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カメラ検査では映せない欠陥も検出
新型モデル「ANALYZER3f」（モデルエフ） ----- 新開発レーザー光源で高精度に画像化 ----- ファイバー結合レーザー光源の小型化と安定した出力を実現。また、レーザーヘッドステージの設計も刷新。高解像度での撮像時に、ピントズレの無い、高精細化を可能にします。 ----- 量産現場を支える技術 ----- レーザースキャン技術により、高速かつ高精度に微細な欠陥を検出し、タクトタイムの要求を満たします。カメラ検査が苦手な光の反射や解像度の問題を克服します。
レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です
高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約181秒/12inch） ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能 ・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能
透明素材にも対応する高精度検査装置
微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能 ・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能 ・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に 観察、欠陥アルバムの作成が可能。 ・結晶欠陥の検出機能を開発中
非常に軽く、持ち運びに便利！高い操作性、全ての軌間に対応可能
『PML』は、測定結果のエクスポート(PDF)が可能な レーザー断面形状測定システムです。 測定は短時間。測定後の評価は数秒で完了し、レールの 現状プロファイルと基準プロファイル比較をプレビュー表示。 削正車両に搭載し、使用可能で、車両に搭載した場合でも、 データの取り込み・評価をハンドタイプ同様に簡単に可能です。 【特長】 ■レーザー断面形状測定 ■EN13231-2：2020準拠 ■高性能のタブレット ■様々な軌間に対応 ■削正量測定 ■高い操作性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
