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コーティング(プラズマcvd) - 企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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製品一覧

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半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティング

PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLCコーティングです。

半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティングは、PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新しいDLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングです。複合多層膜の採用により、従来のDLCと比較して密着力にすぐれ、厚膜(~ 5μm)が可能なため、抜群の耐久性を示します。また超硬合金だけでなく、工具鋼上でも下地強化層の採用により高い面圧に対応できます。DLC コーティングは表面が非常に平滑で硬く摩擦係数が低いため、はんだめっきやアルミ等の軟質金属の凝着を起こしません。このため金型に付着したはんだくずによる不良を飛躍的に低減し、クリーニング頻度の低減により生産性を飛躍的に向上できます。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

  • その他半導体製造装置

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ドライな潤滑被膜 DLC/NEO-Cコーティング

プラズマCVD法により、複雑形状の製品や内径内面へ密着力の優れたDLCーSi被膜をコーティングできます。

「プラズマCVD NEO-Cコーティング」は、真空中で得られる低柵プラズマを利用して種々の製品にトライボロジー特性に優れたDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を高い密着力でコーティングします。 処理後の製品では、2000Hv前後の高硬度で低摩擦係数な平滑性に優れた高性能表面が得られます。 また、これまでのDLCの弱点だった付き回り性の悪さも大幅に改善し、複雑な形状を持つ金型、機械部品の凹凸面や内径内面の処理にも対応が容易です。 アルミ・銅など非鉄金属やハンダの凝着防止に効果があり、非鉄金属のプレス金型や摺動性の機械部品などのメンテナンス性が大幅に向上するとともに、耐久性も向上させる事ができます。 また、摩擦抵抗の低減や耐焼付き性の改善により加工時の潤滑油や離型剤の使用量を低減できることから、環境調和型の表面改質技術としても注目されています。

  • プレス金型
  • 真空ポンプ
  • 組立治具

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CVD(熱化学蒸着法)コーティングとは

熱化学蒸着法により各種機能性セラミック膜を、単層又は多層コーティングし、得られた高硬度、高密着セラミック膜により素材の性能を向上

CVDコーティングとは CVD(Chemical Vapor Deposition)コーティングは化学的な成膜方式で、 大気圧~中真空(100~10-1Pa)の状態において、 ガス状の気体原料を送り込み、 熱、プラズマ、光などのエネルギーを与えて化学反応を励起・促進して薄膜や微粒子を合成し、 基材・基板の表面に吸着・堆積させ処理物表面に超硬質のセラミック化合物を化学的にコーティングさせる方法です。 熱化学蒸着法により各種機能性セラミック膜を、高温度(900~1100℃)で単層又は多層コーティングし、 得られた高硬度、高密着力セラミック膜により素材の性能を飛躍的に向上させます。 CVDコーティングの機能 すべり性/耐薬品性/耐熱性/ 撥水・撥油性/親水性/耐摩耗性/ 電気特性/寸法安定性

  • プラズマ表面処理装置

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金型標準部品コーティング

金型標準部品コーティングの各プロセスの特長などをご紹介!

『金型標準部品コーティング』では、 コーティングの特性や概要などについて ご紹介しています。 CVD(化学蒸着)プロセスは、 1000℃の高温雰囲気中にガスを充満し 化学反応させるため、品物全周に均一にコーティングされるので、 複雑形状品にも適用可能です。 PVD(物理蒸着)プロセスは、プラズマエネルギーを利用して 200 ~ 500℃の 低い温度でコーティングするので、基本的には変寸・変形がなく精度の 厳しい品物に適しています。 【特長(CVD法)】 ■ガスによる化学反応で蒸着する為、 形状による膜厚や着き廻りのバラツキが少ない ■膜厚はPVDの倍以上で密着力も高いため重プレス加工に適している ■装置も大きいので大物も処理可能であり価格もPVDに比べると安価 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他機械要素
  • その他金型
  • その他

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DLCコーティング

印刷ロール、搬送ロールなど中心に、小物から大型(φ1000mmx4000mm、2.7ton)までDLCコーティングします。

印刷ロール、搬送ロールなど中心に、小物から大型(φ1000mmx4000mm、2.7ton)までDLCコーティングします。

  • ローラー

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セルテスDLCコーティング【従来より密着力・耐摩耗性に優位性!】

従来よりも密着力・耐摩耗性に優れる複合多層DLCコーティングが登場!摺動部品・精密金型・治工具の寿命向上に!

