スパッタリング装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

主に半導体製造装置関連の据付、組立、改造、保守などの組立サービスをお請けします。

• その他半導体製造装置
• 製造受託
• スパッタリング装置

＜Ｑ＆Ａ集付＞ 手元に欲しい一冊！

• 技術書・参考書
• 技術セミナー
• スパッタリング装置

簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/sの広域型ターボ分子ポンプを搭載。

• プラズマ表面処理装置
• 有機EL
• スパッタリング装置

1インチUHV対応スパッタカソード2源！ロードロック室は増設することが可能です！

• スパッタリング装置

酸素や水分を排除したい研究製膜環境！多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応します！

• スパッタリング装置

基板寸法は最大3インチで3枚収納可能！加熱機構・逆スパッタ機構を備えています！

• スパッタリング装置

トランスファーロッドにより、各室間を搬送！大気解放することなく連続成膜可能！

• 蒸着装置
• スパッタリング装置

単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをラインアップ！

• スパッタリング装置
• その他機械要素

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹介します！

• プラズマ表面処理装置
• スパッタリング装置
• 分析機器・装置

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

• 真空機器
• スパッタリング装置

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• 真空機器

2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品。高温でのスパッタやイオン注入に対応する静電チャック。

• スパッタリング装置

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優れた油中トライボロジー特性、導電性カーボン薄膜にも対応

• スパッタリング装置
• その他工作機械
• プラズマ表面処理装置

スパッタリングターゲット材について

• スパッタリング装置

低温環境で使用される、C1020製の低温装置用銅板プレートです。

• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

ヒートシンクに金メッキした事例でございます。

• スパッタリング装置

成膜装置で使用されるバッキングプレートです。

• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

酸化被膜防止を目的としたプレスパッタリングが必要なく工数削減が可能！熱膨張による割れも抑えたスパッタリングターゲットです。

• スパッタリング装置

高機能織物を使用してスパッタ、火、熱を防ぎ、飛散防止用途にも！

• スパッタリング装置
• 溶接ロボット
• 溶接機械

スパッタ装置

• スパッタリング装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜テスト、専用装置まで一括対応。グローブボックス標準装備。

• プラズマ表面処理装置
• スパッタリング装置

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイルス

• スパッタリング装置
• 加工受託
• 表面処理受託サービス

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試作・研究開発のための新型マルチチャンバスパッタリング装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備！各試料ホルダーへの試料の移載が可能

• スパッタリング装置

ほぼ理想的な混合物が作成可能！直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応

• スパッタリング装置

高エネルギーを利用して材料そのものを叩き出す、再現性に優れた成膜技術！

• 加工受託
• ウエハー
• スパッタリング装置

アルミ切削／アルミ加工／アルミ機械加工

• CVD装置
• スパッタリング装置
• コーター

旋盤加工／アルミ加工／精密部品加工

• CVD装置
• スパッタリング装置
• アニール炉

500～1200ｍｍサイズの加工を得意とし、1000分台の精度保証対応が可能です。まずはご相談ください。

• ステッパー
• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置

切削加工/金属加工

• スパッタリング装置
• アニール炉
• レジスト装置