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構造を維持したまま水分・油分の分散状態を観察
エマルションは、水溶成分と脂溶成分を乳化剤の作用により分離なく混合した分散系であり、種々のエマルション技術が加工食品に広く利用されています。マヨネーズはその中でもO/W型（水中油滴型）の代表的な加工食品です。クライオFIB-SEM観察による評価を行った結果、水分・油・乳化剤などの分布を可視化することができました。拡大観察によって微細構造の評価を行うことができ、食品の滑らかさや風味などの食味評価に応用することが期待できます。
Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察
TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例では市販のハードディスクから磁気ヘッドを取り出し、MTJ：磁気トンネル接合(Magnetic tunneljunction）部の高分解能(HR)-TEM観察を行ったデータを紹介します。 このように金属の極薄膜の多層構造でも明瞭に構造を観察することが可能です。
Csコレクタ付STEMによる原子レベル分解能EDX分析
TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例ではCIGS薄膜太陽電池の光吸収層の高分解能(HR)-STEM観察とEDX元素分布分析を行ったデータを紹介します。4種類の元素からなる多結晶構造を持つCIGSにおいて、原子分解能レベルのEDX分析を行うことで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができました。
極低加速SEM観察によるセパレータ構造評価
リチウムイオン二次電池に使われているセパレータに代表されるように、材料の多孔性や形状といった微細構造は製品の特性や機能を左右します。材料が樹脂やポリプロピレン(PP)など軟化点が低い場合、観察時の電子線照射により試料が損傷を受け、本来の構造が変化してしまうことがあります。 加速電圧0.1kVという極低加速SEM観察により、変質を抑えて試料最表面の形状を詳細に評価した事例をご紹介します。
STEM・EDXによる触媒粒子の評価
燃料電池の電極は、カーボンに触媒であるPt粒子またはPt合金（PtRu等)粒子が担持されています。この触媒粒子は数nmと微細な構造のため形態観察、組成分析にはSEMやTEM分析が用いられています。初期状態での評価の他に通電後の劣化として合金組成の変調、Ruの溶出、触媒粒子径の増大が報告されていますが、これらの評価にHAADF観察や高分解能EDX分析が非常に有効です。また多視野の観察と分析により粒径および組成分布の評価が可能です。
Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察
ABF-STEM像（走査透過環状明視野像）により軽元素の原子位置を直接観察することができます。 HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。 本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。 測定法：TEM・EDX 製品分野：LSI・メモリ 分析目的：形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
Csコレクタ付STEMにより原子レベルでの観察が可能です
パワーデバイス・光デバイスとして実用化されているGaNは六方晶ウルツ鉱構造をとり、c軸方向に結晶学的な非対称性（Ga極性とN極性）が存在します。Ga極性とN極性ではエピタキシャル膜の成長プロセスが異なるほか、結晶の表面物性・化学反応性も異なります。 本資料では、GaNの極性を環状明視野(ABF)-STEM観察により評価しました。その結果、Gaサイト・Nサイトの位置を特定することができ、視覚的にGa極性、N極性の様子を明らかにすることができました。 測定法：TEM 製品分野：パワーデバイス・光デバイス 分析目的：形状評価・構造評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
雰囲気制御＋冷却下での原子レベル観察
MSTでは、雰囲気制御（＋冷却）下で原子レベルのTEM分析が可能です。 本資料では、リチウムイオン二次電池から大気非暴露で解体して取り出した正極材料のLiCoO2粒子を、雰囲気制御＋冷却下でFIB加工・TEM分析した事例をご紹介します。-174℃に冷却しながらSTEM観察とEDX分析を行い、視覚的に原子配列を確認しました。 熱的安定性の低い材料や、大気下で変質する結晶材料の高分解能分析に適用できます。
着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です
走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）及び走査イオン顕微鏡（Scanning Ion Microscope：SIM）は、どちらも二次電子像を得ることで試料表面近傍の構造評価を行う手法です。一次プローブの違いによってコントラストの現れ方や空間分解能などの違いがあり、着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です。本資料では2手法の比較をまとめるとともに、測定例としてCu表面を観察した事例をご紹介します。
デバイス内部の構造を複合的に評価します
MSTでは電子デバイス内部の構造評価に適した技術を取り揃えており、観察視野や目的に応じた分析手法をご提案します。 本資料では、X線CTとFIB-SEMを用いてデバイスの特異箇所を調査した事例を紹介します。まずX線CTを用いてサンプル全体の内部構造を観察し、特異箇所を探索しました。続いて、ビア上に確認された特異的な構造物について、FIB-SEMを用いて詳細な構造を確認しました。