セルテスDLCは、プラズマブースタースパッタリング(PBS)とプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新世代複合多層DLCコーティングです。新プラズマ源の採用により、これまでより低温(180℃以下)で成膜でき、金型・部品の耐久寿命も従来DLCと比較して飛躍的に向上します。 高密着力の3〜5ミクロンDLC被膜により、これまで密着力不足で適用できなかった高面圧で使用される工具鋼金型やSUJ・SCM鋼部品にも適用できます。 【特長】 ■ファビリ(ファレックス)焼付き試験では、無潤滑下では2000kgfまで、  潤滑下では2500kgf以上の焼付き限界荷重を達成しました。 ■他社の複合多層DLCと比較してファビリ試験後の被膜の損傷がもっとも  軽微で、母材が赤熱して塑性流動を起こしても剥離しません。 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

  • その他切削工具

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コーティング装置 圧粉成形離型DLCコーティング 

特殊イオン源を使用した装置で高耐久性ICFを成膜させ、高面圧下で使用しても剥離せず、高寿命化を達成した新機能被膜!

圧粉成形離型コーティングとは、従来面圧が高いと剥離していたDLC膜と比較して、高面圧下で使用しても剥離せず、高寿命化を達成した新機能被膜です。 圧粉成形加工時に上下杵への粉付着を防止し、鏡面性を維持します。この被膜は高面圧化での摩擦係数が低く、バインダーを含む粉末が杵へ付着することを防ぎます。 高い荷重が加わっても、剥離しににく、耐久性と耐摩耗性に優れており、密着力も高く安定した性能を発揮いたします。 より詳しい情報はお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。

  • 粉末成形機

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【特許技術】DLCを超えたスーパーDLCコーティング

FCVA方式により、スーパーDLC(水素基フリーのta-C膜)、Micc膜、各種金属膜を提供します

FCVA方(Filtered Cathodic Vacuum Arc)は、 PVD・CVD等既存のものとは異なる次元の高品質のコーティングを提供します。 また、成膜時に加熱を一切必要としない為、基材の変形等も起こらず、樹脂部品へのコーティングも可能です。 特にDLC膜(ta-C)は 1)限りなくダイヤモンドに近い(高いsp3結合) 2)非常に高い硬度・密着性・耐摩耗性 3)水素フリー 4)膜厚:数nm~10nm 5)内径にも成膜可 等の特徴があり、ハードディスク、精密金型、耐磨耗部品等様々な分野で使われております。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合せください。

  • その他塗装機械

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イットリアコーティング 石英部材耐プラズマ性向上

【新技術】溶射、CVDと異なる新工法で複雑構造でも全面コーティング可能! ※ケース別コーティング事例集進呈中

ナラサキ産業は限りなく精密に膜厚コントロールを実現する セラミックスDIPコーティングを開発しました。 多くの材質に対して自由度の増したセラミックスコーティングが 可能になります。 【4つの特長】 ◆形状自由度が高くメーター級での3D形状にもコーティング可能 ◆大半の高機能素材へのコーティング可能 ◆平均 50μ の厚膜が可能 ◆コーティング面の面粗度が良く円滑性に優れる (Ra0.8 以下も) 【コーティング可能対象材質】 ■ファインセラミックス(アルミナ、ジルコニア、窒化アルミなど) ■石英ガラスなどの耐熱ガラス ■黒鉛、高融点金属 ※現在、膜の緻密度のさらなる向上の改良テスト実施中です。 ※コーティング事例集をダウンロードしてご覧ください。 用途に応じ複合セラミックス膜を駆使し最適化を実現します。 お気軽にお問い合わせ下さい。

  • スクリーンショット 2022-10-19 135815.png
  • IPROS41773619475751603317.jpeg
  • ファインセラミックス
  • 加工受託
  • 表面処理受託サービス

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セルテス 低温PVDコーティング加工

低温処理で安定した密着性コーティング!200℃以下の低温処理が可能

■低温処理で安定した密着性(200℃以下の低温処理が可能なためSCM浸炭鋼やSKS、SUJ鋼にも母材硬度低下なしに密着力にすぐれたコーティングが可能 ■高精度コーティングが可能(膜厚精度と再現性にすぐれるため公差の厳しい精密部品に適用可能) ■アークIPのようなドロップレットがなく表面が平滑(相手材への攻撃性が低く良好なトライボロジー特性)

  • プラスチック金型
  • セラミックス
  • 表面処理受託サービス

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