プラズマ/の製品一覧
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フォトマスクの新規開発に携わる方必見！コンパクトな設計で、様々なサイズのフォトマスク・ウエハの処理が可能なドライエッチング装置
- エッチング装置
電動式を採用しているため、油圧ユニットの油交換等が不要！メンテナンスフリーで使用できる粉塵自動圧縮機『APOLLO40』をご紹介
- 集塵機
いしかわ企業スゴ技ジャーナルで『西野製作所』が紹介されました！【動画あり】
昨年11月に収録が行われた「いしかわ企業スゴ技ジャーナル」（石川テレビ）が、先日放送されました！ 石川テレビさんの公式youtubeチャンネルにアップされていますので、是非ご覧ください！ 「いしかわ企業スゴ技ジャーナル」は、石川県内の企業が誇る先端技術や 独自の取り組みを紹介する情報誌です。 伝統と革新が融合する石川県のものづくりやサービス、先進技術にスポットを 当て、企業の魅力や成功の秘訣を分かりやすくお届けしており、 地元企業のスゴ技を知ることで、新たなビジネスの可能性や地域経済の 発展に貢献することを目指しています。 石川の産業の未来を担う企業の挑戦をぜひご覧ください。
難燃性・屈曲性に優れた高機能耐熱ホース（最高1,100℃）は、プラズマ切断機やガス切断機のヒューム回収用で多数実績があります！
- ホース
「MEMS Engineer Forum 2025」 - 技術展示のお知らせ
2025年4月16日～17日に開催される「MEMS Engineer Forum 2025」の技術展示コーナーに出展致します。 ＜展示内容＞ １ 高密度ラジカルによる低温・低ダメージエッチング・クリーニング装置の紹介 特許取得済みのHDRF技術により、MEMSの歩留原因を取り除きます。 ２ これからの高周波デバイスや高速光変調導波路加工に不可欠な加工技術（イオン・ビーム・エッチング）の紹介 多層構造物の加工に最適なイオン・ビーム・エッチング。加工面の角度調整、側壁の粗さ調整が可能です。 ３ 化合物半導体のバッチ処理に適したプラズマ・エッチング、成膜装置の紹介 「シャトル」（ウエハキャリア）に複数枚のウエハを搭載し、バッチ処理が出来ます。少量量産に適した装置。 ご来場お待ちしております。
Φ3inch、Φ4inch ウエハーサイズ対応プラズマCVD 装置。不純物を抑制し清浄・高品質なグラフェンを高速合成。
- CVD装置
BHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃
高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。 PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、高温真空アニール、高温解析用基板ステージ、などに応用いただけます。 様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。 【特徴】 ● 予備ヒーター素線との交換が容易 ●設置、メンテナンスが容易（M6スタッドボルト、支柱） 【対応基板サイズ】 ◉ Φ1inch〜Φ6inch 【標準付属品】 ● 熱電対：素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き ● 取付用スタッドボルト 【オプション】 ● 標準外ヒーター素線（Nb, Mo, Pt/Re, WRe他） ● 基板保持クリップ ● 取付ブラケット ● 基板ホルダー ● ホルダー設置用タップ穴加工 ● トッププレート材質変更（PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他） ● 過昇温用追加熱電対 ● ベースフランジ、真空導入端子
指向性成膜を実現し、リアクティブスパッタリングも可能な高イオン電流ヘリコンプラズマイオンソースPVDモジュール
- スパッタリング装置
- プラズマ発生装置
O2クリーニング用では検知しにくいイオン性のプラズマを効率よく検知可能！
- その他実験器具・容器
- その他検査機器・装置
金属加工用ガススクラバーの世界市場：バーンスクラバー、プラズマスクラバー、ヒートウェットスクラバー、ドライスクラバー、排...