高分子や半導体など、幅広い分野の研究開発に活躍するTEM（透過電子顕微鏡法）の基礎知識や分析事例を収録
TEM（透過電子顕微鏡法）は、薄片化した試料に電子を照射し、 試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。 MSTでは、TEMの特徴や試料作製方法など基礎知識を掲載した『TEMの基礎』と 代表的な分析事例や他手法との複合解析例などを掲載した『TEMの応用と事例』を進呈中！ 写真や図を用いてわかりやすく紹介した資料です。 【掲載内容（一部）】 <TEMの基礎> ■TEM、STEMで何がわかるか ■TEM、STEMの特徴 ■試料作製方法 ■コントラストの要因 ■TEM、STEMの使い分け ■超高分解能HAADF観察 <TEMの応用と事例> ■分析事例 ・雰囲気制御＆冷却下でのTEM分析 ・SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価 ・微細トランジスタの構造評価 ※小冊子をご希望の方は「お問い合わせ」より、 “カタログ送付希望”の欄にチェックを入れてお申し込みください。 （ダウンロードいただけるPDF資料は冒頭の数ページとなります）
乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能！リキッドファンデーションの塗膜をマクロからミクロまで可視化
当財団が分析した、X線CT・クライオSEMによる化粧品の3D観察の事例を ご紹介します。 プラスチック基材に塗布したリキッドファンデーションをX線CTおよび クライオSEMで観察し、試料内部の分散状態を可視化。 X線CTでは非破壊かつ非接触で巨視的な形態を確認でき、クライオSEMでは さらに微視的な構造を観察することができます。 【特長】 ■リキッドファンデーション塗膜の内部構造を 巨視的な形態観察で評価可能 ■電子顕微鏡による詳細構造の観察では、 乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
活物質の粒径・結晶方位評価、原子レベル観察が可能
リチウムイオン二次電池は充放電によるイオンの脱離・挿入などで電極活物質に成分や結晶構造の変 化が生じます。正極活物質として用いられるLi（NiCoMn)O2（NCM）の構造評価として、EBSDにより一次粒子の粒径や配向性を評価しました。更に、方位を確認した一次粒子について高分解能STEM観察を行 い、軽元素（Li、O）の原子位置をABF-STEM像で、遷移金属（Ni、Co、Mn）の原子位置をHAADF-STEM像で可視化した事例を紹介いたします。 測定法：SEM・EBSD・TEM 製品分野：二次電池 分析目的：形状評価、構造評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
深層学習×データ解析により、多量のデータを活用して試料特性を評価できます
3種類の乳酸菌を混合させた試料をSEM観察し、得られた画像から深層学習を用いて種類ごとに乳酸菌を抽出しました。さらに、データ解析を行い、乳酸菌の形状をもとに細胞周期上の存在比を求めました。 測定法：SEM、計算科学・AI・データ解析 製品分野：バイオテクノロジ、医薬品、日用品、化粧品、食品 分析目的：形状評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
イオン注入後のアニール条件の違いによる差異を確認
酸化ガリウムGa2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。デバイスの開発には、特性を左右する不純物濃度や結晶性の制御が重要です。本資料では、イオン注入による結晶構造の乱れから生じるダメージ層及び表面粗さの変化を、アニール条件毎に観察した結果を示します。 測定法：TEM・AFM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス 分析目的：形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
吸収電流像から配線の高抵抗・オープン箇所の特定ができます。
・高抵抗異常箇所の特定可能 ・配線を流れる電流が微弱(pA) ・表面保護膜が存在しても測定可能 ・多層構造の配線でも測定可能 ・SEM観察とほぼ同条件で測定可能
像シミュレーションを併用した結晶形の評価
高分解能HAADF-STEM像は、結晶の原子配列を反映した画像であることから、種々の結晶方位に対応 したSTEM像をシミュレーションすることにより、多結晶体中の結晶粒間の相対方位や観察像の正確な理解に役立ちます。 本資料では、多結晶体であるネオジム磁石中の結晶粒について、EBSD法で得た結晶方位の情報から STEM像をシミュレーションし、実際の高分解能HAADF-STEM像と比較した事例を紹介します。
大気非暴露のFIB付き高分解能SEM装置で観察！
弊団では雰囲気制御によって大気暴露を抑え、さらに冷却して加工・観察・ 分析を行うシステムを整備しております。 試料本来の構造を保ったままTEM薄片試料を作製し、観察・分析可能。 不安定な材料でも冷却して薄片化加工を行い、真空を維持したままで 加工⇔観察装置間の移動を行うことで、大気暴露と熱による変質を抑えた 断面TEM/SEM観察が可能です。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■雰囲気制御下での処理 ■クライオ加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
リポソーム、CNF、微粒子、タンパク質などの形態を観察！
