大塚電子の製品ラインアップ

『SM-100 series』は高精度かつ簡単に持ち運び・操作ができる膜厚計です。　 現場での抜き取り検査や成膜条件の検討にも柔軟に対応が可能。 基材(ガラス・プラスチック)を選ばず、形状のあるサンプルも非破壊で測ることができます。 ■持ち運び可能なハンディタイプ ■高精度測定＆簡単測定 ■多層膜も対応 ■非破壊・非接触測定 ■様々なサンプルを測定 ※詳しくは＜PDFダウンロード＞より資料をご覧ください。 　デモ機を無料貸し出し中！＜お問い合わせ＞よりお申し込みいただけます。

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚測定と光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。 測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。 膜厚計のお悩みを「OPTMシリーズ」1台で完全解決します！ 【特長】 ■膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約 ■顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数） ■1ポイント1秒以内の高速測定 ■顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外） ■エリアセンサーによる安全機構 ■初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード ■測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載 ■複雑な光学定数も解析可能（複数点解析法） ■300mmステージ対応可能 ■各種カスタマイズに対応　など

『SF-3』は、ウェーハ等の研削研磨プロセスにおいて、非接触でウェーハや 樹脂の厚みを超高速・高精度に測定を行う、分光干渉式ウェーハ膜厚計です。 光学式により非接触・非破壊での厚み測定ができ、高い測定再現性を実現し、 高速でリアルタイムに研磨モニタも可能です。 また、長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器への組み込みが容易で 多層厚み測定も可能です。 【特長】 ■光学式により非接触・非破壊での厚み測定が可能 ■高い測定再現性を実現 ■高速でリアルタイムに研磨モニタが可能 ■長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器への組み込みが容易 ■ホスト機器からLANを使用したTCP/IP通信で制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

「ラインスキャン膜厚計(インラインタイプ)」は、インラインでの フィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。 独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせる ことで、最短0.001秒毎の測定間隔で500mm幅(1台使用時)のフィルムの 膜厚測定が可能。 また、膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポートや、バタつきに 強い光学系を採用しているなどといった特長が備わっています。 【特長】 ■ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現 ■膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート ■高速・高精度に測定が可能 ■バタつきに強い光学系を採用 ■幅広のサンプル(TD方向に最大10m測定可能) ■ハード・ソフト共にオリジナル設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

「ラインスキャン膜厚計(オフライン)」は、フィルムなどの研究開発や 品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な 装置です。 フィルムなどの面内膜厚ムラを検査することができ、全面を高速かつ高精度 に測定可能。 また、測定範囲は0.1～300μmで、測定幅は250mm。ハード・ソフト共に オリジナル設計となっております。 【特長】 ■フィルムなどの面内膜厚ムラを検査可能 ■全面を高速かつ高精度に測定可能 ■膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート ■分光測定による高精度な膜厚測定 ■ハード・ソフト共にオリジナル設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

半導体の研究開発や生産現場において、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定できる装置です。 独自の分光干渉法と新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定することが可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

MCPD seriesは、紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル 分光検出器です。 最短5msで分光スペクトル測定ができ、標準装置のオプティカルファイバー により、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応。 また、顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの 組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。 【特長】 ■広いダイナミックレンジを有し、全光測定に好適 ■低迷光機能搭載により、UV評価に好適 ■最短5msecから65secまでの露光時間、微弱光測定、高速測定、 　インライン測定など、幅広い測定に好適 ■スクランブルファイバーの採用により、高再現性を実現 ■軽量・コンパクトな縦置きタイプ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『GS-300』は、小フットプリント仕様のロードポート対応膜厚測定 システムです。 φ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応。 ウェーハに埋め込んだ配線パターンアライメントを実現します。 また、半導体プロセスの高スループット要求に対応しております。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■φ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応 ■ウェーハに埋め込んだ配線パターンアライメントを実現 ■半導体プロセスの高スループット要求に対応 ■小フットプリント仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

液晶ディスプレイなどに用いられる透明電極材料であるITO（Indium-tin-oxide）は、製膜後のアニール処理（熱処理）によって導電性や色味が向上します。その際、酸素状態や結晶性も変化しますが、この変化は膜の厚みに対して段階的に傾斜変化することがあり、光学的に組成が均一な単層膜として見なすことができません。 このようなITOに対し、傾斜モデルを用いて、上部界面と下部界面のnkから、傾斜の度合いを測定した事例を紹介します。

半導体業界では、製品の品質と性能を維持するために、ウェーハ上の薄膜の正確な膜厚測定が不可欠です。特に、微細化が進む中で、膜厚のわずかな差異が製品の歩留まりや性能に大きな影響を与えるため、高精度な測定が求められます。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、1秒/pointの高速測定と、3μmからの微小領域測定を実現し、半導体製造における膜厚測定の課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハの膜厚測定 ・各種フィルムの膜厚測定 ・光学材料のコーティング膜厚測定 【導入の効果】 ・高精度な膜厚測定による歩留まり向上 ・高速測定による生産性の向上 ・非破壊・非接触測定による製品への影響軽減

光学部品業界では、製品の性能を左右するコーティング膜の品質管理が重要です。膜厚のわずかな差異が、光学特性に大きな影響を与えるため、高精度な膜厚測定が求められます。非破壊・非接触での測定、高速測定、そして光学定数の正確な解析が、品質管理の効率化に不可欠です。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 * 光学レンズ、フィルター、ミラーなどのコーティング膜厚測定 * 多層膜の膜厚と光学定数の測定 * 研究開発におけるコーティング材料の評価 【導入の効果】 * 1秒/pointの高速測定による測定時間の短縮 * 高精度な膜厚測定による製品品質の向上 * 光学定数解析機能による材料評価の効率化

