更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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AFMによるステップ-テラス構造の可視化
ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム(GaN)は、パワーデバイスや通信・光デバイスなどの幅広い分野で用いられています。デバイスを作製するうえで、ウエハ表面の形状と粗さはデバイス性能に大きく影響します。GaNウエハを成長させる際、支持基板との格子不整合などによる応力の影響で、表面にステップ-テラス構造が形成されます。本資料ではAFMを用いて、GaN基板表面のステップ-テラスの構造を可視化し、テラス幅、ステップ高さ、表面粗さ、オフ角を評価した事例を紹介します。 測定法：AFM 製品分野：パワーデバイス、 電子部品、 照明 分析目的：形状評価、 構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
導通不良を起こした接点表面を電子顕微鏡観察することで調査した事例をご紹介！
当社では、分析ソリューション事業を行っています。 本資料では、導通不良を起こした接点表面を非接触、 非破壊の状態で40～250倍の電子顕微鏡観察を行い、 接点表面の付着物の観察を行った事例を掲載しています。 付着物の蛍光X線分析による元素の定性、顕微赤外分光分析による 化合物の定性により接点付着物の特定を行うことで、特定した付着物から 接点への付着メカニズムが解明でき、導通不良原因を調査できます。 【掲載内容】 ■概要 ■特長 ■分析事例 ・電子顕微鏡観察 ・蛍光X線分析、顕微赤外分光分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
30nmから5μmの切片作製が可能！材料系解析事例を複数ご紹介した資料です！
当資料は、株式会社花市電子顕微鏡技術研究所が行った材料系解析を まとめた事例集です。 「ウルトラミクロトーム」では、生物組織、金属メッキ層や無機蒸着 層を含む複合材料、ナノ粒子など幅広い分野における高品質な超薄切片 および断面作製に適応可能です。 当社では、受託分析を始めました。協力機関とタイアップして材料分析を 実施致します。 【掲載事例】 ■リポソームの構造解析 ■HIPSの構造解析 ■レンズ断面の構造解析 ■菓子袋の断面観察 ■分散法による金属粒子の形態観察（金属微粒子/金属担持カーボン） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光学顕微鏡より遥かに高分解能！ミクロでの表面観察や表面凹凸の確認に適しています
「卓上走査型電子顕微鏡」は、真空中に細く絞った電子線で試料表面を 走査し、試料から出てくる情報を検出して拡大表示させる顕微鏡です。 光学顕微鏡より遥かに高分解能で、ミクロでの表面観察や表面凹凸の 確認に好適。 また、表面観察のほかに、X線検出器を用いたEDS元素分析により、 試料表面にどんな元素がどの程度含まれているかを確認することが可能です。 【特長】 ■加工が難しい試料やそのまま観察したい試料等に有効 ■最大W100mm×D100mm×H40mmまでの試料を試験台にセットできる ■ユーセントリックホルダを活用することで、試料の傾斜・回転が可能 ■ミクロでの表面観察や表面凹凸の確認に好適 ■線検出器を用いたEDS元素分析により、試料表面にどんな元素が どの程度含まれているかを確認することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です
走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）及び走査イオン顕微鏡（Scanning Ion Microscope：SIM）は、どちらも二次電子像を得ることで試料表面近傍の構造評価を行う手法です。一次プローブの違いによってコントラストの現れ方や空間分解能などの違いがあり、着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です。本資料では2手法の比較をまとめるとともに、測定例としてCu表面を観察した事例をご紹介します。
EDXが装着されており、試料観察と同時に元素の種類・量・分布状態を調べることが可能です！
『FE-SEM』は、電子線を絞り細い電子線を試料に照射し、表面を観察する 電界放出型走査顕微鏡です。 超高分解能観察が可能。汎用SEMと同様に電子線を絞り電子ビームとして 対象に照射し、対象物の表面から放出される二次電子や反射電子を検出 することで、対象の表面の観察を実施。 また、JSM-7100Fでは、EDS及びEBSD解析装置が装着されているため、 高分解能の観察だけでなく元素分析や結晶性試料の方位解析(EBSD解析)が できます。 【特長】 ■サブミクロンオーダーでの観察が可能 ・汎用SEMより高倍率で形態観察が可能で、より鮮明な像を取得可能 ■EDX(エネルギー分散型分析装置)による定性分析 ・EDXが装着されており、試料観察と同時に元素の種類・量・分布状態を 調べることが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
大気中の分析により変質を抑えた定量評価が可能