弊団では、ネガティブ染色による(S)TEM観察を承っております。 有機機能材料の微粒子や繊維状物質は、主にC(炭素)、H(水素)、O(酸素)、N(窒素)などの 軽元素から構成されるため、(S)TEMでは形態観察に必要なコントラストが得られません。 そこで、これらの材料には染色を行うことで コントラストを増大させ観察を行うことができるようになります。 本事例では、リンタングステン酸(H3[P(W3O10)4]・nH2O(略称PTA))を用いた ネガティブ染色観察を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
金属組織観察や相解析などTEM、FE-SEM、EBSD等による断面観察および構造解析に関する事例を多数ご紹介します！
当事例集では『断面観察及び構造解析』にかかる事例についてご紹介します。 「線材（ばね材）の金属組織観察」、「2相ステンレスの相解析」、「STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価」の目的や手法、結果などを含めた分析事例を多数掲載。 他にも、観察や相解析、絶縁膜分析や測定などご紹介しています。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■線材（ばね材）の金属組織観察 ■2相ステンレスの相解析 ■STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価 ■サマリウムコバルト磁石のEBSD測定 ■STEMによるコネクタ端子接点不良解析 ■生体試料（モルフォ蝶鱗粉）の断面観察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
細く絞った電子線を試料に照射！結晶方位や結晶構造の解析もできる電子顕微鏡！
『FE-SEM（電界放射電子銃式走査型電子顕微鏡）』は、汎用SEMよりも更に細く 絞った電子線を試料に照射、走査することによって、より鮮明な拡大像などが 得られる装置です。 また、細く絞った強い電子ビームを利用して結晶方位解析法（Electron Back-Scatter Diffraction；略してEBSD）を用いると、結晶方位や結晶構造の解析を行うことも できます。 【適用対象】 ■金属材料全般 ■セラミックス ■繊維（蒸着処理必要） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
加熱in-situ TEMを用い、半導体デバイスの熱処理中の材料の構造変化をnmレベルで可視化、プロセス開発に役立てる事例紹介。
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 半導体デバイスの開発・製造において、熱処理工程における材料の構造変化を把握することは非常に重要である。加熱in-situ TEMを用いることにより、熱処理中の材料の熱挙動をnmレベルで可視化し、構造変化に関する新たな知見を得て、膜質制御などプロセス開発に役立てることが可能となる。本稿では、加熱in-situ TEMを用いて、(1)結晶構造解析を併用したアモルファスシリコン膜の結晶成長メカニズム解析、(2)元素分析を併用した金属積層膜の熱挙動把握、(3)平面での薄膜ルテニウム膜の結晶成長過程の観察を行った事例を紹介する。 【目次】 １. はじめに ２. 加熱in-situ TEMの概要と特長 ３. 加熱in-situ TEMの解析事例 ４. まとめ
PE中のCNFの観察や、PE発泡体のセル壁高次構造などを写真付きでご紹介！
当社ホームページでは、形態観察の「透過型電子顕微鏡(TEM)・走査型電子 顕微鏡(SEM)による樹脂材料観察事例」をご紹介しております。 透過型電子顕微鏡(TEM)観察事例では、PE中のCNFの観察をはじめ、 PE発泡体のセル壁高次構造や、HDPE表面近傍のラメラ構造観察などを掲載。 また、走査型電子顕微鏡(SEM)観察事例では、ABS樹脂の耐候性試験前後の 比較や、自動車バンパー材断面構造解析などについてもご紹介しております。 ぜひ、ご覧ください。 【掲載内容(一部)】 ■透過型電子顕微鏡(TEM)観察事例 ・PE中のCNFの観察 ・PE発泡体のセル壁高次構造 ・HDPE表面近傍のラメラ構造観察 ・HIPS/ABS系のモルフォロジー観察事例 ・PC/ABS系材料中のモルフォロジー観察 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
PE中のCNF(セルロースナノファイバー)分散状態観察事例をご紹介しております！
当社ホームページでは「透過型電子顕微鏡(TEM)によるCNF複合材料の 観察」についてご紹介しております。 高分子の結晶構造、ポリマーアロイのモルフォロジーの観察で培った、 染色を含めた超薄切片の作製技術、TEM観察技術を用いることで、樹脂に 複合されたCNF(セルロースナノファイバー)の観察が可能となりました。 PE中のCNF分散状態観察の写真や、拡大写真なども掲載しております。 ぜひ、ご覧ください。 【掲載写真】 ■PE中のCNF分散状態観察 ・PE/CNF分散状態観察 ・PE/CNF拡大写真 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
発泡体のセル壁内の結晶構造が観察できます！
当社では、形態観察として「透過型電子顕微鏡(TEM)による発泡体の観察」 を行っております。 高分子の結晶構造観察やポリマーアロイのモルフォロジー観察で培った 超薄切片作製の技術を応用かつ向上することにより、発泡体のセル壁内の 結晶構造を観察することが可能。 また、PE以外の樹脂、複合材料でも観察実績があり、染色技術を組み合わせる ことでポリマーアロイのセル壁の分散状態を観察することができます。 【特長】 ■PE以外の樹脂、複合材料でも観察実績あり ■染色技術を組み合わせることでポリマーアロイのセル壁の分散状態を観察可能 ■軟質素材の発泡体でも観察可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEBS中の微細構造(ミクロ相分離構造)が観察可能!!
