その他半導体製造装置の製品一覧
- 分類:その他半導体製造装置
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石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧
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