塗布装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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塗布装置 - メーカー・企業107社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年03月25日~2026年04月21日
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塗布装置のメーカー・企業ランキング

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  1. 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ 埼玉県/電子部品・半導体
  2. 兼松PWS株式会社 神奈川県/産業用機械
  3. 株式会社サンツール 大阪府/産業用機械
  4. 4 株式会社ワイ・ドライブ 大阪府/産業用電気機器
  5. 5 Shimada Appli合同会社 コーティング開発部 埼玉県/産業用機械

塗布装置の製品ランキング

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  1. SUSS MicroTec社製インクジェット塗布装置『LP50』 兼松PWS株式会社
  2. マイクロ静電塗布装置 Shimada Appli合同会社 コーティング開発部
  3. パレタイズグルー塗布システム『グルーマスター』 株式会社A&Cサービス
  4. 4 サメス・クレムリン株式会社 会社案内 サメス株式会社
  5. 5 外部電極塗布両端子(ディップ)電極塗布装置 株式会社クリエイティブコーティングス

塗布装置の製品一覧

61~90 件を表示 / 全 193 件

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【課題解決事例】ディスプレイパネルへの貼り合わせをホットメルト化

建材メーカー様への課題解決事例のご紹介です。ホットメルトのカーテン塗工によって品質と生産性の向上を実現しました。

【某建材メーカー様からのご相談】 水性接着剤でディスプレイパネルに塗布しているが、接着剤の性質上塗布後、紙がシワになりやすい為ホットメルトで均一に塗工したいとの事で当方へご連絡頂きました。 【導入システム】 カーテンスプレー塗布装置一式 ※カーテンノズル最大塗布幅1230mm 【特徴】 ■高粘度から低粘度の接着剤に対応 ■ホットメルト(接着剤)の凝集力や粘性を利用して細い繊維を吐出し、均一に薄膜塗布が可能 【導入効果】 歩留まり率の改善、省工程によるコスト削減を実現 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【課題解決事例】捕虫剤塗布を内製化

粘着製品メーカー様への課題解決事例のご紹介です。コーターヘッド(スロットコート)塗布装置で捕虫剤の自動塗布を実現しました。

【某粘着製品メーカー様からのご相談】 他社の捕虫剤を購入し製品に接着していたが、自社で捕虫剤の開発に成功した為、 製品への塗布までを自社で行いたいとの事で当社へご連絡頂きました。 【導入システム】 コーターヘッド(スロットコート) ペールメルター 【特徴】 ■接触式塗布用のコーターヘッド ■シムのパターンによって、塗布パターンを任意に設定できます。 ■高速間欠接着が可能で高粘度から低粘度の接着剤にも対応 ■薄膜接着で美しくコーティング ■塗工時の巻き上がり防止、ホットメルト接着剤のダマリ対策品(ホットエア使用)も御座います。 【導入効果】 捕虫剤塗布の内製化を実現 製造コスト削減、生産及び業務効率の向上に貢献 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他塗装機械
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  • その他実装機械
  • 塗布装置

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ディスペンサー塗布装置【DPシリーズ (カーテン塗布)】

シンプルで多機能!小型ディスペンサーのヘッド交換により、各種塗布パターンに対応可能な小型塗布装置

『DPシリーズ(カーテン塗布)』とはカーテンパターン塗布に最適な、小型でシンプルな塗布装置です。 ヘッド交換のみで各種塗布パターンに対応可能です。 また、シンプルな機構でメンテナンス性に優れている為、多くの産業機械に使用されています。

  • カーテン.jpg
  • ディスペンサー
  • 塗布装置

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ホットメルト接着剤塗布装置【ロールコーター】

2本のロールを使用し基材全面に均一塗工が可能!

『ロールコーター』とは2本のロール間に溶解ホットメルトを溜めて、ロールの隙間調整で被塗工物に転写する塗布装置です。 ホットメルトの基材に押し込む塗工方法なので、基材への密着度が上がり基材の隅々まで均一に塗工する事が可能です。 形状にかかわらず突起した必要部分のみの塗工が可能な為、様々な産業設備に使用されています。

