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ウェーハサイズ6インチ対応！簡単操作でウェーハを移送可能！
『TMUJ-05』は、簡単な操作でウェーハをカセットから別のカセットへ移送 することができるウェーハ移し替え器です。 ウェーハを持ちあげて移送するので、薄型ウェーハでも傷つけることなく 移し替えができます。 また、2ヶ所のネジを緩めると高さ調整が可能です。 【特長】 ■底抜けなしタイプも対応 ■操作が簡単 ■ウェーハにやさしい ■表裏反転移送 ■カセットの双方向かたの移載が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
３００ｍｍウエハでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能。
【装置概要】 ３００ｍｍウエハでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、 検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。 小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に 赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。 近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や 研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を 高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。 【装置特徴】 自動検査のほか、スタンドアロンタイプもラインナップしており マニュアルでの検査が可能です。任意のスライスレベルを設定出来 ニーズに合った検査が可能です。用途によりソーマーク除去機能も 有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜き出します。 【装置アプリケーション】 ●パターン付きウエハークラック検査 ●ベアウエハークラック検査 ●ウエハーエッジダメージ検査 ●ＢＧ研磨痕の評価 ●スラリーの評価 ●ガラス基盤の応力残り ●ストレスレリーフの評価 ●ＢＧテープのテンション検査 ●化合物ウエハの歪みや傷検査
最小外径Φ10μm～、最小欠陥検出2μm～検出可能！モノフィラメントなど極細線の表面欠陥と短径の凹凸の連続監視自動測定システム
新製品のセンソオプティック社製「表面欠陥検出装置」は最小外径Φ10μm～、最小欠陥検出2μm～検出可能です。 品質向上、複数製品の製造コスト削減に貢献します。 モノフィラメント、ステンレス鋼線、タングステンワイヤー、マグネットワイヤー、カテーテル、極細線用の表面欠陥の検査はお任せください！ 【使用のメリット】 ・品質向上に繋がる ・複数製品の製造コスト削減 ・最小外径Φ10μm～、最小欠陥検出2μm～ 【検出例】 ・ワイヤー 1.59mm 40μｍキズ ・モノフィラメントΦ80μｍ、15.4μｍ凸 など ※詳細はお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
穴検査〔巣穴・キズ・目視検査を自動化！〕 自動車部品メーカー＆精密測定機メーカーの日本電産トーソクが提案します
鋳造加工品の研削加工面巣穴・キズを非接触で自動検査し、巣穴の大きさを定量検査可能
光源には赤外線を用いており、透明・不透明フィルムの他、不織布の蛇行検出に適しております！
『PSM-75Wシリーズ』は、ウェブのエッジを検出するためのセンサです。 専用のコントローラおよび駆動機と組み合わせてウェブの蛇行修正を行います。 光源には赤外線を用いており、透明・不透明フィルムの他、不織布の蛇行検出に 好適。 "W"、"WX"二つのタイプの形状から選択でき、「PSM-75WXシリーズ」も ラインアップしています。 【特長】 ■"W"、"WX"二つのタイプの形状から選択できる ■粉塵の多い環境ではダストブローユニット付きの"DB"タイプが有効 ■スイッチパネル付タイプはセンサの本体でモード切換えやティーチング操作を 行えるため便利 ■スイッチパネル付のものはPEM型のコントローラを使用しないシンプルな システムにすることも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
色や柄、透明度に影響されない！超音波の透過量の変化でウェブのエッジ位置を検出
『PSM-400』は、超音波透過型のウェブエッジセンサです。 G-seriesのコントローラ、駆動機と組み合わせてウェブの 蛇行制御に用い、ウェブの透過度や色、柄に影響されない ため、透明体のエッジ検出に好適。 また、スイッチパネル付きの「PSM-400S」はセンサの本体で モード切換えやティーチング操作を行えるため、便利です。 【特長】 ■超音波の透過量の変化でウェブのエッジ位置を検出するため、色や柄、 透明度に影響される事なく正確に検出することが可能 ■スイッチパネル付のものはPEM型のコントローラを使用しないシンプルな システム(駆動機とセンサのみ)にすることも可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光源には赤外線を使用！透明・不透明フィルムの他、不織布の蛇行検出に好適
