大塚電子の製品ラインアップ

『SF-3』は、ウェーハ等の研削研磨プロセスにおいて、非接触でウェーハや 樹脂の厚みを超高速・高精度に測定を行う、分光干渉式ウェーハ膜厚計です。 光学式により非接触・非破壊での厚み測定ができ、高い測定再現性を実現し、 高速でリアルタイムに研磨モニタも可能です。 また、長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器への組み込みが容易で 多層厚み測定も可能です。 【特長】 ■光学式により非接触・非破壊での厚み測定が可能 ■高い測定再現性を実現 ■高速でリアルタイムに研磨モニタが可能 ■長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器への組み込みが容易 ■ホスト機器からLANを使用したTCP/IP通信で制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

半導体の研究開発や生産現場において、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定できる装置です。 独自の分光干渉法と新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定することが可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SM-100 series』は、1.1kgと軽く、持ち運びも簡単な膜厚計です。　 膜厚を測定するときの「測りたい“その場”ですぐに測れない」「人によって バラつく測定結果」「測定精度が悪い」といったお困りごとを解決。 最薄0.1μmまで検量線不要で膜厚測定可能で、基材(ガラス・プラスチック)を 選ばず、形状のあるサンプルも非破壊で膜厚を測ることができます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚測定と光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。 測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。 膜厚計のお悩みを「OPTMシリーズ」1台で完全解決します！ 【特長】 ■膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約 ■顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数） ■1ポイント1秒以内の高速測定 ■顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外） ■エリアセンサーによる安全機構 ■初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード ■測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載 ■複雑な光学定数も解析可能（複数点解析法） ■300mmステージ対応可能 ■各種カスタマイズに対応　など

MCPD seriesは、紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル 分光検出器です。 最短5msで分光スペクトル測定ができ、標準装置のオプティカルファイバー により、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応。 また、顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの 組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。 【特長】 ■広いダイナミックレンジを有し、全光測定に好適 ■低迷光機能搭載により、UV評価に好適 ■最短5msecから65secまでの露光時間、微弱光測定、高速測定、 　インライン測定など、幅広い測定に好適 ■スクランブルファイバーの採用により、高再現性を実現 ■軽量・コンパクトな縦置きタイプ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『GS-300』は、小フットプリント仕様のロードポート対応膜厚測定 システムです。 φ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応。 ウェーハに埋め込んだ配線パターンアライメントを実現します。 また、半導体プロセスの高スループット要求に対応しております。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■φ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応 ■ウェーハに埋め込んだ配線パターンアライメントを実現 ■半導体プロセスの高スループット要求に対応 ■小フットプリント仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

半導体業界の成膜管理においては、高品質な製品を安定的に製造するために、膜厚の正確な測定が不可欠です。特に、薄膜の成膜プロセスにおいては、膜厚のわずかな差異が製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。測定結果のばらつきや精度の低さは、歩留まりの低下や不良品の増加につながり、大きな損失を招く可能性があります。SM-100 seriesは、最薄0.1μmまで検量線不要で膜厚測定が可能で、基材を選ばず、形状のあるサンプルも非破壊で膜厚を測ることができます。 【活用シーン】 ・半導体製造工程における成膜プロセスの品質管理 ・研究開発における薄膜材料の評価 ・製造現場での迅速な膜厚測定 【導入の効果】 ・測定時間の短縮 ・測定結果の安定化 ・不良品の削減

ディスプレイ業界では、製品の品質を左右する膜厚の均一性が重要です。特に、薄膜の均一性は、表示性能や耐久性に大きく影響します。膜厚測定の際に、「測りたい“その場”ですぐに測れない」「人によってバラつく測定結果」「測定精度が悪い」といった課題を抱えている企業も少なくありません。SM-100 seriesは、これらの課題を解決し、高品質なディスプレイ製造をサポートします。 【活用シーン】 ・ディスプレイ製造工程における膜厚測定 ・品質管理部門での膜厚検査 ・研究開発部門での薄膜評価 【導入の効果】 ・測定時間の短縮 ・測定結果の安定化 ・品質管理の向上