  • その他組立機械
  • 塗装機械
  • 塗布装置

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自動前処理塗布機『TheCube2』

濃色Tシャツプリントに必要な前処理剤を自動で塗布します

自動前処理塗布システムのベストセラーモデルに待望の新機種登場! 『TheCube2』は、ガーメントプリンター専用の自動前処理塗布機です。濃色Tシャツプリントを量産する際には必須のアイテムです。 小さなボディーで大きなスプレーエリアを実現。パネル操作でスプレー量や範囲を簡単に調整できます。 【 特 長 】 ■ボディーフレームにはABS樹脂を使用し、優れた耐衝撃性と硬度、そして軽量化を実現しました ■液晶パネルを採用しスプレーの量や範囲を数値で簡単に設定できます ■最大スプレーエリアは 460mm X 600mm ■3つの開閉扉・着脱可能なテーブル・スライダーカバーの採用によりメンテナンスが容易になりました ■ノズルはワンタッチで着脱が可能になり、洗浄や交換が簡単に行えるようになりました ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 塗装機械
  • その他塗装機械
  • 塗布装置

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プリンタブルエレクトロニクス向け高精細インクジェット塗布装置

高精細パターニング~部分コーティング向け。2020年1月15日から販売開始。

〈量産向け高精細 塗布モデル発売開始〉 【特徴】 ■材料のコストダウン(液使用効率:~99%) ■工程削減によるスループット向上。 ■高精細パターニング~部分コーティングまで幅広くコーティング対応。 ■コーティングサイズ:Max 300x300mm or Φ300mm ■FPD、電子部品、半導体パッケージ分野向けに適しています。 ■IJ塗布~乾燥まで1台で。 ■レジストインク、導電性インク、絶縁インク対応、粒子含有インク対応。 ■2液対応可能 ※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。

  • 加工受託
  • インク・トナー
  • 基板加工機
  • 塗布装置

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グルー塗布装置『グルージェット』

塗膜フィルム塗布で、極薄グルーラインを実現!

『グルージェット』は、薄い接着層を実現した新しいホルツヘルの グルーユニットです。 超薄膜グルーノズルシステムの採用により、 まるでグルーラインが無いかのような仕上がりになります。 また高価な機械や、特殊なエッヂ材を使用する必要はなく、 今までと同じように、何の制約も受けないエッヂバンディングが可能です。 ※本製品は、エッヂバンダーに使用されている装置で、  単体で販売しているものではありません。 【特長】 ■使いたいときにすぐ使える ■大幅な省エネ(CO2排出抑制)に寄与 ■とても強い接着力  ・常に新鮮なホットメルトを使用(必要な分しか溶かさない)  ・高い投錨効果でしっかりと食いつく  ・縁材挿入角が小さいので厚い木縁も楽に接着 ■さまざまなホットメルトへの交換が簡単  ・ホットメルトの色、タイプなどの変更が簡単・PURの使用も簡単 ■メンテナンスが楽  ・簡単な構造なのでローラータイプよりもメンテが楽 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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薄膜/厚膜対応スリット式塗布装置『マルチコータLC-Mシリーズ』

高精度な塗布均一性を実現!複数品種の塗布が可能な2ノズル仕様も選択可能

『マルチコータ LC-Mシリーズ』は、ナノレベルの薄膜から厚膜まで 各種塗布材料に対応し、自動機構成にも対応できるマルチで高機能な スリット式塗布装置です。 自動機として、上下流プロセス装置とのインラインや、 LD/ULDとのインターフェースに対応。 各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能なので、 実験・少量生産に好適です。 【特長】 ■各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能 ■高精度な塗布均一性を実現 ■段取り替え不要 ■多種多様の配管系統を準備でき、ご要望の膜厚・均一性を実現 ■全面塗布のほか、ストライプ塗布、間欠塗布、ブロック塗布も可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他加工機械
  • 塗布装置

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NTN微細塗布装置

NTN微細塗布装置 ごく少量の液剤を対象物へ高速・高精度に塗布

こんな課題の解決に貢献  1.ごく少量の液剤を塗布したいが、ディスペンサ方式では塗布できない  2.高粘度の液剤を塗布したいが、インクジェット方式では目詰まりして塗布できない  3.高粘度かつごく少量の液剤を高速で塗布したい  4.塗布精度を良くしたい NTN微細塗布装置の特徴  1.数pLのごく少量液剤を塗布可能  2.100Pa・sまでの高粘度の液剤を塗布可能  3.0.15s/pの高速塗布  4.繰り返し精度±15μm以下  5.インクタンクの交換が容易  6.マウス操作で簡単に塗布可能 適用分野と液剤例  ■電子部品の実装   :接着剤、導電性ペーストの塗布  ■バイオ・新薬開発  :試薬等のごく少量スポッティング  ■基板などの高密度配線:導電性ペースト塗布による電極接続  ■組立工程      :接着剤 NTN微細塗布装置は、微細かつ高速塗布を検討されているお客さまの生産性向上に貢献いたします。 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他顕微鏡・マイクロスコープ
  • 塗布装置

