ファーストゲートの製品・サービス一覧

『6EZ』はSiC基板とデバイスの歩留まり向上を提供できる ドライアウト全自動ポリッシュ装置です。 Revasum社の7AF-HMGグラインダー装置と6ZEポリッシュ装置を同時に 使用することでプロセスの簡素化を提供。 当社は半導体製造装置や装置用精密部品の輸出入商社として、 広く世界に革新技術を求め、お客様の求める製品を迅速にご提案いたします。 【特長】 ■150mm及び、200mm対応 ■ドライイン、ドライアウト ■片面及び、両面ポリッシュ対応 ■目標ポリッシュレート 10μm/時間 ■1μm除去で、≦1Å表面平坦性を提供 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置

TIHシリーズ： 多種多様なアプリケーションに対応。接液面をフッ素樹脂にすることで、強酸、強アルカリ及びオゾン水など多用途で使用可能なヒータ。

• その他ヒータ

White Knight社が開発した低価格且つ小型のベローズポンプで、接液部にＯ-リングを使用しておらずコンタミ等の発生の心配がありません。また、ボディシール部にはWhite Knight社独自のシール技術を用いているため、増し締めなどのメンテナンス作業が不要です。ポンプ本体も含め100％ノンメタルの為、汚染、腐食の心配がありません。

• その他ポンプ

「マニュアル型透明基盤検査装置」はYGK（山梨技術工房）製の、ワーク設置 マニュアル形式ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置です。 小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測定が可能で、これまで 難しかったガラス基板の表裏分離測定やSiC表面の潜傷の検出を可能にしました。 また、お客様のシリコンウェハ／ガラス基板等、製品サンプル及び製品を お預りし、YPIシリーズでサンプル測定も実施しております。 【特長】 ■従来にない高速、高精度、低価格 ■省スペース ■測定時間短縮　など ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• その他検査機器・装置

『ベローズポンプ』は、White Knight社製のテフロン製薬液供給ポンプです。 「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの 特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持っており、 各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに最適なポンプを 提供致します。 【特長】 ■低脈動 ■210℃まで対応可能 ■テフロン製ポンプ ■金属、O-リング等一切使用していない ■コンタミ等の発生の心配がない　など ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• その他ポンプ

「精密流量コントロールバルブ」は、高精度、高速で流量制御を行う酸・有機系 薬液などの定量吐出管理用のFuturestar社製液体フローコントローラーです。 流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類より、 ご選択頂けます。 また、液体流量コントローラー単体でも販売しています。(商品名：AutoValve) 【特長】 ■液体流量コントローラと流量計を1つのシステムに統合 ■セットした流量をモニタリングしフィードバック ■高再現性と高信頼性を実現 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• その他半導体

Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が オールテフロン製です。 制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で 使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、 CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー も取り揃えております。 【特長】 ■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御 ■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能 ■被計測流体の特性による調整、設定が不要 ■30％以内の気体含有液を制御可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 流量制御

『自動搬送型透明基盤検査装置』は、YGK（山梨技術工房）のガラス基板 表面検査装置／サファイア表面検査装置です。 透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応しています。 センサ自動焦点機構で、高精度な表裏分離を可能にしています。 対応基板サイズは、最大200mm×200mmです。 200mm以上をご希望の場合は、ご相談下さい。 【特長】 ■自動搬送 ■高精度な表裏分離 ■高性能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• その他検査機器・装置

『イオン注入装置　ディスク再生サービス』は、バリアン、SEN、AMATすべての バッチ式インプラディスクのフル再生、ヒートシンク再生ディスク修理、 Finger、Restraint等の部品販売も承るCore Systems社のサービスです。 ハイカレント・高エネルギーイオン注入装置バッチ式エンドステーション ディスクは、長時間にわたるイオン照射によりウェハへのパーティクル付着、 元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力低下やウェハ脱着の 不具合といった、管理上見過ごすことの出来ない問題が発生します。 部品洗浄やエラストマー交換を始めとするディスク再生を定期的に実施し、 これらの問題を未然に防ぐ必要があります。 高品質なディスク再生を低価格にてご提供いたします。 【特長】 ■各メーカーのイオン注入装置に対応 ■OEM仕様同等以上のウェハインターフェースをご提供 ■新品パーツ購入よりも、格段に低価格でご提供 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• イオン注入装置

