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オートドアFOSB、FOUPなどのキャリアに対応！自動的に枚葉で移載を行うシステム
本製品はφ300mm(12")石英ガラスウエハを、ステージ1～ステージ2の キャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 タクトタイム・移載時間は6分30秒/25枚以下。 ウエハ移載仕様について、基本はカセット下部は取出、上段は収納です。 【各部仕様(抜粋)】 ■ステージ1(ローダー) ・装置正面左側ステージ ・対応キャリア：オートドアFOSB(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) FOUP SEMI規格品(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) ・センサ機能：カセット内のウエハ在荷確認用透過式マッピングセンサを設置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ニーズに合わせた好適なカスタム装置を提供！プロセス最適化に向けた設計が可能
当製品は、シンプルな処理構造で好適なプロセスを実現する シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置です。 メンテナンス性を考慮した部品配置。洗浄装置は各ユニットが モジュール化されています。 「ワイヤーソー後洗浄」「ラップ後洗浄」「アルカリエッチング洗浄」など 様々なプロセスに対応しています。 【特長】 ■高いプロセス性能 ■ハイスループット ■メンテナンス性の向上 ■装置設計 ■豊富な実績 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ICおよび半導体製造装置メーカーに対して信頼性の高いサポートを提供します
当社は、上海に長年の経験を持つ先端技術と信頼性の高い オペレーションチームを有しており、8インチ、12インチのファブ、 PVD/CVD/ETCH/IMPLA NT等のプロセスに対して、安定した洗浄技術を 提供することが可能です。 10の主要な精密洗浄および表面処理ライン （溶射、プラズマ溶射、14nm精密洗浄、陽極酸化、電気メッキなど）と サービスチームと連携し、品質管理と技術開発の課題に共に立ち向かいます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■5000m2（55000平方フィート）のクリーンな作業場 ■5,000個/月以上の処理能力 ■上海での精密洗浄・表面処理の独占的な認定・資格サプライヤー ■業界をリードする8つの加工ライン ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
高圧水のみで切り粉、加工バリ、鋳砂を除去。洗浄時間を大幅に短縮します
『i-movacシリーズ』は、精密洗浄、バリ取り、鋳砂取りが 1台で可能なCNC高圧洗浄機です。 最大8本のノズルで洗浄ができるので複雑形状ワークに好適。 ATC方式で剛性が高く精密洗浄が可能。 また、電子制御圧力調整システム(標準装備)によりノズルの圧力を 自由に変更でき、プログラム入力で楽々設定ができます。 【特長】 ■50MPaの高圧水で精密洗浄 ■自動ノズル交換システム ■ツインノズル装着可能(オプション) ■CNC5軸制御(標準装備) ■3Dノズル ■スピードフレックスノズル ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
カット野菜・原体野菜の両方の洗浄に対応！簡単タッチパネル操作
『YS-2600』は、ザルカゴを投入コンベアに置くと、自動でザルカゴが 投入され水槽内に下降し、設定時間になると自動で上昇、自動で排出される ザルカゴ式洗浄機です。 ザルカゴ上面に密着する上フタがあるため、野菜の浮き上がりや カット野菜のこぼれを防止。 水槽は1槽ずつ独立しているため、必要な数を連結することができます。 【特長】 ■漬け込み作業を完全自動化 ■必要な数を連結できる ■コンテナの中身を完全浸漬 ■簡単タッチパネル操作 ■使用できるカゴは5種類 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に削減【半導体業界向けウェットプロセス装置】全自動装置
この2チャンバーシステムは、ポリマー残渣やレジスト剝離向けの有機溶剤系ケミカルに対応しています。 高い精度のタンク内における化学物質の混合、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムが含まれています。 有機溶剤中の水分濃度の自動管理が可能です。 【特長】 ■最大300wphのスループット ■2つのプロセスチャンバー ■ばらつきが1％未満の均一性 ■設置面積12m2未満 ■タンクシステムによる化学物質の再循環 ■SiC/GaNでプロセス実行可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に削減【半導体業界向けウェットプロセス装置】半自動装置
当社の半自動装置は、高性能、効率的な化学物質の再循環、設置面積の最小化、スペース効率の最適化で際立っています。 【特長】 ■最大150wphのスループット ■設置面積2m2未満 ■タンクシステムによる化学物質の再循環 ■SiC/GaNでプロセス実行可能 ■25枚または50枚ウェーハのチャンバーを使用可能 ■抽出可能なプロセスチャンバー ■ATEX安全規格 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
キャンバスAOKIクリーナーを設置し、10日間運転後の変化をご紹介！