太陽電池業界では、製品の品質と効率を向上させるために、膜厚の正確な測定が求められます。特に、太陽光の吸収効率を左右する膜厚の均一性は、製品の性能を大きく左右します。測定の遅延や精度の低さは、生産効率の低下や品質問題につながる可能性があります。当社のスマート膜厚計 SM-100 seriesは、最薄0.1μmまで検量線不要で膜厚測定が可能で、非破壊で膜厚を測ることができます。これにより、太陽電池製造における品質管理と生産効率の向上に貢献します。 【活用シーン】 ・太陽電池セルの膜厚測定 ・太陽電池モジュールの膜厚測定 ・製造ラインでの品質管理 【導入の効果】 ・測定時間の短縮 ・測定精度の向上 ・不良品の削減

光学部品業界では、製品の性能を左右する反射防止膜の正確な膜厚測定が求められます。特に、光の透過率や反射率を精密に制御する必要がある場合、膜厚のわずかな差異が製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。測定結果のバラつきや測定精度の低さは、歩留まりの低下や不良品の増加につながりかねません。SM-100 seriesは、持ち運び可能なハンディタイプで、最薄0.1μmまで検量線不要で膜厚測定が可能です。光学部品の製造プロセスにおける膜厚測定の課題を解決します。 【活用シーン】 ・反射防止膜の膜厚測定 ・光学フィルターの膜厚測定 ・レンズコーティングの膜厚測定 【導入の効果】 ・測定結果の信頼性向上 ・歩留まりの改善 ・品質管理の効率化

自動車業界のコーティング工程では、保護膜の品質管理が重要です。特に、耐摩耗性や耐候性を向上させるためには、コーティング膜厚の均一性が求められます。膜厚が不均一な場合、性能の低下や外観不良につながる可能性があります。SM-100 seriesは、持ち運び可能なハンディタイプで、測定したい“その場”ですぐに膜厚を測定できます。人による測定結果のバラつきを抑え、最薄0.1μmまで検量線不要で膜厚測定が可能です。基材を選ばず、形状のあるサンプルも非破壊で膜厚を測ることができます。 【活用シーン】 ・自動車ボディのコーティング膜厚測定 ・バンパーやパーツの塗装膜厚測定 ・コーティング品質の検査 【導入の効果】 ・測定時間の短縮 ・測定結果の安定化 ・品質管理の向上

医療機器業界では、インプラントや医療用デバイスのコーティングなど、生体適合性材料の膜厚管理が製品の安全性と性能を左右する重要な要素となります。特に、材料の均一な膜厚は、生体組織との親和性や耐久性に大きく影響し、不適切な膜厚は、製品の早期劣化や拒絶反応を引き起こす可能性があります。SM-100 seriesは、持ち運び可能なハンディタイプで、測定したい場所ですぐに膜厚を測定できます。最薄0.1μmまで検量線不要で測定可能で、非破壊で測定できるため、サンプルを傷つける心配もありません。これにより、品質管理の効率化と精度の向上が期待できます。 【活用シーン】 ・インプラント表面のコーティング膜厚測定 ・医療用デバイスのコーティング膜厚測定 ・生体適合性材料の研究開発 【導入の効果】 ・測定時間の短縮 ・測定結果のばらつきを抑制 ・非破壊測定によるサンプルへの影響を軽減

航空宇宙業界では、耐熱性コーティングの品質管理が重要です。高温環境下での部品の性能を維持するためには、コーティングの膜厚が均一で、適切な厚さを保っている必要があります。膜厚が不均一であったり、薄すぎると、熱による劣化が早まり、部品の寿命を縮める可能性があります。逆に厚すぎると、重量が増加し、燃費効率が悪化する可能性があります。SM-100 seriesは、持ち運び可能なハンディタイプで、非破壊で膜厚を測定できます。これにより、航空宇宙部品の品質管理を効率化し、製品の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・耐熱コーティングされた航空機部品の膜厚測定 ・ロケットエンジンの耐熱材の膜厚測定 ・宇宙ステーションの断熱材の膜厚測定 【導入の効果】 ・非破壊測定による検査時間の短縮 ・測定結果のばらつきを抑制 ・品質管理の向上による製品信頼性の向上