『PSM-700』は、赤外線透過型のウェブエッジセンサです。 G-seriesのコントローラ、駆動機と組み合わせてウェブ蛇行制御に用い、 不透明ウェブや不織布のエッジ検出に好適。 また、標準型式の「PSM-700」の他、スイッチパネル付きの「PSM-700S」、 ダストブロー付きの「PSM-700-DB」、スイッチパネルとダストブロー付きの 「PSM-700S-DB」の型式をラインアップしております。 【特長】 ■粉塵の多い環境ではダストブローユニット付きの「DB」タイプが有効 ■スイッチパネル付きの「700S」はセンサの本体でモード切換えや ティーチング操作を行える ■スイッチパネル付のものはPEM型のコントローラを使用しないシンプルな システム(駆動機とセンサのみ)にすることも可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です
高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約181秒/12inch） ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能 ・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能
透明素材にも対応する高精度検査装置
微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能 ・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能 ・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に 観察、欠陥アルバムの作成が可能。 ・結晶欠陥の検出機能を開発中
デバイス開発やウェーハ洗浄チェックに最適な小型・省スペースの卓上パーティクル検査装置！
ノンパターンウェーハ・基板表面パーティクル検査装置です。 マニュアル搬送の卓上検査装置でスペースを取りません。 ラボや装置横への設置も簡単です。 シリコンだけでなくガラス素材も測定可能です。
卓ライカAPOズーム光学系で高画質・最適倍率でのモニタ検査が可能！
ウエハチップの目視モニタ検査機で最高級光学系画像を見ながらオペレーターが確実に欠陥チップを識別でき欠陥位置/カテゴリー分類/画像ファイルが確実に欠陥チップを識別でき欠陥位置/カテゴリー分類/画像ファイルが確実にできる目視検査システムです。 エキスパンダリングをステージでステップ移動させチップサイズに合った最適倍率でカラーモニター検査ができます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
高精度なXYZオートステージです。
ウエハー上のチップ素子欠陥を自動検査します。 顕微鏡カラーカメラとオートステージをシステム制御してチップ素子単位での欠陥識別検査を自動でします。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
円筒内画像検査により簡易方式で検出可能！液晶ガラスの内部欠陥を自動で検査！
タイヨーアクリスの自動機開発は、お客様の要望に的確にお答えできる装置の開発に取り組んでおります。 そのため、社内でメカ設計・電気設計・ソフト設計・部品調達・組立・現地調整まで一貫して対応させて頂きます。 お客様での立ち上げをスムーズに行うため、開発各ステップでレビューを行っております。 【装置概要】 ○液晶ガラスの内部欠陥を自動で検査する装置 【特徴】 ○0.05mmの欠陥を検査できる ○気泡、異物、傷、クレータなどを検査する ○検査タクト20秒／枚（730x920mmガラスの時） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
非接触で鋳造加工品の研削加工面巣穴・キズなどを検査できます。
鋳物加工品の研削加工面巣穴・キズを検査する装置で、 円筒内面全域を非接触で自動検査をし、 欠陥発生位置の記録をすることができます。 ワーク本体を傷つけることなく、生産性や品質の向上に役立ちます。
"こんなことができれば"を解決！特殊光学系を用いた外観検査・内部欠陥検査システムのご紹介
例えば繊維シートのようなテクスチャー模様（幾何学模様）の製品の傷や付着異物を検査したいという場合、一般的な可視光カメラで欠陥部分を撮影しても、複雑なテクスチャー模様に欠陥が埋もれてしまい、欠陥だけを抽出することは困難です。 また、製品内部に発生した気泡のような欠陥は内部なので可視光カメラでは見ることができません。 このような場合、特殊な撮像方式を用いたカメラを使用することで、今まで視認できなかった模様に埋もれた欠陥や製品内部の欠陥を可視化することができます。