『ファーストゲート株式会社　総合カタログ』は、半導体製造装置、検査装置の 輸出入販売、技術サポートなどを行っている、ファーストゲート株式会社の 総合カタログです。 当カタログでは、半導体製造部品「テフロン製フローメーター」や、「フローコントローラー」、 「テフロン製薬液供給ポンプ」、「各種ヒータ」等の製品をご紹介しています。 【掲載内容】 ■会社概要 ■沿革 ■プロダクトラインアップ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• イオン注入装置

Malema社製のフローコントローラーは、高純度薬液用に接液部をオールテフロン製で、制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラーも取り揃えております。

• 流量制御

ファーストゲートは、果てしない進化を続けるエレクトロニクス業界、半導体業界において、常に革新となりうる夢のような装置と技術を提供していく会社でありたいと考えます。 ファーストゲートという社名は、『どこよりも早くお客様が求めるソリューションを提供するFAST（早い）GATE（道）になりたい』という願いを表しています。半導体商社として広く世界に革新技術を求め、また半導体製造装置メーカーとして自社技術への飽くなき挑戦を続けて行きます。孟子曰く『天の時は地の利に如かず、地の利は人の和に如かず』。 ファーストゲートは与えられたチャンスを活かして自社の技術力を向上させ、社員一人ひとりが能力を発揮して研鑚しあい協力しあう人の和を強みとする企業として、限りない飛躍を目指します。そしてお客様、株主の皆様、社員、社員の家族を大切にして出会えた縁（えにし）に感謝する、社会に貢献し続ける企業でありたいと思います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• その他半導体

イオン注入装置のエンドステーションディスクは長時間にわたるイオン照射により、ウエーハへのパーティクル付着、元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力の低下やウエーハ脱着の不具合といった、問題が生じます。 定期的なディスク再生を行うことにより、装置の稼働率、製品の歩留向上につながります。

• イオン注入装置

Futurestar社製フローメーターは200℃までの高温流体対応オールフッ素樹脂製フローメーターです。 洗浄装置、薬液供給装置などの酸、有機系供給の流量制御、表示に使用されております。　昨今、要求が増加している高温プロセス対応のものや、小流量（75cc/min. H2O）から大流量（75 L/min.H2O）までの豊富な取り揃えで、お客様のニーズに最適なフローメーターを提供致します。オプションにて、流量のアナログ出力、接点出力が可能です。 ◆フローレンジ：0-10ｍl/min〜6000ml/min(MAX) ◆オリフィスバルブ：高リニアリティ特性 ◆使用材質：PTFE、PFA、CTFE(Wetted Parts) ◆最高使用薬液温度：200℃ ◆最高使用圧力：0.59Mpa(100psi) ◆オプション：アナログ、接点出力。この他にも多数種類を取り扱っております。 詳しくはお問い合わせください。

• 流量制御

流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類よりご選択頂けます。また、液体流量コントローラー単体でも販売しております（商品名：AutoValve）。 詳しくはお問い合わせください。

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置
• 食品洗浄装置

White Knight 社製テフロン製薬液供給ポンプは、「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに適したポンプを提供致します。 ◆使用材質：PTFE、PFA、Polypropylone（非接触部分） ◆最高使用薬液温度：210℃、高温薬液での高流量出力可能 ◆流量：20〜110 l/minの3タイプ ◆メンテナンスフリーで一年間の動作保証。 詳しくはお問い合わせください。

• その他半導体製造装置
• その他ポンプ