弊社では、透過型電子顕微鏡(TEM)によるスチレン系エラストマーの 微細構造観察を行っております。 スチレン-エチレン/ブテン-スチレンブロック共重合体(SEBS)等のスチレン系 熱可塑性エラストマー中の微細構造(ミクロ相分離構造)をTEMで観察。 その結果、スチレン系エラストマー２種類で微細構造に違いがあることが示され、 これらのエラストマーは樹脂改質材として広く添加使用されており、複合材料中での スチレン系エラストマーの分散状態についても、弊社の電子染色技術によりTEM観察が可能。 その他、ブロック共重合体やグラフト共重合体の微細構造のTEM観察にご興味ある方も ご相談下さい。 【特長】 ■複合材料中でのスチレン系エラストマーの分散状態についても、 電子染色技術によりTEM観察が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
微小分散ゴムドメイン(ブタジエンゴム)のサラミ構造を観察！構造の違いが明確に分かります
弊社では、透過型電子顕微鏡(TEM)によるスチレン系樹脂(HIPS、ABS)中の 微小分散ゴムの観察を行っております。 耐衝撃性ポリスチレン(HIPS)とアクリロニトリロ・ブタジエン・スチレン (ABS)樹脂中の微小分散ゴムドメイン(ブタジエンゴム)のサラミ構造を観察。 両者のサラミ構造の違いが明確に分かります。 ご用命の際は、お気軽に弊社までお問い合わせください。 【概要】 ■微小分散ゴムドメイン(ブタジエンゴム)のサラミ構造を観察 ■サラミ構造の違いが明確に分かる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
樹脂に配合したフィラーの定量的な評価が可能！フィラーの体積ごとの分散状態が分かった事例をご紹介
自動車、航空機分野等では、強度や剛性があり軽量な有機/無機複合材料が 広く用いられています。 有機/無機複合材料に含まれる無機フィラーの大きさや分散状態は、 機械特性に大きく影響することから、無機フィラーの分布や配向などを 把握する必要があります。 当資料では、樹脂内のフィラーをFIB-SEMにより三次元的に評価した 事例をご紹介します。 【事例概要】 ■分析試料 ・無機フィラーを含む自動車用樹脂 ■分析結果 ・樹脂内には10Vol%程度のフィラーが含まれていることが分かった ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マイクロスコープや電子顕微鏡などを所有！各種分析装置を用いて常に安定した品質のめっきをご提供
当社の技術開発室では、各種分析装置を用いて、 3工場のめっき液を分析・管理、めっき作業による薬品の消費量を把握し 補給量をコントロールすることで、常に安定した品質のめっきを ご提供できるよう努めています。 また、2015年に走査型電子顕微鏡を導入し、めっき被膜の表面分析や評価を行っております。 ミクロン単位での観察により肉眼では意識できない問題点を明確にするとともに、 お客様のニーズに合わせた表面状態のめっき条件を研究。 【所有設備（一部）】 ■マイクロスコープ ■電子顕微鏡 日本電子製：「SM-6010PLUS/LA」 ■研磨機 三啓Aqua製：自動研磨機「HA-FSA-83」 ■切断機 三啓Aqua製：切断機アルトカット「CK260-90」 ■SIMADZU製：分光光度計「UVmini-1240」 ■マツザワ製：ディジタル微小硬度計「SMT-3」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ユニットクーラーから「黒い異物」が飛散！トラブルが無事解決した事例のご紹介
工場のユニットクーラーから「黒色の異物」が飛散しているので調べてほしいとの依頼をいただきました。 【事例】 ■課題 ・ユニットクーラーから「黒色の異物」が飛散しているので調べてほしい ■解決策 ・「走査型電子顕微鏡～エネルギー分散型X線（SEM-EDX）」で元素分析 ・「フーリエ変換赤外分光法」による有機物の分析、異物の表面と切断面を比較