精密機械業界の表面処理工程では、製品の品質を左右する膜厚管理が重要です。均一な膜厚は、耐摩耗性、耐食性、外観品質を向上させるために不可欠です。しかし、従来の測定方法では、測定場所の制約、測定結果のばらつき、測定精度の問題といった課題がありました。SM-100 seriesは、これらの課題を解決し、表面処理工程における膜厚測定の効率化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 * 金属部品の塗装膜厚測定 * プラスチック部品のコーティング膜厚測定 * 電子部品の表面処理膜厚測定 * 研究開発における膜厚評価 【導入の効果】 * 測定時間の短縮 * 測定結果の安定化 * 品質管理の向上 * 不良品の削減

電子部品業界において、絶縁膜の品質管理は製品の信頼性を左右する重要な要素です。絶縁膜の膜厚測定は、製品の性能を維持し、不良品の発生を防ぐために不可欠です。しかし、従来の測定方法では、測定場所の制約や測定結果のばらつき、測定精度の問題といった課題がありました。SM-100 seriesは、これらの課題を解決し、絶縁膜の品質管理を効率化します。 【活用シーン】 ・電子部品製造における絶縁膜の膜厚測定 ・品質管理部門での膜厚測定 ・研究開発部門での膜厚評価 【導入の効果】 ・測定場所を選ばず、どこでも測定可能 ・測定結果のばらつきを抑制 ・高精度な膜厚測定を実現 ・非破壊測定によるサンプルの有効活用

包装業界では、製品の品質保持のため、包装材のバリア性が重要です。特に、酸素や水分の透過を防ぐための膜厚管理は、製品の賞味期限や品質に大きく影響します。膜厚測定の測定結果のバラつきや測定精度の悪さは、品質管理上の課題となります。SM-100 seriesは、これらの課題を解決し、正確な膜厚測定を実現します。 【活用シーン】 ・食品包装、医薬品包装、工業製品包装におけるバリア性評価 ・包装材メーカーでの品質管理 ・研究開発部門での材料評価 【導入の効果】 ・非破壊測定によるサンプルへの影響を最小限に ・迅速な測定による工程管理の効率化 ・測定結果の安定化による品質向上

食品業界の品質管理において、コーティングや包装材の膜厚測定は、製品の品質保持に不可欠です。特に、均一な膜厚は、食品の保存性や安全性を左右する重要な要素となります。しかし、従来の測定方法では、測定に時間がかかったり、サンプルを傷つけてしまう可能性がありました。SM-100 seriesは、持ち運び可能なハンディタイプで、最薄0.1μmまで検量線不要で膜厚測定が可能です。非破壊で測定できるため、食品サンプルを傷つける心配もありません。この製品は、食品の品質管理における膜厚測定の課題を解決し、より効率的で正確な品質管理をサポートします。 【活用シーン】 ・食品包装材の膜厚測定 ・コーティングされた食品の膜厚測定 ・品質管理部門での測定 【導入の効果】 ・非破壊測定によるサンプルの有効活用 ・測定時間の短縮 ・測定精度の向上

半導体業界では、製品の品質と性能を維持するために、ウェーハ上の薄膜の正確な膜厚測定が不可欠です。特に、微細化が進む中で、膜厚のわずかな差異が製品の歩留まりや性能に大きな影響を与えるため、高精度な測定が求められます。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、1秒/pointの高速測定と、3μmからの微小領域測定を実現し、半導体製造における膜厚測定の課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハの膜厚測定 ・各種フィルムの膜厚測定 ・光学材料のコーティング膜厚測定 【導入の効果】 ・高精度な膜厚測定による歩留まり向上 ・高速測定による生産性の向上 ・非破壊・非接触測定による製品への影響軽減

光学部品業界では、製品の性能を左右するコーティング膜の品質管理が重要です。膜厚のわずかな差異が、光学特性に大きな影響を与えるため、高精度な膜厚測定が求められます。非破壊・非接触での測定、高速測定、そして光学定数の正確な解析が、品質管理の効率化に不可欠です。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 * 光学レンズ、フィルター、ミラーなどのコーティング膜厚測定 * 多層膜の膜厚と光学定数の測定 * 研究開発におけるコーティング材料の評価 【導入の効果】 * 1秒/pointの高速測定による測定時間の短縮 * 高精度な膜厚測定による製品品質の向上 * 光学定数解析機能による材料評価の効率化

