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堆積膜・反応生成物を塩化揮発で選択除去！母材の寸法や表面粗さを維持します
「小型塩素炉」は、Cl2/HClによる“選択塩素化→揮発"を用いた治具向け ドライクリーニング装置です。 MOCVD/エピ炉サセプタ、石英ボート・管等に付着したGaN/AlN/Si系生成物を 対象に、材料に応じた温度段階とガス組成で塩化物へ変換し、低温で揮発除去。 また、酸洗い不要で廃液負担を抑え、寸法変化・歪み・粒界損傷を最小化します。 【特長】 ■選択塩素化×段階温度：付着物を塩化物化→低温で揮発、 母材ダメージを抑制 ■乾式で廃液最小：酸洗いレス、洗浄・乾燥工程を短縮 ■寸法・表面を維持：負圧運転/酸素分圧制御で歪み・粗さ変化を抑える ■多材料対応：石英・SiC・C/C・金属(Mo/W/Al系)などの治具に適用可 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
塩素/塩化水素で不純物を塩化物化！蒸気圧差と段階温度で優先揮発します
「小型塩素炉」は、母材を残して乾式で分離・低汚染、洗浄レスで後処理を 簡素化する製品です。 材料中の金属不純物をCl2/HClによる選択塩素化で揮発性塩化物に変換し、 温度段階と滞留時間の制御で優先的に除去する乾式プロセス。 また、金属塩化物の蒸気圧差・生成自由エネルギー差を利用するため、 母材の組成や結晶相を損なわずに高選択で分離でき、排液がほぼ出ないため 環境負荷とコストを低減できます。 【特長】 ■選択性：塩化物の蒸気圧差を利用し、ターゲット不純物のみ優先揮発 ■段階温度プロファイル：低温→中温で順次分離、母材損傷を抑制 ■乾式・低廃棄：洗浄レスで廃液ほぼゼロ、後処理が簡便 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
必要ユーティリティーは冷却水、電力！面倒な準備は不要なオールインワン設計
前回は小型塩素炉の適用実績と、今後有望と考える用途をご紹介してきました。 今回は、小型塩素炉の主な仕様についてご紹介いたします。 これまで当社で取り扱ってきた塩素炉は装置寸法が大きく、設置スペースが 必要で、炉を運転するためのユーティリティー量も大きなものが必要でした。 Part4で紹介してきたように、塩素炉はまだまだ発展途上であるため、 さらなる用途開発のためにはR＆D用の小型サイズである必要があると考え、 この度「小型塩素炉」を新たに開発しました。 【小型塩素炉の主な仕様】 ■炉内寸法：200mm×200mm×200mm ■設置寸法：1000mm×1000mm×2000mm ■ガス雰囲気：Cl2、HCI、N2、Ar、H2 ■最高温度：1400℃ ■真空度：数Pa ■必要ユーティリティー：冷却水、電力 ※除害装置はオプションとしてご用意可能です。 ※仕様は開発中のもので、予告なく変更される場合があります。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
研究現場の課題や、解決の方向性、コンセプトなどをご紹介！
乾式·還元系の熱処理ニーズが高まる一方、現場では次のような課題が 目立ちます。 ■研究現場の課題 ・最大到達温度の制限(管状炉では材料・構造上の上限でレシピ設計が縛られる) ・仕込みサンプル量の制限(有効加熱域が狭く、スケール検討に不向き) ・極低酸素(ppm～ppb級)の維持が難しい(リーク/残留O2/ヒートショック 由来の微細クラック等) ■解決の方向性(要求仕様) ・短時間で均一加熱：高速昇温・高い温度均一性・良好な応答 ・柔軟スケール：少量試料～小スケール量産まで連続的に対応 ・雰囲気制御：Ar/N2(必要に応じH2少量)＋低残留O2設計で極低酸素を安定化 ■コンセプト グラファイト発熱体×高断熱構造×低リーク設計。 試作～条件出しに最適化した小型カーボン炉で、乾式·還元プロセスを速く、 再現よく。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
なぜ極低酸素＆3000℃級が可能か！小型カーボン炉の原理を解説します
小型カーボン炉は、極低酸素環境と超高温(～3000℃級)を両立できる点が 特長です。今回は"なぜそれができるのか"を原理からシンプルに解説します。 1)なぜ「極低酸素」になるのか？ ■炉材自体が“酸素ゲッター" 炉のホットゾーンはカーボン(黒鉛)で構成。残留O2/CO2/H2Oはカーボンと 反応してCO/CO2へ還元·固定化され、実効的に酸素活量が下がります。 結果として、酸化に弱い材料でも穏やかな雰囲気で処理しやすい。 ■真空システム内蔵＋置換 加熱前に真空引き→不活性ガス(Ar/N2など)でパージを繰り返すことで、 試料内部の空気まで事前に追い出せます。単なる“通気"では届かない 細孔・粉末間隙のガス置換に有効。 2)なぜ「3000℃級」が可能なのか？ ■発熱体＝黒鉛の高温安定性 黒鉛は不活性雰囲気·真空下できわめて高い耐熱性を示し、抵抗加熱で 効率的にホットゾーンを昇温できます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
オールメタル構成！高温域では金属表面が微量O2と反応しやすく、残留酸素の影響を低減
当社で取り扱っている「小型メタル炉」についてご紹介いたします。 ～1800℃の安定運転で、高温処理(焼結/拡散接合/時効など)に対応しており、 オールメタル構成で炉材由来コンタミを極小化し、色味・特性の再現性を 向上します。 また、大学・研究室など設置スペースが限られる環境でも据付容易な コンパクト設計です。 【特長】 ■～1800℃の安定運転：高温処理(焼結/拡散接合/時効など)に対応 ■クリーン度：オールメタル構成で炉材由来コンタミを極小化 ■低酸素雰囲気の再現性：N2/Arによるパージ・置換を標準手順化 ■コンパクト設計：大学・研究室など設置スペースが限られる環境でも据付容易 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
"焼成するだけ"から"測って最適化する"へ！必要な計装機器をオプション選定できる
当社で取り扱っている「管状炉」は、お客様の用途に合わせて必要な 計装機器をオプション選定します。 ～1200℃の安定運転で、加熱ゾーンはΦ120mm×500mmL。管サイズは Φ70mm×1000mmLです。 また、N2・Arなどの不活性ガスやH2などの様々なガス種に対応しております。 ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせください。 【特長】 ■安定運転：～1200℃(更なる高温はご相談可) ■加熱ゾーン：Φ120mm×500mmL ■管サイズ：Φ70mm×1000mmL(サイズ/ゾーン長はカスタム可) ■雰囲気：N2・Arなどの不活性ガスやH2などの様々なガス種に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