- その他の各種サービス
気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞
産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空・圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■ 再現性の高い、高精度なガス供給 ■ 優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■ 長期にわたる安定したプロセス制御 ■ 高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、 プロセスの歩留まりを最大化
大気圧プラズマでシリコーンゴム同士を接着！接着剤を使わず 難接着性素材を高速で強固に接着する技術を開発
接着剤レスでシリコーンゴムを高速で強固に接着する技術を開発！ ～大気圧プラズマを利用し薬剤・加熱不要の脱炭素プロセス～ 釣糸など繊維の製造・販売を行う株式会社サンラインは、 難接着性素材であるシリコーンゴムを大気圧プラズマで表面改質し シリコーンゴム同士を接着する技術を開発しました。 プラズマ照射した面を貼り合わせるだけで 瞬間的にシリコーンゴム同士を接着することができます。 貼り合わせた後の加熱や加圧は不要。 大気中の常温・常圧下に置いておくだけで 材料破壊するほど強固に接着できました。 ▼ 詳しくはこちらをご覧ください https://plasma.sunline.co.jp/case/611/ -+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+- 接着剤や薬品を一切使用しない 『安全性が高く環境にやさしい』 『熱処理を必要としない脱炭素プロセス』です。 本技術の応用先をご提案・協業いただける企業様を募集しております。 どうぞお気軽にご連絡ください！
真空紫外吸収分光法でフッ素ラジカルの絶対密度計測！計測応用もさまざま
- その他計測・記録・測定器
- その他電子計測器
【2024年12月11⽇（⽔）〜13⽇（⾦）】SEMICON Japan 2024出展のお知らせ
弊社は2024年12月に開催される「SEMICON Japan 2024」に出展いたします。 半導体製造装置に最適なプラズマ電源ソリューションの最新製品情報を展示するとともに、お客様のご相談を承ります。ご来場、弊社ブースへのお⽴ち寄りを⼼よりお待ちしております。 ■トルンプ出展のみどころ プラズマ励起用13.56MHHz RFジェネレーターと整合器（マッチボックス）を展示 プラズマ励起用13.56MHz RFジェネレータ「TruPlasma RFシリーズ1000-2.5/13」と整合器（マッチボックス）「TruPlasma Matchシリーズ1006/13 G2」」の実機展示の他、VHF・DC・RF・バイポーラの各ジェネレータについて、実サイズのフロント面・リア面の展⽰を⾏います。操作性やケーブル接続性をご確認ください。 また、アンケートにご協⼒いただいた⽅には、トルンプロゴ⼊りウォーターボトルや、2025年⽤デスクカレンダーをプレゼントします。（いずれも数に限りがありますので、配布終了の際はご容赦ください。）
オゾナイザー、排ガス浄化、エネルギーの製造(カーボンニュートラル)に用いるプラズマ放電デバイス向けのアルミナ多層基板におすすめ！
- セラミックス
- ファインセラミックス
- その他電子部品
プラズマ処理効果の簡便な見える化 耐熱性200℃を有するプラズマインジケータTMPLAZMARK「耐熱性」の新しいラインナップ
- そのほか消耗品
ヘガネスジャパンは “国際ウェルディングショー2024”に出展します
ヘガネスジャパンは4/24(水)～4/27(土)に開催される国際ウェルディングショーに出展致します。 今回の国際ウエルディングショーでは大阪開催過去最大の出展社数となり、次世代人材の育成をテーマとしたイベントや、金属AMをテーマとした新基軸の展示の他、産学官連携企画など、展示・実演からセミナーが一体となった国内溶接界最大のイベントとなります。 弊社ブースでは、「３Dプリント向け高純度金属粉末、高温ろう付け向け低コストステンレスろう材、レーザクラッド向けクロムメッキ代替え材料」等を紹介予定です。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
強力なプラズマ分子照射とヒータチャックを組み合わせることにより、通常のプラズマクリーナーでは除去することが難しい有機物等を除去。
- プラズマ表面処理装置
最高350℃の高温環境下で使用可能。剥離時に加熱やUV照射などの追加工程不要。リフロー工程や、プラズマ・フラックス洗浄にも対応。
- その他高分子材料
- そのほか消耗品
人とくるまのテクノロジー展 2025 NAGOYA 出展情報【株式会社岡崎製作所】
この度弊社では、『Aichi Sky Expo(愛知県国際展示場)』にて開催される 『 人とくるまのテクノロジー展 ２０２５ NAGOYA 』に出展致します。 期間は、2025年７月16日（水）～18日（金）の３日間。 展示品には世界最小径のφ0.08mm超極細シース熱電対、-269℃でも高精度で計測可能な測温抵抗体、 小型表面温度センサ、100MPa以上の超高圧に対応するセンサ、マイクロヒータ類を展示する予定です。 【小間番号】：216 展示会へお越しの際は、是非、岡崎製作所のブースへお立ち寄り頂けますと幸いでございます。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