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静電式防錆油塗布装置

静電気の力で迅速&均一に防錆油塗布

当社では、「-」極に帯電した防錆油の微粒子が「+」極のワークに 引き寄せられる静電気の原理を利用し、防錆油を自動でスピーディに ワークに塗布し、均一な油膜を形成する『静電式防錆油塗布装置』を 取り扱っております。 人手による従来の噴霧塗布に比べ、塗油品質と作業効率が格段にアップ。 作業環境も改善でき、作業者の健康被害防止にも貢献いたします。 【特長】 ■静電気の力で安定した油膜を形成 ■複雑形状のワークでも均一塗布が可能 ■自動塗布で作業能率向上 ■作業時間短縮&無人化を実現 ■防錆油の飛散を防ぎ職場を快適に など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

  • その他表面処理装置
  • 塗布装置

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実装ライン用2辺自動塗布装置

大幅なコストダウンと環境に配慮!小サイズからL型まで多種多様な基板に対応

当社が取り扱っている「実装ライン用2辺自動塗布装置」をご紹介いたします。 約15秒で基板側面2辺を同時に塗布から乾燥まで自動処理することができ、 基板サイズ750mmにも対応。 また、液剤を側面のみにきれいに塗布でき、表面にはみ出すことはなく、 薄型基板から厚型基板、小サイズからL型まで様々な基板に対応いたします。 【特長】 ■約15秒で基板側面2辺を同時に塗布から乾燥まで自動処理 ■基板サイズ750mmにも対応 ■プリント基板側面(エッジ部)に様々な粘度の液剤を自動塗布 ■液剤を側面のみにきれいに塗布でき、表面にはみ出すことはない ■薄型基板から厚型基板、小サイズからL型まで様々な基板に対応 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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実装後端面塗布装置

コーティングにより綺麗に!超小型基板にも対応した新技術がゴミ問題を解消

当社で取り扱っている「実装後端面塗布装置」をご紹介いたします。 高密度に部品が実装されたモジュール基板の周囲に高速で 美しくコーティング。 車載用のカメラモジュールやセンサー用モジュールのゴミ防止に 適しており、外周(凹凸対応)のゴミを完全封止することができます。 【特長】 ■基板分割後のエッジコーティング処理 ■外周(凹凸対応)のゴミを完全封止 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フラックス自動塗布装置『MF-2500SY』

タッチパネルで簡単設定ができるフラックス自動塗布装置!

『MF-2500SY』は、必要な部分だけにフラックスを塗布することで、 環境に配慮するとともに、コストの削減も実現するフラックス自動塗布装置です。 Y軸(前後)動作はパルスモータを使用し、タッチパネルで停止位置を制御可能。 X軸(左右)動作はロッドレスシリンダを使用し、フラックスのスプレータイミングを テープ位置で制御します。 【特長】 ■必要な部分にだけフラックス塗布が可能 ■フラックス塗布量の軽減で、コストも削減 ■無駄の無い噴射で、環境にも配慮 ■基板に合ったフラックス塗布が、簡単設定で自動化 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ホットメルト塗布機『ロールコーター』

緩衝材・建材・食品プラ等への塗布を主目的とした汎用性の高い普及型!

『ロールコーター』は、緩衝材・建材・食品プラ等への塗布を 主目的とした汎用性の高い普及型のホットメルト塗布機です。 従来品を20%小型化し、様々な省スペースに対応可能な 「A型ロールコーターmini」をはじめ、3種のロールの長さにて、 標準品としてご用意しております。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■A型ロールコーターmini ■A型ロールコーター ■A-II-L型ロールコーター ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。

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スプレー式フラックス塗布装置『VD-7000』

「流量安定装置」を搭載。フラックス吐出量が非常に安定しています

『VD-7000』は、高品質をサポートする優れた作業性とメンテナンス性を 実現するスプレー式フラックス塗布装置です。 数字入力さえすれば常に条件出しが終了し、ハンダ付けのプロは不要。 また、液晶グラフィックパネル採用で、操作性と動作確認が簡単に行えます。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■繰り返し精度、常に一定(PAT) ■品種・液温・粘度変化も一定塗布(PAT) ■入口・出口部ローラー/アサヒ搬送チェーン ■オートクリーニングノズル/ノズル距離可変機構 ■基板前後範囲指定塗布 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • はんだ付け装置
  • 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
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粉体塗布装置

