半導体製造装置の製品一覧
- 分類：半導体製造装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
ベルト研磨機『ベーダーマシン』耐久性が高く、サービスパーツが豊富
『ベーダーマシン』は、1機1機が優れた研磨性能を誇る当社のベルト研磨機です。 被研磨物の形状・サイズに応じた機種・タイプを選び、 作業内容に適した研磨ベルトを装着することで、 幅広い分野の多種多様なものにフレキシブルに対応できます。 高効率研磨・研削による作業時間の短縮・省力化、 作業の標準化などに幅広くご活用ください。 【ラインアップ】 ■ポータブル型 BP-K(エアモーター型) ■受注生産機 PC-1(ホイールセンターレス)、BC(防塵カバー標準装備) ■設置型 BM(基本型)、SBA-1、BH-2 ■車輪型 SBD-4S、SBD-7、BWd ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向上・プロセス安定ニーズにお応えするレジスト現像装置です！
- レジスト装置
厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状（円形、扇等）、圧力、流量などを自由に選択できます。
- レジスト装置
高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像装置。厚膜などの現像時間を短くするのに有効です。
- レジスト装置
ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットでありながら、どんな反りウェハでも搬送可能です！
- コーター
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！
- コーター
レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォトリソ工程装置の総合メーカーだから実現可能な特殊装置です。
- コーター
短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！
- レジスト装置
【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウンタイムが少なく、生産性が高いリフトオフ装置を実現！
- レジスト装置
光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、完全非接触ギャップ管理、オートアライメント機能搭載です。
- その他半導体製造装置
パスラインが一定でライン化に好適！材料のはね返りを防ぎ安全性を向上した逆転防止ロール付
- その他加工機械
- ウエハ加工/研磨装置
各ヘッドは単独での昇降が可能！厚み規正から仕上げまで効率良く高精度な加工ができます
- その他加工機械
- ウエハ加工/研磨装置
- その他切削工具
最小加工長さ90mmの"SFC20(乾式)"、金属表面・研削研磨加工機"SSシリーズ"等をラインアップ！
- その他加工機械
- ウエハ加工/研磨装置
【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラブル発生率低下も。作業者を危険から守る安全対策のヒント集
- その他半導体製造装置
- バルブ
- CVD装置
『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様 必見！分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブの事例を進呈中
- その他半導体製造装置
- バルブ
- CVD装置
『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック！バルブ誤操作対策の事例を進呈中
- その他半導体製造装置
- CVD装置
- 酸化/拡散装置
『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所での閉止確認にお困りの方必見！ 安全対策の事例を進呈中。
- CVD装置
- 酸化/拡散装置
- その他半導体製造装置
『流路まるごと事例集』半導体ガス供給装置輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中
- その他半導体製造装置
- CVD装置
- 酸化/拡散装置
半導体原料容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中。
- その他半導体製造装置
- バルブ
- ステンレス容器
『流路まるごと事例集』バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できるＰＦＡ樹脂シートのダイヤフラムバルブの事例を進呈中
- 蒸着装置
- その他半導体製造装置
- バルブ
除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温（180℃）バルブで副生成物を抑制した事例を進呈！
- CVD装置
- 酸化/拡散装置
- その他半導体製造装置
『流路まるごと事例集』ワイヤーや錠の取付け不要！ヒューマンエラーによるバルブの誤作動を防止するロック付きバルブの事例を進呈中
- CVD装置
- その他半導体製造装置
- バルブ
銀、銅（6N）、錫（6N）など様々な大型スパッタリングターゲットの切削加工はおまかせください！
- 加工受託
- 製造受託
- その他半導体製造装置
【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高精度な動作が可能な真空用ウエハ搬送ロボット
- 搬送・ハンドリングロボット
- その他半導体製造装置
- その他搬送機械
LED照明とフィルタ・小型ファンが付いたスタンド式の縦型ハンダ吸煙機です 現場作業者の使い勝手を追求して開発した便利な製品です
- その他半導体製造装置
さまざまな光学面にも対応可能なレンズ研磨機や、平面形状を裏面の影響を受けることなく測定できる干渉計などをラインナップ
- ウエハ加工/研磨装置
『メカトロテックジャパン』 ポートメッセなごや 2025年10月22日(水)～25日(土) に出展いたします
2025年10月22日(水)～25日(土)にポートメッセなごやにて開催されます 『メカトロテックジャパン』に出展いたします。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 会 期： 2025年10月22日(水)～25日(土) 10:00-17:00 ※最終日25日（土）は16：00までとなります 会 場： ポートメッセなごや ブース： 3B47（3ホール） 今回の出展物 ●移動型人協働ロボット『AGBOT』 ●外観検査withロボット『EYESBOT』 ●バリ取り仕上げシステム『Bari-Motion』 ●高機能ステッピングサーボ『Si servo3』
バリューインパクト有限会社は『つなぐ』に価値をご提案します。 真空配管、高圧ガス配管に使用されるチューブ継手を掲載。
- その他半導体製造装置
汎用性の高いUV、グリーンおよびIRピコ秒レーザー： ピコ秒マイクロマシニングの新しいスタンダード
- ウエハ加工/研磨装置
ボンディングパッドの洗浄(ボンダビリティ向上)、表面改質・親水化(モールディング前処理)に最適な平行平板方式のプラズマクリーナー
- その他半導体製造装置
各コーティング方法の違いや特徴、コーティング事例、お問い合わせの多い質問をまとめた『薄膜Q＆A』を無料でプレゼントします！
- 表面処理受託サービス
- スパッタリング装置
- セラミックス
分析のご依頼もお任せください！『分析機器一覧表』無料ダウンロード！
薄膜の評価は、その薄膜をどういう目的で利用するかにより決まってきます。 例えば、その薄膜を機械的強度を高めるための成膜に用いるのであれば、評価対象として、硬度や付着性などが重要なファクターであり、 光学的特性を付与するのであれば、反射率や透過率と言った数値が重要となります。 東邦化研では「イオンプレーティング部」「材料解析部」「環境分析センター」といった三事業を柱としていることから、幅広い分析機器を保有しております。 薄膜コーティングの依頼と併せて、分析・評価まで対応可能です。 薄膜コーティング以外の”検査・分析のみ”のご案件も承っておりますので、まずはお気軽にお声掛け下さい！
化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのアニール装置。高温処理型で急冷機構装備。透明電極膜にも対応
- アニール炉
- 加熱装置
小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセスにもウェハプロセス（合金化や電極アニール）にも対応。
- アニール炉
- 電気炉
- その他表面処理装置
内径わずか1mmのパイプの内側にも施工可！潤滑、耐蝕、離型に優れているので用途は厨房機器から宇宙機器に至るまで様々です。
- その他表面処理装置
- CVD装置