材料科学分野では、新しい材料の開発や既存材料の性能評価において、膜厚や光学特性の正確な測定が不可欠です。特に、薄膜や多層膜の特性評価は、材料の機能性を理解し、製品の品質を向上させる上で重要な要素となります。従来の測定方法では、測定に時間がかかったり、測定精度に課題があったりすることがありました。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、1秒/pointの高速測定と高精度な光学定数解析により、材料の特性評価における課題を解決します。 【活用シーン】 ・各種フィルム、ウェーハ、光学材料などのコーティング膜の膜厚測定 ・多層膜の膜厚測定と光学定数解析 ・研究開発における材料の特性評価 【導入の効果】 ・高速測定による研究開発の効率化 ・高精度な測定による材料特性の正確な把握 ・非破壊・非接触測定による材料への影響軽減

電子部品業界の品質管理において、コーティング膜の正確な膜厚測定は、製品の性能と信頼性を確保するために不可欠です。特に、多層膜や微小領域の膜厚測定は、製品の小型化・高性能化に伴い、ますます重要になっています。不適切な膜厚測定は、製品の不良や性能劣化につながる可能性があります。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、高精度な膜厚測定と光学定数解析により、電子部品の品質管理における課題を解決します。 【活用シーン】 * 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の膜厚測定 * 多層膜の膜厚測定 * 微小領域の膜厚測定 【導入の効果】 * 非破壊・非接触での膜厚測定により、製品へのダメージを最小限に抑えます。 * 1秒/pointの高速測定により、検査工程の効率化を実現します。 * 光学定数解析により、膜質の評価を詳細に行うことができます。

エネルギー分野、特に太陽電池や燃料電池などの薄膜関連の研究開発や製造においては、薄膜の膜厚測定が製品の性能を左右する重要な要素となります。膜厚のわずかな違いが、製品の効率や耐久性に大きな影響を与えるため、高精度な膜厚測定が求められます。OPTM seriesは、1秒/pointの高速測定と高精度な絶対反射率測定により、薄膜の品質管理を強力にサポートします。 【活用シーン】 ・太陽電池の透明電極膜の膜厚測定 ・燃料電池の電解質膜の膜厚測定 ・薄膜コーティングされた光学部品の膜厚測定 ・エネルギーデバイスの多層膜構造の評価 【導入の効果】 ・高速測定による生産性の向上 ・高精度な膜厚測定による品質向上 ・非破壊・非接触測定による製品へのダメージ軽減 ・光学定数解析による詳細な膜質評価

包装業界では、製品の品質保持のため、包装材のバリア性の正確な評価が求められます。特に、酸素や水分の透過を防ぐバリアフィルムの膜厚測定は、製品の賞味期限や品質に大きく影響します。膜厚測定の精度が低いと、バリア性能の過剰設計や不足につながり、コスト増、品質劣化のリスクがあります。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、高精度な膜厚測定により、包装材のバリア性評価をサポートします。 【活用シーン】 ・バリアフィルムの膜厚測定 ・多層フィルムの膜厚測定 ・包装材の品質管理 【導入の効果】 ・高精度な膜厚測定による品質向上 ・非破壊・非接触測定による効率化 ・光学定数解析による材料特性の把握

半導体業界では、ウェーハ基板上の薄膜の正確な膜厚測定が、製品の品質管理と歩留まり向上に不可欠です。特に、微細化が進む半導体製造においては、薄膜のわずかな厚さの差異が、デバイスの性能に大きな影響を与えるため、高精度な測定が求められます。ラインスキャン膜厚計は、独自の分光干渉法と高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定し、課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハの製造工程における膜厚測定 ・研究開発における薄膜特性評価 ・品質管理における膜厚の均一性評価 【導入の効果】 ・ウェーハの面内膜厚分布を可視化し、製造プロセスの最適化に貢献 ・不良品の早期発見による歩留まり向上 ・研究開発におけるデータ取得の効率化

ディスプレイ業界では、製品の品質を左右する薄膜の均一性が重要です。特に、色ムラや輝度ムラを防ぐためには、薄膜の膜厚を正確に測定し、均一性を確保する必要があります。不均一な膜厚は、表示品質の低下につながる可能性があります。当社のラインスキャン膜厚計は、ラインスキャン方式を採用し、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定することで、膜厚の均一性を評価できます。 【活用シーン】 ・ディスプレイ製造における薄膜の膜厚測定 ・色ムラ、輝度ムラの改善 ・品質管理 【導入の効果】 ・膜厚の均一性評価による品質向上 ・不良品の削減 ・製造プロセスの最適化

フィルム業界では、製品の品質を左右する膜厚の均一性が重要です。特に、光学フィルムや機能性フィルムなど、用途によっては膜厚のわずかな差異が製品の性能に大きな影響を与えることがあります。膜厚の不均一は、製品の強度低下や光学特性の劣化につながる可能性があります。当社のラインスキャン膜厚計は、インラインでのフィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。 【活用シーン】 * 光学フィルムの製造工程 * 機能性フィルムの膜厚測定 * 包装フィルムの品質管理 【導入の効果】 * フィルムの品質向上 * 不良品の削減 * 生産効率の改善

コーティング業界では、製品の品質を維持するために、塗膜の厚さ管理が重要です。膜厚の不均一は、製品の性能劣化や外観不良につながる可能性があります。特に、インラインでのフィルム生産においては、膜厚をリアルタイムで正確に測定し、管理することが求められます。ラインスキャン膜厚計は、ラインスキャン方式を採用し、フィルムの膜厚を全幅・全長にわたって測定できます。 【活用シーン】 * フィルム製造ライン * コーティング工程における膜厚管理 * 品質管理部門での検査 【導入の効果】 * 膜厚の均一性を確保 * 不良品の発生を抑制 * 生産効率の向上