選択可能な加熱方式、ニーズに応じて柔軟なラインレイアウトを実現

貴社の平角線ステーター量産製品の塗布ムラ、塗布量のばらつき、歩留まりの安定性などの課題に合致する可能性があるソリューションを提供します。 当製品は、自動搬送システム、温度監視システム、空気清浄システム、 ステーター温度検出システムを含みます。 予熱、粉体塗布、硬化を含む粉体プロセス全体を完了できます。 また、全体的なスペース占有が小さく、粉体塗布プロセスが高速で品質が安定しています。 【特長】 ■ロボットによるステーターAss’yの全自動搬送で粉体塗布工程を実施 ■自動循環機構および粉体面高さの制御により、塗布高さと塗布品質の安定性を実現 ■圧縮空気の水分・油分の除去ユニットを装備 ■可燃性粉塵対策および集塵機構により、粉体塗布環境下での安全性を確保 ■粉体塗布前後の重量差を計測し、実塗布量の安定性を保証 【オプション】 ■エポキシ樹脂保管用冷蔵庫 ■各種加熱方式に対応(通電加熱、誘導加熱、連続式硬化炉)

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LOCTITE RC40 セミオートマチック塗布機

液タンクと2 か所独立制御可能な塗布制御装置を一体化した残量警報付きの塗布機

LOCTITE RC40 セミオートマチック塗布機は、2 か所独立制御可能な塗布制御装置と液タンクが一体となった装置です。塗布制御装置は、2 つの独立したデジタルタイミングを搭載し、2 つのバルブ操作空気圧出力を制御します。この出力は、塗布バルブやその他の空気圧機器を制御するために使用することができ、フットスイッチ(付属)、外部スタート信号のいずれでも作動します。ドット塗布やビード塗布用に、時間指定モードと連続モードでの動作が可能です。液タンクは、250ml、500g、1L、2kgの接着剤容器を収納し塗布することができます。 ★詳しくは、資料・カタログをご確認ください。

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【全自動ディスペンサー】多目的塗布装置「FAD2500」

多様なアプリケーションニーズに応える、全自動塗布装置のメインフレーム。

・操作性の向上・プログラミング工数削減により、作業者負荷を軽減。 ・マルチヘッド対応。 ・様々なアプリケーションへの高い汎用性を実現。 ・エクスプレスJET機能により、無停止連続動作による高速塗布を実現。 ・DVM機能により、塗布量管理の全自動化を実現。 ・充実の海外サポート対応。(海外11拠点) 海外事業所でも安心。各拠点にエンジニア常駐。 お問合せの際は、リンクより弊社Webサイトをご確認ください。

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コンパクト全自動塗布装置 「TAD1000」

全自動無人化ラインへの新提案

■塗布工程におけるトータルコストダウンソリューション。 ■高品質、安定塗布で不良品を削減。 ■世界最小クラスのコンパクトな設置スペース。従来品と比べ、設置面積を60%カット。 ■充実の海外サポート対応。(海外11拠点) 海外事業所でも安心。各拠点にエンジニア常駐。 お問合せの際は、リンクより弊社Webサイトをご確認ください。

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小型精密円周塗布装置『NS-1MX III』

平面・内面・外面塗布が可能!角度調整機構付き小型精密円周塗布装置

『NS-1MX III』は、小型ワークに適した卓上コンパクトボディの 小型精密円周塗布装置です。 先端塗布ノズルの調整は、マイクロメーター内蔵シリンダーの為、 再現性があります。 また、コントローラーとメカ部分離方式採用により、様々な用途で ご使用頂けます。 【特長】 ■小型ワークに適した卓上コンパクトボディ ■角度調整機構付きで平面・内面・外面塗布が可能 ■ワーク最大φ100まで可能 ■ワークと塗布箇所に合わせて治具を設計可能 ■コントローラーとメカ部分離方式採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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液体定量塗布装置

0.0001CCから液体微少量塗布ディスペンサーシステム

0.0001CCの微少定量塗布が行えます。 シンプルなシステム構成のため、メンテナンス性に優れます。 手動作業使用から、自動化ライン投入が簡単に行えます。

  • ディスペンサー
  • 塗布装置

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定量・計量塗布装置

シンプルな機能で計量・定量吐出

◆連続フロー ◆リアルタイム、クローズドループ式圧力および流量制御 ◆常温および200℃までのホットメルト材料に対応 ◆4つの制御(使用)モード〜流量コントロール・流量モニター・バッチディスペンス・圧力コントロール ◆低〜高材料粘度、小〜大流量、小〜大ショットサイズに対応 ◆簡易な操作パネル ◆特許No.5.847.285(米国)ボリューム補正式圧力制御計量ディスペンスシステム