材料科学分野では、新しい材料の開発や既存材料の性能評価において、膜厚や光学特性の正確な測定が不可欠です。特に、薄膜や多層膜の特性評価は、材料の機能性を理解し、製品の品質を向上させる上で重要な要素となります。従来の測定方法では、測定に時間がかかったり、測定精度に課題があったりすることがありました。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、1秒/pointの高速測定と高精度な光学定数解析により、材料の特性評価における課題を解決します。 【活用シーン】 ・各種フィルム、ウェーハ、光学材料などのコーティング膜の膜厚測定 ・多層膜の膜厚測定と光学定数解析 ・研究開発における材料の特性評価 【導入の効果】 ・高速測定による研究開発の効率化 ・高精度な測定による材料特性の正確な把握 ・非破壊・非接触測定による材料への影響軽減

電子部品業界の品質管理において、コーティング膜の正確な膜厚測定は、製品の性能と信頼性を確保するために不可欠です。特に、多層膜や微小領域の膜厚測定は、製品の小型化・高性能化に伴い、ますます重要になっています。不適切な膜厚測定は、製品の不良や性能劣化につながる可能性があります。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、高精度な膜厚測定と光学定数解析により、電子部品の品質管理における課題を解決します。 【活用シーン】 * 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の膜厚測定 * 多層膜の膜厚測定 * 微小領域の膜厚測定 【導入の効果】 * 非破壊・非接触での膜厚測定により、製品へのダメージを最小限に抑えます。 * 1秒/pointの高速測定により、検査工程の効率化を実現します。 * 光学定数解析により、膜質の評価を詳細に行うことができます。

エネルギー分野、特に太陽電池や燃料電池などの薄膜関連の研究開発や製造においては、薄膜の膜厚測定が製品の性能を左右する重要な要素となります。膜厚のわずかな違いが、製品の効率や耐久性に大きな影響を与えるため、高精度な膜厚測定が求められます。OPTM seriesは、1秒/pointの高速測定と高精度な絶対反射率測定により、薄膜の品質管理を強力にサポートします。 【活用シーン】 ・太陽電池の透明電極膜の膜厚測定 ・燃料電池の電解質膜の膜厚測定 ・薄膜コーティングされた光学部品の膜厚測定 ・エネルギーデバイスの多層膜構造の評価 【導入の効果】 ・高速測定による生産性の向上 ・高精度な膜厚測定による品質向上 ・非破壊・非接触測定による製品へのダメージ軽減 ・光学定数解析による詳細な膜質評価

包装業界では、製品の品質保持のため、包装材のバリア性の正確な評価が求められます。特に、酸素や水分の透過を防ぐバリアフィルムの膜厚測定は、製品の賞味期限や品質に大きく影響します。膜厚測定の精度が低いと、バリア性能の過剰設計や不足につながり、コスト増、品質劣化のリスクがあります。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、高精度な膜厚測定により、包装材のバリア性評価をサポートします。 【活用シーン】 ・バリアフィルムの膜厚測定 ・多層フィルムの膜厚測定 ・包装材の品質管理 【導入の効果】 ・高精度な膜厚測定による品質向上 ・非破壊・非接触測定による効率化 ・光学定数解析による材料特性の把握

半導体業界では、ウェーハ基板上の薄膜の正確な膜厚測定が、製品の品質管理と歩留まり向上に不可欠です。特に、微細化が進む半導体製造においては、薄膜のわずかな厚さの差異が、デバイスの性能に大きな影響を与えるため、高精度な測定が求められます。ラインスキャン膜厚計は、独自の分光干渉法と高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定し、課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハの製造工程における膜厚測定 ・研究開発における薄膜特性評価 ・品質管理における膜厚の均一性評価 【導入の効果】 ・ウェーハの面内膜厚分布を可視化し、製造プロセスの最適化に貢献 ・不良品の早期発見による歩留まり向上 ・研究開発におけるデータ取得の効率化

ディスプレイ業界では、製品の品質を左右する薄膜の均一性が重要です。特に、色ムラや輝度ムラを防ぐためには、薄膜の膜厚を正確に測定し、均一性を確保する必要があります。不均一な膜厚は、表示品質の低下につながる可能性があります。当社のラインスキャン膜厚計は、ラインスキャン方式を採用し、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定することで、膜厚の均一性を評価できます。 【活用シーン】 ・ディスプレイ製造における薄膜の膜厚測定 ・色ムラ、輝度ムラの改善 ・品質管理 【導入の効果】 ・膜厚の均一性評価による品質向上 ・不良品の削減 ・製造プロセスの最適化