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大塚電子株式会社

設立1970年
住所大阪府枚方市招提田近3丁目26-3
電話072-855-8554
  • 特設サイト
  • 公式サイト
最終更新日:2025/07/14
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光波動場三次元顕微鏡『MINUK』

nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能!フォーカス不要で高速測定 目視では見えないフィルム表面を可視化・定量化

『MINUK』は、目視では見えない透明フィルム表面を可視化・定量化できる 光波動場三次元顕微鏡です。  nmオーダーの形状情報を非接触・非破壊・非侵襲で取得可能。ワンショットで 深さ方向の情報も併せて取得することにより、目視では見えない透明フィルム 表面の傷や欠陥の断面形状や三次元形状を可視化し数値化することができます。 高速で広範囲をマッピングし情報を得ることができるスティッチング機能に より、観察したい場所を素早く見つけ、詳細情報を取得することが可能です。 【特長】 ■nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能 ■1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得 ■フォーカス不要で高速測定が可能 ■非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能 ■任意の面を高速でスキャンし測定位置の決定が容易 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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膜厚計 顕微分光膜厚計 『OPTM series』

1ポイント1秒測定&測定エリア最小3μm!高性能で使いやすい顕微分光 膜厚計

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚測定と光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。 測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。 膜厚計のお悩みを「OPTMシリーズ」1台で完全解決します!

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ラインスキャン膜厚計『インラインタイプ』

ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現!

「ラインスキャン膜厚計(インラインタイプ)」は、インラインでの フィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。 独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせる ことで、最短0.001秒毎の測定間隔で500mm幅(1台使用時)のフィルムの 膜厚測定が可能。 また、膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポートや、バタつきに 強い光学系を採用しているなどといった特長が備わっております。 【特長】 ■ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現 ■膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート ■高速・高精度に測定が可能 ■バタつきに強い光学系を採用 ■幅広のサンプル(TD方向に最大10m測定可能) ■ハード・ソフト共にオリジナル設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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リタデーション測定装置『RETS-100nx』

独自の分光器だからできる高精度測定!かんたんソフトウェアで操作性大幅UP 

『RETS-100nx』は、OLED用偏光板、積層位相差フィルム、IPS液晶位相差 フィルム付偏光板など、多種多様なフィルムに対応したリタデーション測定 装置です。 超高Re.60000nmに対応の高速・高精度測定を実現し、フィルムの積層状態を "剥がさず、非破壊"で測定することが可能。 さらに、操作面でもかんたんソフトウェアや、サンプルの置き直しによる ズレに対応した補正機能を搭載し、手軽に高精度な測定ができます。 【特長】 ■独自の分光器だからできる高精度測定 ■超複屈折フィルムを高速・高精度に測定できる ■剥がさず、非破壊でさまざまなフィルムの積層状態を測定できる ■サンプル設置がズレていても手軽に再現性良く測れる ■測定時間と処理時間が大幅短縮 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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ラインスキャン膜厚計『オフライン(ウェーハ対応タイプ)』

ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現!

半導体の研究開発や生産現場において、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定できる装置です。 独自の分光干渉法と新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定することが可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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