験で検証されました
EU（欧州連合）にて実施されている、段階的な自動車排ガス規制「EURO6」をご存じですか？ ブルカーの高性能FT-IRガス分析装置「MATRIX-MG」は、そのEURO６の実際の測定試験にて検証されました。 車の荷台に積めるコンパクト設計なボディに、他の追随を許さない高分解能を搭載したFT-IRガス分析の最高峰装置をご紹介いたします。 ■MATRIX-MGの特長 ・ガスの定性および定量を高速・連続・自動で実現 ・卓越した感度と、数ppbから 100 % まで対応する ・広い検出可能レンジ ・ターゲットガスへの校正が不要 ・簡単操作、イージーメンテナンス ・大気中のガスや干渉成分の影響を自動補正 ・191℃まで加熱可能な温調機能付ガスセル ・ガスセル内の温度と圧力を連続モニターし、定量解析にフィードバック ・測定結果を産業用通信インターフェースに出力可能
■アンモニア測定■低濃度～高濃度までフルレンジで測定可能！
アンモニアの低濃度から高濃度までフルレンジで測定可能な分析装置は、今までほとんどないと言われていました。 ブルカーの装置は、フルレンジ測定に対応しています。 【OMEGA5】 19インチラック対応のコンパクトボディに、工業用ガスの測定に 適した光路長5mの多重反射型ガスセルを搭載したガス分析用FT-IRシステムです。 ガス濃度を高精度かつリアルタイムで自動的にモニタリングできるように設計され、 さまざまな分野への応用が可能。 OMEGA5は、運用やメンテナンスを含む全般のコストの低減を 実現しています。 【MATRIX-MG】 ガスの定性および定量を高速・連続・自動で実現！測定結果を産業用通信インターフェースに出力可能 『MATRIX-MGシリーズ』は、堅牢性とコンパクトデザインを特長とする 高性能FT-IRガスアナライザーです。 さまざまな分野のガス分析において、対象ガス中の各成分と濃度を 高精度かつリアルタイムで自動分析できるように設計されております。 300種類以上の化合物を校正測定なしで同定・定量することができます。
安定した結果と高い信頼性！A4用紙一枚分のコンパクト設計でラボスペースを有効活用できます
『ALPHA II』は、様々な試料を迅速に定性・定量する化学分析装置です。 堅牢かつ洗練されたデザインで、タッチ操作のソフトウェア。 数分で新しいユーザーをトレーニングし、データの一元管理も可能です。 また、実験ラボの貴重なスペースを無駄にせず、簡単な操作性が分析の 作業効率を最大限に高めます。 【特長】 ■様々な用途に対応するサンプリングモジュール ■長寿命部品（最長10年保証） ■設定済みの分析ワークフロー ■一体型パネルPCオプション ■高湿度環境対応オプション ■ラボスペースの有効活用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンプライアンスコストを最小化！包括的なシステム適格性評価を提供しています
当資料では、『BRAVO』のシステムバリデーションをご紹介しています。 「性能適格性評価」や「データインテグリティ」「すぐに使える システム適格性評価」などについて掲載。 BRAVOの光学系は最高水準の精度を達成するよう設計されており、 ベンチトップ装置（Ph.Eur.）や定量分析（USP）に設定されている 厳しい性能評価項目にも適合できます。 【掲載内容】 ■コンセプト ■バリデートされたソリューション ■21 CFR Part 11、そしてその先へ ■性能適格性評価–USP〈858〉＆〈1858〉,Ph.Eur.2.2.48,JP 2.26 ■データインテグリティ ■すぐに使えるシステム適格性評価 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ライフサイエンスや医学分野、特に組織分析に最適なツール
赤外レーザーがもつエネルギー密度の高さを利用することで、非常に短時間で高品位の分光データを取得可能です。 この速度的アドバンテージは非常に大きく、従来と比較して桁違いのスピードでスペクトルイメージの取得が可能となっています。 このアプリケーションノートでは、赤外レーザーイメージングのメリットとその応用について説明します。 この資料では、 ▶ 赤外レーザーイメージング：新たな分析ツール ▶ 赤外レーザーイメージングの適用方法 ▶ FT-IR vs 赤外レーザーイメージング：生体組織試料 ▶ レーザーイメージングにおける革新：空間コヒーレンス低減機構 などを、わかりやすく解説しています。