  • ディスペンサー
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オイル塗布装置

シンプル、経済的、環境にやさしい

1.簡単操作 2.防錆油がポンプで循環するので無駄がなく経済的 3.カバーがあるので周りを油で汚さない 4.リーズナブルな価格でご提供

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大型基板用 デイスペンスマシン

3軸制御による自動塗布装置

ディスペンサーのノズル部分の付け替えによるノズル部分のずれを自動的にXYZの3方向とも補正する自動補正機能を搭載しています。  ヘッドの付け替えや搬送機の取り付け等の改造もお受けいたしております。 プログラミングはGコードもしくはパソコンによるティーチングで行えます。

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*動画公開中* パッケージ・梱包用ホットメルト塗布装置

商品の包装や梱包の時にホットメルト接着剤を使用してみませんか。 

熱で溶融し、室温で固まるホットメルト接着剤を使用して商品のパッケージ製作や、梱包箱の封止用にホットメルト接着装置は使用してみませんか。 両面テープを使用し、サイズに合わせてカットしていたところをホットメルトに変更することにより、作業工程が減りコストダウンが図られます。 幅広いラインアップでご希望の装置をご提案します。

  • その他加工機械
  • その他包装機械
  • その他食品機械
  • 塗布装置

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産業機械『ちょい塗りくん』設定した速度で均一な塗布サンプルが可能

基材サイズは最大B4サイズ対応!巻線太さの異なるワイヤーバーに交換するだけ。テーブルは面粗度が優れたガラス板を使用で洗浄が容易

当社で取り扱う、産業機械『ちょい塗りくん』をご紹介いたします。 巻線太さの異なるワイヤーバーに交換するだけで容易に塗布量 コントロールが可能。バーの押付力は付属のウェイトにより調整できます。 また、テーブルは面粗度が優れたガラス板を使用してるため洗浄が容易です。 ご要望の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■巻線太さの異なるワイヤーバーに交換するだけで容易に  塗布量コントロールが可能 ■ワイヤーバーの走行は、モータ駆動 ■設定した速度で均一な塗布サンプルができる ■バーの押付力は付属のウェイトにより調整可能 ■テーブルは面粗度が優れたガラス板を使用してるため洗浄が容易 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター!自動ポリイミド塗布装置

~10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピンコーターです。回転カップ式チャックにて省材料も実現!

【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造(密閉式、回転カップ式) ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能(オプション) ・高粘度材料で難しいEBR(エッジリンス)機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く塗布いたします。 ポリイミドの使用温度や保存温度に対応するため、シリンダに対応したディスペンサータイプのスピンコーターの実績もございます。 塗布量削減と均一な厚膜を可能とした回転カップ式スピンコーターが高価な高粘度ポリイミドにはお勧めです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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自動フォトレジスト塗布装置(スピンコーター)Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低粘度~高粘度(MAX10000cP)レジスト対応!

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度~高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs(厚み150um)、InP(厚み150um)、LT(厚み120um)など薄い基板の搬送実績も多数あります! 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました! 【特長】 ■スピンプロセスによる膜厚分布の高均一性 ■2~12インチまで対応可能 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応可能 ■自動ウェハサイズ検知機能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース化) ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ デモ設備を常設していまので、まずはデモをご検討ください!

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半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

低~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの半自動機(セミオート)も作製可能です!

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために半自動(セミオート機)の製作を低価格で実現しました! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 【特長】 ■半自動レジスト塗布機(セミオート)で低価格を実現 ■2~12インチまで対応可能 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応可能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース化) ■レジスト削減で多数のオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベーク搭載自動レジスト塗布装置

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク(MAX400℃)、低温ベーク(MAX200℃)、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能! その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド(PI)、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます! シリコン(Si)、サファイア、セラミック、LT、GaAs、InP、GaN、SiC、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs(厚み150um)、InP(厚み150um)、LT(厚み120um)など薄い基板もご安心ください! 【特長・強み】 ■お手頃価格を実現 ■ウェハサイズ自動検知機能 ■自動ウェハ検知機能(マッピング)搭載 ■2~12インチまで対応可能 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応可能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース化) ■レジスト削減で多数のオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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