当社が取り扱っている、ブレード式キャンバス洗浄装置の「AOKIクリーナー」を キャンバスロールに導入した事例をご紹介いたします。 設置前は、粕取り作業として10日でロール1本あたり1時間の 掃除作業を行っていました。 設置後は、掃除作業をほとんどしなくなりSD時に他の作業が 出来るようになりました。 【導入事例】 ■導入前 ・粕取り作業として10日でロール1本あたり1時間の掃除作業を行っていた ■導入後 ・設置後は掃除作業を殆どしなくなりSD時に他の作業が出来るようになった ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
走行摩擦熱により加熱され粘着性が増す！7日間運転後の粕量と特殊ブレードをご紹介
当社が取り扱っている、ブレード式キャンバス洗浄装置「AOKIクリーナー」 の7日間運転後の粕量と特殊ブレードをご紹介いたします。 キャンバス表面の粘着物は、ブレード先端部特殊形状からなる空間にフォイル 現象(吸引効果)が発生しキャンバスより剥がされ、接触圧の作用を受け、 次々と粘着物同士が融着し合い、拡大・成長して帯状の形態に。 帯状の表面には、紙粉が多量に付着しており同時に繊維分を除去し、 ある程度の大きさになると自重によりセーブオール内に落下・回収されます。 【事例概要】 ■7日間運転結果 ・粕量の重さ：3.5kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ピッチがキャンバス表面に点々と付着！金タワシでキャンバスの表面を擦っていた
当社が取り扱っている、ブレード式キャンバス洗浄装置「AOKIクリーナー」 導入後のキャンバスの変化をご紹介いたします。 ドライパートで暖められた残インキ分の高い粘着性によって、成長した ピッチがキャンバス表面に点々と付着。設置前はSD時にキャンバスを 廻しながら金タワシで表面を擦っていました。 設置後は、操業のトラブルとなるピッチ分の付着は無くなり、 欠点トラブルによるクレームが減少しました。 【事例概要】 ■課題 ・成長したピッチがキャンバス表面に点々と付着 ・SD時にキャンバスを廻しながら金タワシでの表面を擦っていた ■導入後 ・操業のトラブルとなるピッチ分の付着は無くなり、 欠点トラブルによるクレームが減少 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
長年培ってきた高圧温水洗浄機のノウハウをコンパクトボディに凝縮！
『Revoシリーズ』は、コンパクト・軽量ボディで コストパフォーマンスモデルの製品です。 安全性・耐久性・機能性に優れ、環境にも配慮。 小さくても洗浄力・性能・耐久性は抜群です。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■環境に配慮したコンパクト・軽量ボディ ■安全性・耐久性・機能性に優れ、環境にも配慮 ■小さくても洗浄力・性能・耐久性は抜群 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
洗う、落とす、剝がす！長年にわたる技術革新により、確実で安定した洗浄能力が実現
『TAIKAI SWシリーズ』は、様々な洗浄に対応する「水」の力が 十分引き出されるよう、工夫された高圧洗浄機です。 使いやすく耐久性に優れた安全設計、各部に余裕をもった製品で、 様々な用途に使用可能。 洗浄作業時の噴射・停止が手元で自在にできるアンローダバルブを 全機に装備していますから、遠隔操作で能率良い経済的な洗浄効果が 得られます。 【特長】 ■安全設計の電子制御 ■アンローダバルブ ■耐高温・耐高圧性能に優れた高性能ポンプ ■遠隔操作機能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
設置場所を選ばないコンパクトボディ＆環境負荷とランニングコストを抑え、安定した温水供給を可能にした高効率蓄圧式ステンレスボイラー
『MRシリーズ』は、イニシャルコストが低く、100Vに比べ 圧倒的なハイパワーな機種をご用意している温水高圧洗浄機です。 環境負荷とランニングコストを抑え、安定した温水供給を可能にした 高効率蓄圧式ステンレスボイラー。 電力消費を抑え、駆動効率をUPした高効率モーターもございます。 また、安心して使用できる、万全のサポート体制です。 【特長】 ■設置場所を選ばないコンパクトボディ ■直観的にわかりやすい操作パネル ■簡単操作でいつでも温水強力洗浄 ■1kw～11kwまで用途に応じた12機種のラインアップ ■様々な用途や洗浄対象に対応する豊富なオプション ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
切粉や部品をコンテナごと脱油・脱水！遠心分離で高効率洗浄を実現
『コンテナ式洗浄機（遠心分離式部品洗浄機）』は、切粉や部品の脱油・脱水処理を効率化できる装置です。お客様の製品が入ったプラ箱・コンテナをそのまま機械にセットし、ボタンを押すだけで処理が可能。まずは洗浄液で満水にして部品を浸漬し、その後、遠心分離によって油分や水分を除去することで、高い洗浄効果を発揮します。 従来のように専用カゴへ部品を移し替える手間が不要となり、作業効率の大幅向上と打痕防止に貢献。さらに、切削や鍛造工程で発生する切粉や部品に付着した油分・水分を効率的に脱油・脱水できるため、後工程の品質安定にも役立ちます。 【特長】 ■コンテナに入れたまま脱油・脱水可能 ■移し替え不要で作業効率アップ ■ロボットアーム等と連携した自動化実績あり ※詳細はPDFをダウンロード、またはお気軽にお問い合わせください。
袋ナットの脱油から
量産される袋穴状の部品脱油のために作りました！ 脱油→傾倒（本体を斜めにする）して低速回転→本体を起こして脱油→繰返し。 この動作を何回か行うことにより、袋穴状の部品の向きを変えて脱油します。 傾倒中に洗浄液を投入する事により洗浄効果を実現！ 傾倒して低速回転中に洗浄液を入れることにより、バレル効果洗浄を可能にします。 ※専用の角カゴを使用します。 各項目の時間設定により、お好みの洗浄効果を生むことが可能です。 最終的には洗浄した部品を脱油した状態にします。 ご使用いただいているお客様の声 ●袋穴状の部品脱油が楽になった ●小さな切粉が落とせる ●ともずり効果がある 等等、デモ機もございます。 お気軽にお問い合わせください！！