定性能力に優れたFT-IR！各成分の濃度を正確かつリアルタイムに定量可能
FT-IRは、化合物固有の赤外スペクトルを分析することにより、組成が不明な ガスの成分を定性/定量できる強力なツールです。 FT-IRの高い選択性と感度が、複数の成分が幅広い濃度範囲にわたって存在する 混合ガスにおいても、微量な赤外活性化合物を確実に検知します。 当資料では、「FT-IRによるガス定量分析」や、「OPUS GA分析精度の検証」 等を掲載しております。 ぜひご一読ください。 【掲載内容】 ■FT-IRによるガス定量分析 ■検量線なしで高精度な定量分析を ■OPUS GA分析精度の検証 ■検量線なしのガス分析の利点 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
2024/7/12(金)13：00～16：30、ブルカージャパン横浜本社ラボ(B号ビル6階)にて開催！
ブルカージャパン株式会社は、ブルカージャパン横浜本社ラボにて、 『FT-IR 基礎と応用セミナー』を開催いたします。 FT-IRは、分子構造の解析や定性・定量分析の有力な手段として、品質管理から 研究開発まで、様々な分野で広く使われている分析機器です。 一方、その基本原理を良く知らないまま使われている現状もあります。 本セミナーは、FT-IRの基礎を学んでいただける、初級・中級レベルの講習会です。 現在FT-IRをお使いの方は、さらなる有効活用を考える機会として、 また今後FT-IRの導入をお考えの方は、 自社の目的に合致した機種・仕様を 考える機会として、本セミナーを是非ご活用ください。 【開催概要】 ■日時：2024/7/12(金) 13：00～16：30 ■会場：ブルカージャパン横浜本社ラボ(B号ビル6階) ■参加費：無料(申込み先着順) ■定員：30名 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
原材料はもちろん、飼料の配合、製造工程、最終製品の品質のそれぞれの最適化に貢献！
当社は、品質管理と配合調整のための包括的なFT-NIRソリューションを 提供しています。 試料を数秒で非破壊で分析でき、時間と試薬の使用量を減らすことで、 コストを削減。オイルや糖蜜のような液体試料も、使い捨てのバイアルに 入れて、同じ装置で分析できます。 また、ブルカーでは、飼料産業における様々な原料の分析に対応する FT-NIRキャリブレーションパッケージをご用意しております。 【標準的な分析項目】 ■水分 ■粗脂肪 ■粗繊維 ■粗タンパク ■粗灰分 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
食品の品質保証や保健当局が油脂の劣化の程度を確認するための貴重なツール！
FT-NIR分光法を用いると、揚げ油の劣化に伴う様々な品質パラメータを 迅速かつ低コストで評価できます。 ブルカーでは、複数の食品管理機関と協力してフライドポテト、ポテトチップス、 魚、鶏肉、ドーナツに使用された油脂を含む300以上のサンプルを収集。統計的な 評価において、測定されたFT-NIRスペクトルが既存の公定法と高い相関があることが 示されました。 酸化と重合に関わる重要な指標を同時に決定できることから、FT-NIRは食品の 品質保証や保健当局が油脂の劣化の程度を確認するための貴重なツールとなっています。 【モニタリング指標】 ■酸価(AV) ■アニシジン価(AnV) ■極性化合物(TPC) ■重合トリアシルグリセロール(DPTG) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スモールサイズからラージサイズまで、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実施！
テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。 弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TW-200、TW-300、TW-700、TW-1000 をご提供しています｡
世界初のウェアラブル呼気ガス分析装置（健康促進やアンチエイジング研究ツールとして海外で注目度UP！）