毛髪表面にあるキューティクルの状態を、AFMにより解析した事例をご紹介します。 AFM は、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。大気中で分析を行うため、有機物の変質や脱ガスなどを起こさず、試料本来の形状を評価可能です。本事例では、キューティクルの開き具合や付着物成分の分布、領域ごとの粗さ評価を画像で評価した他、数値処理により定量的に凹凸を評価しました。シャンプー後の毛髪の状態評価や、整髪料を塗布後の塗布状態の評価に有効です。
ユニットクーラーから「黒い異物」が飛散！トラブルが無事解決した事例のご紹介
工場のユニットクーラーから「黒色の異物」が飛散しているので調べてほしいとの依頼をいただきました。 【事例】 ■課題 ・ユニットクーラーから「黒色の異物」が飛散しているので調べてほしい ■解決策 ・「走査型電子顕微鏡～エネルギー分散型X線（SEM-EDX）」で元素分析 ・「フーリエ変換赤外分光法」による有機物の分析、異物の表面と切断面を比較
高度なサンプル加工により柔らかな新聞紙でも潰さずに断面観察ができます！
様々な断面加工技術により、柔らかな新聞紙や、紙中の異物、表面コート状態も観察する事が可能です。 光学顕微鏡で観察する事により、色彩も確認可能な為、多層で定着しているカラートナーの観察も可能です。
難電導性試料の無蒸着観察可能！繊維等の表面観察に最適な走査型電子顕微鏡検査
『走査型電子顕微鏡（SEM）』は、細く絞った電子線を試料に照射、走査し、 二次電子や反射電子を検出してその強度をモニター上に映像として表示する ことによって対象物の拡大像などを得る装置ですです。 像質が落ちるため高倍率観察には向きませんが、低真空モードを使い、 難電導性試料の無蒸着観察も可能です。 【観察項目】 ■5～300,000 倍での表面観察 ■附属装置のエネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）による元素分析（B～U） ■微小領域の元素同定（定性分析・半定量分析） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
試料表面の凹凸形状の3D測定や透明体越しの表面形状測定などが可能です！
当社では、形状測定レーザマイクロスコープ「VK-X200」を用いた 受託分析を行っております。 408nmレーザーを用いて観察、計測を実施。測定結果は国家基準につながる トレーザビリティ体系に基づいており、測定機器として非破壊測定に活用できます。 レーザー顕微鏡では、試料表面の凹凸形状の3D測定ができ、透明体の膜厚形状や 透明体越しの表面形状測定が可能です。 【特長】 ■試料表面の凹凸形状の3D測定が可能 ■透明体の膜厚形状や透明体越しの表面形状測定が可能 ■408nmレーザーを用いて観察、計測 ■測定結果は国家基準につながるトレーザビリティ体系に基づく ■測定機器として非破壊測定に活用できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AFMにより、皮膚表面におけるナノスケールの凹凸を可視化
医薬品・化粧品の有効性・安全性試験において、近年動物実験代替法の開発が進められており、中でも三次元培養皮膚による試験方法が注目されています。本事例では、化粧品（ローション剤）の経皮吸収試験を実施した三次元培養ヒト皮膚を、AFM（原子間力顕微鏡法）で測定しました。皮膚表面の微小形状を視覚的に評価でき、また、任意の箇所の粗さを数値データで評価することも可能です。大気条件下で測定することにより、真空条件下での試料変質を抑えた観察が可能です。
感覚的な製品の出来映えを定量評価可能
スマートフォンの普及率は年々増加し、それに併せて表面に貼る保護フィルムも機能が多様化しています。 今回、指紋防止及び反射防止機能を持つ2種(A、B)のフィルムについて、AFM分析により、手触りのような感覚を粗さという観点で定量評価した事例をご紹介します。
マイクロスコープや電子顕微鏡などを所有！各種分析装置を用いて常に安定した品質のめっきをご提供
当社の技術開発室では、各種分析装置を用いて、 3工場のめっき液を分析・管理、めっき作業による薬品の消費量を把握し 補給量をコントロールすることで、常に安定した品質のめっきを ご提供できるよう努めています。 また、2015年に走査型電子顕微鏡を導入し、めっき被膜の表面分析や評価を行っております。 ミクロン単位での観察により肉眼では意識できない問題点を明確にするとともに、 お客様のニーズに合わせた表面状態のめっき条件を研究。 【所有設備（一部）】 ■マイクロスコープ ■電子顕微鏡 日本電子製：「SM-6010PLUS/LA」 ■研磨機 三啓Aqua製：自動研磨機「HA-FSA-83」 ■切断機 三啓Aqua製：切断機アルトカット「CK260-90」 ■SIMADZU製：分光光度計「UVmini-1240」 ■マツザワ製：ディジタル微小硬度計「SMT-3」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です
走査イオン顕微鏡（Scanning Ion Microscope：SIM）は固体試料にイオンビームを照射し、発生する二次電子を検出する手法です。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じるため、SIMによってCuやAlなどの金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を簡便に得ることが可能です。本資料では測定例としてCu表面をSIMによって観察した事例をご紹介します。