ケーブル不要でウェアラブル、VO2マスターはVO2(酸素摂取量)測定が可能な呼気ガス分析装置です。ブレスバイブレス方式（*1)を採用しており、ユニット内部で即座に分析を行います。BluetoothでiOSやAndroidフォン対応専用アプリと通信し、モニター、保存、転送が可能です。 海外では健康促進やアンチエイジングの研究にも活用されており、個々の健康状態を詳細に把握するための強力なツールとして注目されています。 主な特長 ■簡単な操作 ■3種類の換気量センサー ■軽量設計 ■データの保存と共有が可能 ■テキスト、CSV出力可能 最小のデッドエアスペースで、口元で換気量、ガス濃度、温度、気圧（高度）を同時に測定します。内蔵する温度計と気圧計により呼気の温度と湿度も測定できます。 ＊1) ブレスバイブレス方式：呼気を1呼気ごとに分析してエネルギー消費量を推定する方式です。
Niめっきの膜厚や濃度測定、表面汚染レベル測定などXPS、AES、GD-OES各装置での表面分析および測定事例をご紹介します
当事例集では、『表面分析』にかかる事例をご紹介します。 「めっき基板の洗浄評価（GD-OES測定）」の目的や手法と結果をはじめ、 「XPSによる表面汚染分析」の特長や分析事例、「鉄サビの分析 （ラマン分光分析）」の特長や分析事例など多数掲載。 他にも、解析結果や状態解析、組成測定などご紹介しております。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■めっき基板の洗浄評価（GD-OES測定） ■XPSによる表面汚染分析 ■酸化銅の状態解析（XPS・AES分析） ■鉄サビの分析（ラマン分光分析） ■変色したステンレスの組成調査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X線光電子分光分析(XPS)は試料最表面(数nm)の元素情報を得られるため表面汚染・変色の分析や表面処理その他の評価に最適です
ポリイミドフィルムの表面が疎水性になるという不良が発生しましたが、SEM/EDX分析では得られる情報深さが深いため、最表面に存在する特異な元素は検出できませんでした。 そこで表面に敏感な手法であるX線光電子分光分析(XPS)による表面分析を実施しました。 この事例では「XPSによるポリイミド表面汚染分析」を紹介いたします。 ぜひPDF資料をご一読ください。 また、弊社では本WPSに加えGD-OES、オージェなどの各種表面分析を行っております。 お気軽にご相談いただければ幸いです。 セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/ ※その他の資料もあります。問い合わせボタンからご用命いただければ送付いたします。
GD-OES（グロー放電発光分析）によりステンレス(SUS)の表面をスパッタして深さ方向の組成情報を取得できます
グロー放電発光分析法(Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry:GD-OES)は、スパッタリングにより試料表面から原子を弾き出し原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで試料の組成を分析する方法です。H(水素)が検出できるのも本装置の特長です。 この事例では「変色したステンレス(SUS)の組成調査」を紹介します。 ぜひPDF資料をご一読ください。 また、弊社では本GD-OESに加えXPS、AESオージェなどの各種表面分析を行っております。 お気軽にご相談いただければ幸いです。 セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/ ※その他の資料もあります。問い合わせボタンからご用命いただければ送付いたします。
FALCONは設備保守点検向け振動計測と解析を可能にしたツールとして状況監視を容易にし生産性向上が可能になります。
『ACOEM社 FALCON』は、安全でワイヤレスによるデータ収集が可能な 高速ポータブル型データ収集端末です。 ストロボ、高温度、カメラを搭載したオールインワンで、自動診断機能が 付いています。 ケーブルコストと結線作業時間を削減するオンラインワイヤレスセンサー 「ACOEM社 EAGLE」や、多様な稼働状況を管理し、万能でパワフル、 複雑なマシン向けのオンラインシステム「ONEPROD MVX」も取り揃えています。 【ACOEM社 FALCONの特長】 ■AIによる自動診断 ■ポータブル型 ■自動診断機能 ■生産性向上 ■オールインワン ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
